一種掩膜板的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型有關一種掩膜板，特別是指一種能夠拆分，且能共用掩膜框的真空蒸鍍掩膜板。
【背景技術】
[0002]在真空環境中，將材料加熱并鍍到基片上稱為真空蒸鍍，在蒸鍍過程中，需用到掩膜板。如圖1所示，現有蒸鍍用掩膜板，其掩膜6是直接固定在掩膜框7上，即掩膜板為一體構造，當采用不同的掩膜時，只能相應更換不同的掩膜框；同時由于掩膜固定在掩膜框上，使掩膜張力無法調整。
【實用新型內容】
[0003]有鑒于此，本實用新型的主要目的在于提供一種能夠拆分，且能共用掩膜框的掩膜板。
[0004]為達到上述目的，本實用新型提供一種掩膜板，其包括有掩膜、固定框與掩膜框，其中該掩膜固定連接在固定框上，該掩膜與固定框形成一個整體，該掩膜框套合在該固定框內，該掩膜框與固定框能組合與拆卸。
[0005]所述掩膜框外側設有第一凹槽，所述固定框的內側相對該第一凹槽位置處設有凸塊，該掩膜框套合在該固定框內時，該凸塊嵌合在該第一凹槽內。
[0006]所述固定框的內側設有第一凹槽，所述掩膜框的外側相對該第一凹槽位置處設有凸塊，該掩膜框套合在該固定框內時，該凸塊嵌合在該第一凹槽內。
[0007]所述掩膜板至少一個邊的外側設有多個第二凹槽，該第二凹槽內設有能對掩膜張力調整的墊片。
[0008]所述固定框的至少一個邊的內側設有多個第二凹槽，該第二凹槽內設有能對掩膜張力調整的墊片。
[0009]所述第二凹槽設于所述掩膜框外側靠近所述掩膜處。
[0010]所述第二凹槽設于所述固定框內側靠近所述掩膜處。
[0011]各所述第二凹槽內的墊片的長度不同或相同。
[0012]所述固定框的四個邊分別獨立，相鄰兩個邊之間設有缺口。
[0013]所述掩模與固定框激光焊接連接。
[0014]本實用新型可通過將掩膜與掩膜框分成兩部分，使用時進行組合，不使用時可進行拆卸，使不同的掩膜可共用同一個掩膜框，達到節約成本的目的。
【附圖說明】
[0015]圖1為現有技術中掩膜板的結構示意圖；
[0016]圖2為本實用新型掩膜板的分解立體圖；
[0017]圖3為本實用新型掩膜板組裝后示意圖。
【具體實施方式】
[0018]為便于對本實用新型的結構及達到的效果有進一步的了解，現結合附圖并舉較佳實施例詳細說明如下。
[0019]如圖2與圖3所示，本實用新型的掩膜板包括有掩膜1、固定框2與掩膜框3，其中掩膜I四周固定連接在固定框2上，使掩膜I與固定框2形成一個整體，掩膜框3套合在固定框2內，使掩膜框3與固定框2可組合與拆卸。掩膜I與固定框2可通過激光焊接連接。
[0020]本實用新型的掩膜框3外側設有第一凹槽30，該固定框2的內側相對第一凹槽30位置處設有多個凸塊20，當將掩膜框3套合在固定框2內時，可將固定框2內側的凸塊20嵌合在掩膜框3外側的第一凹槽30內，以此將掩膜框3與固定框2安裝在一起。
[0021]本實用新型中，第一凹槽也可設于固定框2的內側，而凸塊設于掩膜框3的外側與第一凹槽相對的位置處，當將掩膜框3套合在固定框2內時，可將掩膜框3外側的凸塊嵌合在固定框2內側的第一凹槽內，以此將掩膜框3與固定框2安裝在一起。
[0022]本實用新型中的掩膜框3至少一個邊的外側還設有至少一個第二凹槽31，當掩膜I張力需要調整時，在需要調整的位置處第二凹槽31內可設有墊片32，將掩膜框3與固定框2安裝后，通過第二凹槽31內的墊片32調整掩膜框3與固定框2的間隙，借以對掩膜I的張力進行調整，墊片32的長度可根據調整間隙的需要可長可短。當設有多個第二凹槽31時，第二凹槽31內可設置相同或不同尺寸的墊片32，在張力需要調整處選擇或長或短的墊片，根據需要對掩膜I張力進行不同程度的調整。
[0023]本實用新型中的第二凹槽還可設于固定框2的至少一個邊的內側，通過墊片進行掩膜張力的調整可見上述，不再贅述。本實用新型中的第二凹槽可設于固定框2內側靠近掩膜I處或設于掩膜框3外側靠近掩膜I處，以更利于借其中的墊片32調整掩膜張力。
[0024]本實用新型中的固定框2的四個邊可分別獨立，相互之間設有缺口，可以方便拆裝。
[0025]本實用新型可通過將掩膜與掩膜框分成兩部分，使用時進行組合，不使用時可進行拆卸，使不同的掩膜可共用同一個掩膜框，達到節約成本的目的；同時通過在掩膜框上的第二凹槽內增加墊片，可調節掩膜張力。
[0026]以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例而已，并非用于限定本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種掩膜板，其特征在于，其包括有掩膜、固定框與掩膜框，其中該掩膜固定連接在固定框上，該掩膜與固定框形成一個整體，該掩膜框套合在該固定框內，該掩膜框與固定框能組合與拆卸； 所述掩膜框外側設有第一凹槽，所述固定框的內側相對該第一凹槽位置處設有凸塊，該掩膜框套合在該固定框內時，該凸塊嵌合在該第一凹槽內；或， 所述固定框的內側設有第一凹槽，所述掩膜框的外側相對該第一凹槽位置處設有凸塊，該掩膜框套合在該固定框內時，該凸塊嵌合在該第一凹槽內。
2.如權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板至少一個邊的外側設有多個第二凹槽，該第二凹槽內設有能對掩膜張力調整的墊片。
3.如權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定框的至少一個邊的內側設有多個第二凹槽，該第二凹槽內設有能對掩膜張力調整的墊片。
4.如權利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽設于所述掩膜框外側靠近所述掩膜處。
5.如權利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽設于所述固定3框內側靠近所述掩膜處。
6.如權利要求2或3所述的掩膜板，其特征在于，各所述第二凹槽內的墊片的長度不同或相同。
7.如權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定框的四個邊分別獨立，相鄰兩個邊之間設有缺口。
8.如權利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜與固定框激光焊接連接。
【專利摘要】本實用新型公開了一種掩膜板，其包括有掩膜、固定框與掩膜框，其中該掩膜固定連接在固定框上，該掩膜與固定框形成一個整體，該掩膜框套合在該固定框內，該掩膜框與固定框能組合與拆卸。本實用新型可通過將掩膜與掩膜框分成兩部分，使用時進行組合，不使用時可進行拆卸，使不同的掩膜可共用同一個掩膜框，達到節約成本的目的。
【IPC分類】C23C14-24, C23C14-04
【公開號】CN204356395
【申請號】CN201420641286
【發明人】彭麗娟, 尤沛升, 高明, 洪耀
【申請人】昆山維信諾科技有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請日】2014年10月31日