一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場及其組裝方法
【專利摘要】本發明公開了一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場及其組裝方法，所述一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。本發明提供的真空陰極旋轉永磁體動態磁場不僅結構簡單，而且能使靶材刻蝕范圍加大，降低生產成本。
【專利說明】
一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場及其組裝方法
技術領域
[0001]本發明涉及磁場領域，尤其涉及一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場及其組裝方法。
【背景技術】
[0002]目前市場真空行業中真空陰極磁場控制方式種類繁多，靶材使用率較低，結構復雜，一般方法是用固定式永磁體或電磁線圈控制磁場方式，靶材磁場約束采用電磁線圈方式的磁場約束能力弱，離化率低，所以生產成本高。
【發明內容】
[0003]鑒于目前真空陰極磁場存在的上述不足，本發明提供一種靶材刻蝕范圍大，生產成本低的真空陰極旋轉永磁體動態磁場。
[0004]為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案:
[0005]一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統在旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。
[0006]依照本發明所述另一個方面，所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。
[0007]依照本發明所述另一個方面，所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。
[0008]依照本發明所述另一個方面，所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。
[0009]依照本發明所述另一個方面，所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上。
[0010]依照本發明所述另一個方面，所述旋轉座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉座板上。
[0011]—種真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法，所述真空陰極旋轉永磁體動態磁場包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，其特征在于:所述真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法包含以下步驟:
[0012]把驅動系統和軸承座固定在旋轉座板上；
[0013]把從動齒輪套入軸承座中；
[0014]把軸承回轉體固定到軸承座上；
[0015]把內極板固定在內磁座上；
[0016]把內極板固定在連接板上；
[0017]把連接板固定在從動齒輪上；
[0018]將靶材固定在靶座上。
[0019]依照本發明所述另一個方面，所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合，所述把驅動系統和軸承座固定在旋轉座板上步驟具體可包含以下步驟:
[0020]將電機和軸承座固定在旋轉座板上；
[0021]將主動齒輪固定在電機軸端。
[0022]依照本發明所述另一個方面，所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上，所述把軸承回轉體固定到軸承座上步驟具體可包含以下步驟:
[0023]把第一滾動軸承裝入軸承座中；
[0024]依次裝入軸承定位內環、軸承定位外環和第二滾動軸承；
[0025]把軸承壓蓋固定到軸承座上。
[0026]依照本發明所述另一個方面，所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中，所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述把連接板固定在從動齒輪上之后還包含以下步驟:
[0027]把永磁體分別鑲嵌到外極板和外磁座中；
[0028]把外極板固定在外磁鋼座上；
[0029]將第一支撐柱一端擰緊到外磁鋼座上；
[0030]將第一支撐柱另一端固定到旋轉座板上；
[0031 ] 將第二支撐柱一端擰緊到靶座上；
[0032]將第二支撐柱另一端用螺釘固定到旋轉座板上。
[0033]本發明實施的優點:一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和革E系統，驅動系統在旋轉系統上，磁場系統位于旋轉系統和革E系統之間，旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，軸承座固定在旋轉座板上，軸承回轉體固定在軸承座上，軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，連接座固定在從動齒輪上，磁場系統包括內磁座和內極板，內極板分別固定在內磁座和連接座上，靶系統包括靶座和靶材，靶材固定在靶座下面，這樣驅動系統可以帶動內磁座和內極板一起不停的旋轉，從而使靶材刻蝕范圍加大，降低了生產成本；旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，第一支撐柱一端固定到外磁座上，第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，第二支撐柱一端固定到靶座上，第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，旋轉座板上還設有把手，把手固定在旋轉座板上，因此本發明真空陰極旋轉永磁體動態磁場結構也簡單，維修也方便。
【附圖說明】
[0034]為了更清楚地說明本發明實施例中的技術方案，下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。
[0035]圖1為本發明真空陰極旋轉永磁體動態磁場的立體示意圖；
[0036]圖2為本發明真空陰極旋轉永磁體動態磁場的爆炸式結構示意圖；
[0037]圖3為本發明真空陰極旋轉永磁體動態磁場的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0038]下面將結合附圖對本發明作進一步說明。
[0039]如圖1、圖2、圖3所示，一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統101、旋轉系統102、磁場系統103和靶系統104，驅動系統101位于旋轉系統102上，磁場系統103位于旋轉系統102和靶系統104之間，旋轉系統102包括旋轉座板201、軸承座202和軸承回轉體203，軸承座202固定在旋轉座板201上，軸承回轉體203固定在軸承座202上，軸承回轉體203包括從動齒輪204和連接座205，連接座205固定在從動齒輪204上，磁場系統103包括內磁座206和內極板207，內極板207分別固定在內磁座206和連接座205上，靶系統104包括靶座208和靶材209，靶材209固定在靶座208下面，這樣驅動系統101可以帶動內磁座206和內極板207 —起不停的旋轉，從而使靶材刻蝕范圍加大，降低生產成本。
[0040]在實際應用中，驅動系統101可包括電機210和主動齒輪211，電機210固定在旋轉座板201上，主動齒輪211固定在電機210軸端，并與從動齒輪204緊扣吻合，軸承回轉體203還包括軸承壓蓋212、第一滾動軸承213、第二滾動軸承222、軸承定位內環214和軸承定位外環215，第一滾動軸承213、第二滾動軸承222、軸承定位內環214和軸承定位外環215都位于軸承壓蓋212上，軸承壓蓋212固定在軸承座202上，磁場系統103還可包括永磁體216、外磁座217和外極板218，永磁體216分別在外磁座217和外極板218中，旋轉座板201上設有第一支撐柱220和第二支撐柱221，第一支撐柱220 —端固定到外磁座217上，第一支撐柱220的另一端固定到旋轉座板201上，第二支撐柱221 —端固定到靶座208上，第二支撐柱221的另一端固定到旋轉座板201上，旋轉座板201上還設有把手219，把手219固定在旋轉座板201上，安裝時首先把從動齒輪204套入軸承座202中，把第一滾動軸承213裝入軸承座202中，再依次裝入軸承定位內環214、軸承定位外環215和第二滾動軸承222，裝配到位后，用螺釘把軸承壓蓋212固定到軸承座202上壓緊軸承內圈，由于內極板207分別用螺釘固定在內磁座206和連接座205上，連接座205用螺釘固定到從動齒輪204上壓緊軸承外圈，所以裝配成為一整體件再后用螺釘固定到旋轉座板102上面，外極板218用螺釘固定在外磁座217上，將第一支撐柱220 —端擰緊固定到外磁座217上，安裝后保證高度一致，第一支撐柱220另一端用螺釘固定到旋轉座板201上面；將第二支撐柱221一端擰緊固定到靶座208上，安裝后保證高度一致，第二支撐柱221另一端用螺釘固定到旋轉座板201上面，最后將把手219用螺釘固定在旋轉座板201上面。由此可見，本發明真空陰極旋轉永磁體動態磁場結構十分簡單，維修方便，提高了生產效率。
[0041]需要測試時，啟動電機210，主動齒輪211帶動從動齒輪204旋轉，使軸承回轉體203、永磁體216、外磁座217、內磁座206、外極板218和內極板207也一起旋轉，在真空狀態下，引弧電極與陰極表面在通斷瞬間引燃電弧放電，靶材209離化率高，磁場約束力強，膜層致密性好，靶材209刻蝕面積大，利用固體靶材209，沒有熔池，靶材209可以任意位置安裝以保證鍍膜均勻。
[0042]本發明真空陰極旋轉永磁體動態磁場包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，所述真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法包含以下步驟:
[0043]把驅動系統和軸承座固定在旋轉座板上；
[0044]把從動齒輪套入軸承座中；
[0045]把軸承回轉體固定到軸承座上；
[0046]把內極板固定在內磁座上；
[0047]把內極板固定在連接板上；
[0048]把連接板固定在從動齒輪上；
[0049]把靶材固定在靶座上。
[0050]為了更清楚的理解本發明的組裝方法，以下介紹本發明具體的操作步驟和實現效果O
[0051]步驟S1:把驅動系統和軸承座固定在旋轉座板上；
[0052]在實際應用中，步驟SI驅動系統可包括電機和主動齒輪，先把電機直接用螺釘固定在旋轉座板上，或者把電機用螺釘固定在電機固定板上，再將電機固定板用螺釘或電焊接固定在旋轉板上，然后把主動齒輪用螺釘固定在電機軸端，最后把軸承座用螺釘或電焊接固定在旋轉座板上，這樣電機可以帶動主動齒輪旋轉。
[0053]步驟S2:把從動齒輪套入軸承座中；
[0054]在實際應用中，步驟S2把從動齒輪與主動齒輪緊扣吻合后，直接用力壓入軸承座中套住，這樣拆裝方便。
[0055]步驟S3:把軸承回轉體固定到軸承座上；
[0056]在實際應用中，步驟S3軸承回轉體還可包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環在軸承壓蓋上，軸承壓蓋固定在軸承座上，把第一滾動軸承裝入軸承座中，然后依次把軸承定位內環、軸承定位外環和第二滾動軸承裝入軸承中，最后把軸承壓蓋用螺釘固定到軸承座上，這樣電機可以帶動從動齒輪旋轉。
[0057]步驟S4:把內極板固定在內磁座上；
[0058]在實際應用中，步驟S4把內極板用螺釘或強力膠固定在內磁座上。
[0059]步驟S5:把內極板固定在連接板上；
[0060]在實際應用中，步驟S5把內極板和內磁座一體件用螺釘固定在連接板上。
[0061]步驟S6:把連接板固定在從動齒輪上；
[0062]在實際應用中，步驟S6把內極板、內磁座和連接板一體件用螺釘固定在從動齒輪上之后，這樣電機可以帶動軸承回轉體旋轉，由于磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中，所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，第一支撐柱一端固定到外磁座上，第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，第二支撐柱一端固定到靶座上，第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，因此，再把永磁體分別鑲嵌到外極板和外磁座中，然后把外極板用螺釘或強力膠固定在外磁座上，最后把第一支撐柱一端的外螺紋桿擰緊固定到外磁座的內螺紋孔中，或用螺釘固定到外磁座上，另一端用螺釘或電焊接固定到旋轉座板上，把第二支撐柱一端的外螺紋桿擰緊到靶座的內螺紋孔中，或用螺釘固定到靶座上，另一端用螺釘或電焊接固定到旋轉座板上，這樣電機可以帶動磁場系統旋轉。
[0063]步驟S7:將靶材固定靶座上；
[0064]在實際應用中，步驟S7將靶材用螺釘固定在靶座上，或在靶座上設有卡件將靶材固定在靶座上，或在靶座上設仿型靶材套將靶材固定在靶座上，最后將把手用螺釘或電焊接固定在旋轉座板上，這樣形成一整套本發明裝置，結構結單，維修方便，而且磁場可以不停的旋轉在靶材上，使靶材刻蝕范圍加大，大大降低了生產成本。
[0065]以上所述，僅為本發明的【具體實施方式】，但本發明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本領域技術的技術人員在本發明公開的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護范圍之內。因此，本發明的保護范圍應以所述權利要求的保護范圍為準。
【主權項】
1.一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，其特征在于:所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面。2.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合。3.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上。4.按照權利要求1所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中。5.按照權利要求1至4之一所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上。6.按照權利要求5所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場，其特征在于:所述旋轉座板上還設有把手，所述把手固定在旋轉座板上。7.—種真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法，所述真空陰極旋轉永磁體動態磁場包括驅動系統、旋轉系統、磁場系統和靶系統，所述驅動系統位于旋轉系統上，所述磁場系統位于旋轉系統和靶系統之間，所述旋轉系統包括旋轉座板、軸承座和軸承回轉體，所述軸承座固定在旋轉座板上，所述軸承回轉體固定在軸承座上，所述軸承回轉體包括從動齒輪和連接座，所述連接座固定在從動齒輪上，所述磁場系統包括內磁座和內極板，所述內極板分別固定在內磁座和連接座上，所述靶系統包括靶座和靶材，所述靶材固定在靶座下面，其特征在于:所述真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法包含以下步驟: 把驅動系統和軸承座固定在旋轉座板上； 把從動齒輪套入軸承座中； 把軸承回轉體固定到軸承座上； 把內極板固定在內磁座上； 把內極板固定在連接板上； 把連接板固定在從動齒輪上； 把靶材固定在靶座上。8.按照權利要求7所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法，其特征在于:所述驅動系統包括電機和主動齒輪，所述電機固定在旋轉座板上，所述主動齒輪固定在電機軸端，并與從動齒輪緊扣吻合，所述把驅動系統和軸承座固定在旋轉座板上步驟具體可包含以下步驟: 將電機和軸承座固定在旋轉座板上； 將主動齒輪固定在電機軸端。9.按照權利要求7所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法，其特征在于:所述軸承回轉體還包括軸承壓蓋、第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環，所述第一滾動軸承、軸承定位內環、第二滾動軸承和軸承定位外環都位于軸承壓蓋上，所述軸承壓蓋固定在軸承座上，所述把軸承回轉體固定到軸承座上步驟具體可包含以下步驟: 把第一滾動軸承裝入軸承座中； 依次裝入軸承定位內環、軸承定位外環和第二滾動軸承； 把軸承壓蓋固定到軸承座上。10.按照權利要求7至9之一所述的一種真空陰極旋轉永磁體動態磁場的組裝方法，其特征在于:所述磁場系統還包括永磁體、外磁座和外極板，所述外極板固定在外磁座上，所述永磁體在外磁座和外極板中，所述旋轉座板上設有第一支撐柱和第二支撐柱，所述第一支撐柱一端固定到外磁座上，所述第一支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述第二支撐柱一端固定到靶座上，所述第二支撐柱的另一端固定到旋轉座板上，所述把連接板固定在從動齒輪上之后還包含以下步驟: 把永磁體分別鑲嵌到外極板和外磁座中； 把外極板固定在外磁鋼座上； 將第一支撐柱一端固定到外磁鋼座上； 將第一支撐柱另一端固定到旋轉座板上； 將第二支撐柱一端固定到靶座上； 將第二支撐柱另一端用螺釘固定到旋轉座板上。
【文檔編號】C23C14/35GK105986234SQ201510052402
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2015年2月2日
【發明人】王叔暉, 孟慶學
【申請人】上海法德機械設備有限公司