一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構的制作方法
【專利摘要】本發明是一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，包括上盤系統、頂臺、主支座和下箱體，所述上盤系統固接在頂臺上，所述頂臺和主支座之間通過多個立柱組件連接，所述主支座下端設有多個減震器，所述減震器一端固接在下箱體的頂面上。本發明的自平衡系統，合理的利用了減震器的彈性，有效的保證了設備在研磨拋光過程中，上盤和下盤之間的平行度，實現了上下盤在不同的工況下的自適應找正功能，保證了研磨，拋光加工過程穩定性，從而保證了加工效果，并且結構簡單，保證了加工精度和工件成品的表面質量。
【專利說明】
一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構
技術領域
[0001]本發明涉及研磨機或拋光機技術領域，具體涉及一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構。
【背景技術】
[0002]單面研磨機/拋光機是目前硬脆材料，半導體平面加工的主要設備，因加工材料的特殊性，要求設備有很高的加工精度。上下盤的平行度對工件的表面質量起著至關重要的作用。
[0003]現有的研磨機或拋光機，上、下盤系統相對獨立安裝，很難保證上下盤之間的平行度，無法滿足市場對硬脆材料，半導體等日益提高的工件表面質量要求。
【發明內容】
[0004]本發明的目的在于克服現有技術存在的問題，提供一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，保證上下盤的平行度，從而保證加工精度和工件成品的表面質量。
[0005]為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本發明通過以下技術方案實現:
一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，包括上盤系統、頂臺、主支座和下箱體，所述上盤系統固接在頂臺上，所述頂臺和主支座之間通過多個立柱組件連接，所述主支座下端設有多個減震器，所述減震器一端固接在下箱體的頂面上。
[0006]進一步的，所述主支座的下方連接有動力系統。
[0007]進一步的，所述主支座以懸掛方式連接下方的動力系統。
[0008]進一步的，所述頂臺與主支座之間設有四個立柱組件。
[0009]進一步的，所述主支座與下箱體之間設有四個減震器。
[0010]本發明的有益效果是:
本發明的自平衡系統，合理的利用了減震器的彈性，有效的保證了設備在研磨拋光過程中，上盤和下盤之間的平行度，實現了上下盤在不同的工況下的自適應找正功能，保證了研磨，拋光加工過程穩定性，從而保證了加工效果，并且結構簡單，保證了加工精度和工件成品的表面質量。
【附圖說明】
[0011]圖1為本發明的結構示意圖。
[0012]圖中標號說明:1、上盤系統，2、頂臺，3、立柱組件，4、主支座，5、減震器，6、下箱體，
7、動力系統。
【具體實施方式】
[0013]下面將參考附圖并結合實施例，來詳細說明本發明。
[0014]參照圖1所示，一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，包括上盤系統1、頂臺2、主支座4和下箱體6，所述上盤系統I固接在頂臺2上，所述頂臺2和主支座4之間通過多個立柱組件3連接，所述主支座4下端設有多個減震器5，所述減震器5—端固接在下箱體6的頂面上。
[0015]所述主支座4的下方連接有動力系統7。
[0016]所述主支座4以懸掛方式連接下方的動力系統7。
[0017]所述頂臺2與主支座4之間設有四個立柱組件3。
[0018]所述主支座4與下箱體6之間設有四個減震器5。
[0019]以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，對于本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，其特征在于，包括上盤系統(I)、頂臺(2)、主支座(4)和下箱體(6)，所述上盤系統(I)固接在頂臺(2)上，所述頂臺(2)和主支座(4)之間通過多個立柱組件(3)連接，所述主支座(4)下端設有多個減震器(5)，所述減震器(5)—端固接在下箱體(6)的頂面上。2.根據權利要求1所述的研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，其特征在于，所述主支座(4)的下方連接有動力系統(7)。3.根據權利要求2所述的研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，其特征在于，所述主支座(4)以懸掛方式連接下方的動力系統(7)。4.根據權利要求1所述的研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，其特征在于，所述頂臺(2)與主支座(4)之間設有四個立柱組件(3)。5.根據權利要求1所述的研磨機或拋光機的上下盤自平衡機構，其特征在于，所述主支座(4)與下箱體(6)之間設有四個減震器(5)。
【文檔編號】B24B37/34GK106041721SQ201610591818
【公開日】2016年10月26日
【申請日】2016年7月26日 公開號201610591818.4, CN 106041721 A, CN 106041721A, CN 201610591818, CN-A-106041721, CN106041721 A, CN106041721A, CN201610591818, CN201610591818.4
【發明人】喬衛民, 翟新, 李方俊, 馬艷
【申請人】蘇州赫瑞特電子專用設備科技有限公司