劃片機主軸緊固裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及緊固裝置，具體涉及劃片機主軸緊固裝置及裝調方法。
【背景技術】
[0002]切割機是一種半導體后封裝關鍵設備，其作用是將器件分割成單個的電路單元或將大尺寸材料分離成小尺寸材料。切割機的工作機理是砂輪刀片的強力磨削，在切割過程中高速運轉的砂輪刀片與被加工件進行接觸，通過幾個方向的進給運動完成切割過程。其中主軸的作用就是完成砂輪刀片的固定和高速旋轉，由于半導體材料或器件切割加工精度要求很高，屬于超精密加工范疇，砂輪刀片的穩定性尤其重要，刀片與被加工件之間的垂直度是影響切割質量的重要因素之一。
[0003]切割機主軸是一種軸類零件，其固定及端面調整是切割機設備結構設計的關鍵點之一，如何能在保證結構穩定的情況下完成微米級精度調節也是設備設計的難點。目前大多數軸類零部件固定多數采用端面鎖緊或法蘭固定的方式，這樣對主軸外形精度又有較高的要求，本實用新型就是設計一種穩定的卡緊固定裝置，在不增加主軸制造成本的基礎上完成主軸的固定及前段刀盤端面的精度調整。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的在于提供一種劃片機主軸緊固裝置，可以完成劃片機主軸的穩定緊固，該裝置還可以方便有效的進行主軸刀盤端面的平面精度調整，保證刀盤與被加工件之間的垂直度要求。
[0005]為了實現上述目的，本實用新型提供一種可調整的劃片機主軸緊固裝置，包括固定基座，固定基座上固定主軸座；固定基座與主軸座之間有調節塊和調節螺釘；主軸與刀盤穿過主軸座；壓板將主軸卡緊在主軸座上。
[0006]優選的，所述固定基座與主軸座之間通過調節塊和調節螺釘固定，所述主軸與主軸座之間為間隙配合，壓板與主軸座之間通過緊定螺釘夾緊主軸。
[0007]優選的，所述調節塊的數量為三個。
[0008]本實用新型還提供上述劃片機主軸緊固裝置的裝調方法，包括如下步驟:
[0009]I)將下端的調節塊鎖緊，先調節左右兩個調整塊，對主軸前端刀盤進行水平方向的平行度調整；
[0010]2)通過下端調整塊進行刀盤豎直方向的平行度調整。
[0011]優選的，所述刀盤端面與進給方向平行度要求為不大于2 μ m。
[0012]優選的，所述刀盤端面與被加工平面垂直度要求為不大于2 μπι。
[0013]優選的，所述調節塊的固定調節螺釘要求使用力矩扳手鎖緊，鎖緊扭矩范圍33?45Ν.m0
[0014]該裝置組裝時先將主軸固定座通過調節塊和調節螺釘緊定，然后將主軸穿過主軸座中心孔，調整好先后位置，將壓板利用緊定螺釘夾緊主軸，完成整個裝置的固定；當進行主軸刀盤端面調整時，先松動調節螺釘，然后將旋轉調節塊，調節固定基座與主軸座之間的間隙大小，實現主軸前端刀盤端面的水平方向與豎直方向的平行度調節。調節過程中，注意需要鎖緊調節螺釘后再進行精度檢測，利用力矩扳手使用標準的扭矩將三個緊定螺釘緊定。
[0015]本實用新型的優點和有益效果在于:提供一種劃片機主軸緊固裝置，可以完成切割機主軸的穩定緊固，以及主軸刀盤端面的平面精度調整，保證刀盤與被加工件之間的垂直度要求。
[0016]本實用新型系統結構簡單，生產成本較低，加工方便，緊固穩定，容易調節，空間需求小；本實用新型可通過調節塊的外螺紋對主軸刀盤端面進行較高機械精度調整。使用本裝置的切割機可提高主軸的穩定性，并方便有效的進行主軸刀盤端面精度控制。
【附圖說明】
[0017]圖1是本實用新型劃片機主軸緊固裝置的爆炸圖；
[0018]圖2是本實用新型裝調過程原理的示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖和實施例，對本實用新型的【具體實施方式】作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。
[0020]本實用新型具體實施的技術方案是:
[0021]如圖1、圖2所示，本實用新型提供一種可調節劃片機主軸緊固裝置，包括固定基座1、主軸座2、調節塊3、調節螺釘31、壓板4、緊定螺釘41、主軸5及刀盤6 ;通過調節塊3外螺紋33調節主軸座2與固定基座I的平面間隙21對主軸6前端刀盤7的平面進行精度調整。
[0022]所述固定基座I與主軸座2之間通過調節塊3和調節螺釘31固定，所述主軸6與主軸座2之間為間隙21配合，壓板4與主軸座2之間通過緊定螺釘41夾緊主軸5。
[0023]所述調節塊3的數量為三個。
[0024]本實用新型還提供上述主軸緊固裝置的裝調方法，包括如下步驟:
[0025]I)將下端的調節塊鎖緊，先調節左右兩個調整塊，對主軸前端刀盤進行水平方向的平行度調整；
[0026]2)通過下端調整塊進行刀盤豎直方向的平行度調整。
[0027]所述刀盤端面與進給方向平行度要求為不大于2 μ mo
[0028]所述刀盤端面與被加工平面垂直度要求為不大于2 μ m。
[0029]所述調節塊的固定調節螺釘要求使用力矩扳手鎖緊，鎖緊扭矩范圍33?45N.m。
[0030]以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.劃片機主軸緊固裝置，其特征在于，包括固定基座，固定基座上固定主軸座；固定基座與主軸座之間有調節塊和調節螺釘；主軸與刀盤穿過主軸座；壓板將主軸卡緊在主軸座上。
2.根據權利要求1所述的劃片機主軸緊固裝置，其特征在于，所述固定基座與主軸座之間通過調節塊和調節螺釘固定，所述主軸與主軸座之間為間隙配合，壓板與主軸座之間通過緊定螺釘夾緊主軸。
3.根據權利要求1所述的劃片機主軸緊固裝置，其特征在于，所述調節塊的數量為三個。
【專利摘要】本實用新型涉及一種可調節劃片機主軸緊固裝置，包括固定基座、主軸座、調節塊、壓板、調節螺釘和主軸及刀盤；通過調節塊外螺紋調節主軸座與固定基座的平面間隙對主軸前端刀盤的平面進行精度調整。本實用新型還提供上述切割機主軸卡緊固定裝置的裝調方法，包括如下步驟：1)將下端的調節塊鎖緊，先調節左右兩個調整塊，對主軸前端刀盤進行水平方向的平行度調整；2)通過下端調整塊進行刀盤豎直方向的平行度調整。本實用新型提供的可調節劃片機主軸緊固裝置及裝調方法，通過調節螺紋實現對主軸刀盤平面的調節，結構簡單、操作方便、安裝精度高，且裝調后整體結構穩定，形變小，節約結構成本。
【IPC分類】B24B41-04, H01L21-67
【公開號】CN204308745
【申請號】CN201420485227
【發明人】顧迎峰, 王駿, 李丹
【申請人】江蘇京創先進電子科技有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2014年8月26日