一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置的制造方法
【專利摘要】本發明涉及一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，包括高溫工藝腔、低溫冷卻腔A、低溫冷卻腔B、樣品舟A和樣品舟B，沿低溫冷卻腔A、高溫工藝腔和低溫冷卻腔B的兩側內壁中部分別水平固定設置有滑軌，樣品舟A和樣品舟B的兩側均分別對應滑軌轉動連接有滑輪組，樣品舟A和樣品舟B通過各自兩側的滑輪組沿滑軌滑動；低溫冷卻腔A和低溫冷卻腔B內分別設有結構一致的推舟裝置A和推舟裝置B，推舟裝置A和推舟裝置B上分別可拆卸的連接有取樣桿A和取樣桿B，取樣桿A遠離推舟裝置A的一端可由推舟裝置A帶動連接或脫離樣品舟A，取樣桿B遠離推舟裝置B的一端可由推舟裝置B帶動連接或脫離樣品舟B。有益效果是增大樣品舟載重量等。
【專利說明】
一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置
技術領域
[0001]本發明涉及石墨烯薄膜制備技術領域，具體是一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置。
【背景技術】
[0002]石墨烯材料是由單層碳原子按正六邊形排布的薄膜材料，是世界上第一個被發現的可獨立存在的二維晶體。石墨烯是一種革命性的二維材料，被英國時報稱為是21世紀最具顛覆性的材料。我們生活在三維的時空里，日常所見、所用的物體從原子尺寸來看，均是由成千上萬層原子堆疊所構成。在2004年之前，傳統理論認為在三維的空間，因為熱力學的漲落，二維晶體材料是不可能獨立存在的。英國兩位科學家通過膠帶從石墨晶體上反復揭取，獲得了單原子層的石墨微片，這是第一次在實驗上獲得了石墨烯材料，兩位英國科學家也因其在石墨烯的開創性工作而獲得了諾貝爾2010年物理學獎。石墨烯具有優異的力學、熱學、光學、電學等性能，在眾多領域表現出廣闊的應用前景。
[0003]經過近幾年的廣泛研究，化學氣相沉積法(CVD)是規模化制備石墨烯薄膜最有前景的方法之一。CVD法制備高質量的石墨烯薄膜是在1000度左右的真空條件下將碳源加熱分解成活性碳基團，然后Cu、Ni等過渡金屬襯底上進一步分解生成石墨稀。然而，快速、連續規模化制備大面積、高質量石墨烯薄膜的方法一直沒有取得大的突破，極大的限制了石墨烯制備效率和產量，阻礙了石墨烯薄膜產業快速發展的步伐。
[0004]現有CVD制備高質量單層石墨烯薄膜通常需要在1000度左右的高溫條件下進行，生長工藝結束后，需要將樣品快速降溫。為提高樣品制備效率，CVD石墨烯制備設備一般設置2個工作腔，即高溫工藝腔與低溫冷卻腔，位于樣品舟內的樣品在高溫工藝腔完成制備工藝后，在低溫工作腔降溫。同樣，位于樣品舟內的樣品在低溫冷卻腔完成樣品裝載后，被送至高溫工藝腔制備石墨烯樣品。樣品舟如何在低溫冷卻腔與高溫工藝腔之間來回傳送及傳樣結構最大載重是限制連續規模化CVD設備效率提升的技術瓶頸。目前，CVD制備石墨烯設備通過采用懸臂式傳送槳傳送樣品，該傳送模式的最大的問題是傳送槳載重問題，考慮到力臂與力矩問題，隨著生長設備的加大，要將樣品從冷卻腔傳送至高溫工藝腔的恒溫區，傳送槳的力臂需要加長，那么在端頭的載重就會減小，與增大設備提高產量的目的相違背。同時，當樣品在低溫冷卻腔降溫、取樣、裝樣過程中，高溫工藝腔是處于閑置狀態，造成設備浪費。
【發明內容】
[0005]本發明所要解決的技術問題是提供一種提高設備利用率，增大樣品舟載重量，連續生產，擴大石墨烯薄膜產量，且產品均一性好的循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置。
[0006]本發明解決上述技術問題的技術方案如下:一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，包括高溫工藝腔、低溫冷卻腔A、低溫冷卻腔B、樣品舟A和樣品舟B，所述低溫冷卻腔A和低溫冷卻腔B分別通過帶膠圈的水冷法蘭與所述高溫工藝腔的兩端密封固定連接，所述低溫冷卻腔A和低溫冷卻腔B靠近對應的所述水冷法蘭的一端分別設有密封閥門A和密封閥門B;
[0007]沿所述低溫冷卻腔A、高溫工藝腔和低溫冷卻腔B的兩側內壁中部分別水平固定設置有滑軌，所述滑軌在所述密封閥門A和密封閥門B處斷開，所述樣品舟A和樣品舟B分別位于低溫冷卻腔A和低溫冷卻腔B內，所述樣品舟A和樣品舟B的兩側均分別對應所述滑軌轉動連接有滑輪組，所述樣品舟A和樣品舟B通過各自兩側的所述滑輪組沿所述滑軌滑動；
[0008]所述低溫冷卻腔A和低溫冷卻腔B內分別設有結構一致的推舟裝置A和推舟裝置B，所述推舟裝置A和推舟裝置B上分別可拆卸的連接有向所述高溫工藝腔水平延伸的取樣桿A和取樣桿B，所述取樣桿A遠離所述推舟裝置A的一端可由所述推舟裝置A帶動連接或脫離所述樣品舟A，所述樣品舟A與所述取樣桿A連接后可被所述推舟裝置A沿所述滑軌推入或拉出所述高溫工藝腔，所述取樣桿B遠離所述推舟裝置B的一端可由所述推舟裝置B帶動連接或脫離所述樣品舟B，所述樣品舟B與所述取樣桿B連接后可被所述推舟裝置B沿所述滑軌推入或拉出所述高溫工藝腔。
[0009]本發明的有益效果是:所述樣品舟A和樣品舟B沿所述滑軌被所述推舟裝置A和推舟裝置B循環的推入或拉出所述高溫工藝腔，即所述高溫工藝腔一直處于工作狀態，避免在一端樣品冷卻及取換樣時所述高溫工藝腔閑置，提高設備利用率的同時達到連續生產的目的；同時，利用所述樣品舟A和樣品舟B沿所述滑軌滑動進出所述高溫工藝腔，較之傳統的懸臂式傳送槳傳送樣品大大增加了樣品舟載重量，擴大了石墨烯薄膜產量。兩相結合達到連續規模化生產石墨薄膜的目的；另外，由于石墨烯薄膜在所述高溫工藝腔內進行高溫加工，在所述低溫冷卻腔A和低溫冷卻腔B冷卻，其高溫加工和冷卻分處不同環境，產品均一性好。
[0010]在上述技術方案的基礎上，本發明還可以做如下改進。
[0011]進一步，考慮到實現推舟裝置帶動連接或脫離所述樣品舟，所述推舟裝置A包括外殼、水平傳動機構和豎直傳動機構，所述取樣桿A靠近所述推舟裝置A的一端與所述外殼活動連接，所述水平傳動機構和豎直傳動機構位于所述外殼內，所述水平傳動機構帶動所述外殼在所述低溫冷卻腔A內沿所述取樣桿A的延伸方向水平往復位移，所述豎直傳動機構帶動所述取樣桿A在所述低溫冷卻腔A內豎直往復位移，所述取樣桿A遠離所述推舟裝置A的一端水平固定設置有掛鉤，所述掛鉤的勾部豎直設置;所述樣品舟A的外壁對應所述掛鉤位置水平固定設置有掛環，所述掛鉤隨所述取樣桿A的水平和豎直往復位移掛接或脫離所述掛環;所述推舟裝置B通過所述取樣桿B與所述樣品舟B的連接結構與所述推舟裝置A通過所述取樣桿A與所述樣品舟A的連接結構一致。
[0012]進一步，考慮到實現所述水平傳動機構帶動所述外殼在所述低溫冷卻腔A內沿所述取樣桿A的延伸方向水平往復位移，所述水平傳動機構包括導向軌和電機A，所述導向軌沿所述取樣桿A的延伸方向水平穿過所述外殼并固定在所述低溫冷卻腔A的內壁，在所述外殼頂部內壁對應所述導向軌開設有水平導向槽，所述導向軌與所述水平導向槽滑動連接，所述電機A固定設置在所述外殼的內側壁上，電機A輸出軸上套接有齒輪A，所述導向軌的內側壁沿所述導向軌的延伸方向并列開設有多個齒槽A，所述齒輪A與所述齒槽嚙合，所述電機A正反轉帶動所述外殼沿所述導向軌在所述低溫冷卻腔A內水平往復位移。
[0013]進一步，考慮到實現所述豎直傳動機構帶動所述取樣桿A在所述低溫冷卻腔A內豎直往復位移，所述豎直傳動機構包括電機B、夾持件、固定桿和傳動鏈條，所述電機B和固定桿分別固定設置在所述外殼同側的內側壁的頂部和底部，且所述電機B與所述固定桿水平并列設置，所述電機B的輸出軸上套接有齒輪B，所述固定桿上轉動連接有齒輪C，所述傳動鏈條環繞所述齒輪B和齒輪C設置并被所述電機B驅動正反旋轉，所述夾持件位于所述電機B和固定桿之間并夾持所述取樣桿A，在所述外殼的內側壁上對應所述夾持件的位置開設有豎直導向槽，所述夾持件位于所述豎直導向槽內，其遠離所述豎直導向槽的一側轉動連接有齒輪D，所述齒輪D與所述傳動鏈條單側嚙合，所述傳動鏈條的正反旋轉帶動所述夾持件沿所述豎直導向槽豎直往復位移，所述取樣桿A隨所述夾持件的豎直往復位移而豎直往復位移。
[0014]進一步，所述齒輪C通過軸承與所述固定桿轉動連接。
[0015]進一步，所述齒輪D通過帶中軸的軸承與所述夾持件轉動連接。
[0016]進一步，所述水冷法蘭包括外法蘭和內法蘭，所述膠圈被所述外法蘭和內法蘭夾持，所述外法蘭的內壁周向固定設置有延伸至高溫工藝腔內部的水冷擋環，所述水冷擋環覆蓋所述膠圈，利用所述水冷擋環吸收大部分所述高溫工藝腔產生的熱輻射，避免所述膠圈被1000度的工作環境及樣品舟被從所述高溫工藝腔拉出時產生的熱輻射所損壞，確保其密封可靠性。
[0017]進一步，所述密封閥門A和密封閥門B均為插板閥。
【附圖說明】
[0018]圖1為本發明工作狀態的正視剖視圖；
[0019]圖2為本發明所述推舟裝置A的右視圖；
[0020]圖3為本發明所述低溫冷卻腔A內部的左視圖；
[0021 ]圖4為本發明所述水冷法蘭的剖視圖；
[0022]附圖中，各標號所代表的部件列表如下:
[0023]1、推舟裝置A，2、導向軌，3、低溫冷卻腔A，4、樣品舟A，5、密封閥門A，6、水冷法蘭，
6.1、外法蘭，6.2、內法蘭，6.3、膠圈，6.4、水冷擋環，7、高溫工藝腔，8、樣品舟B，9、密封閥門B，10、低溫冷卻腔B，11、取樣桿B，12、推舟裝置B，13、滑輪組，14、滑軌，15、取樣桿A，16、外殼，17、齒輪119、齒輪4，20、電機六，21、齒輪(:，22、固定桿，23、齒輪0，24、夾持件，25、傳動鏈條，26、電機B，101、掛環。
【具體實施方式】
[0024]以下結合附圖對本發明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發明，并非用于限定本發明的范圍。
[0025]如圖1和圖3所示，一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，包括高溫工藝腔
7、低溫冷卻腔A3、低溫冷卻腔B10、樣品舟A4和樣品舟B8，低溫冷卻腔A3和低溫冷卻腔BlO分別通過帶膠圈6.3的水冷法蘭6與高溫工藝腔7的兩端密封固定連接，低溫冷卻腔A3和低溫冷卻腔BlO靠近對應的水冷法蘭6的一端分別設有密封閥門A5和密封閥門B9，密封閥門A5和密封閥門B9均為插板閥；
[0026]沿低溫冷卻腔A3、高溫工藝腔7和低溫冷卻腔BlO的兩側內壁中部分別水平固定設置有滑軌14，滑軌14在密封閥門A5和密封閥門B9處斷開，樣品舟A4和樣品舟B8分別位于低溫冷卻腔A3和低溫冷卻腔B10內，樣品舟A4和樣品舟B8的兩側均分別對應滑軌14轉動連接有滑輪組13，樣品舟A4和樣品舟B8通過各自兩側的滑輪組13沿滑軌14滑動；
[0027]低溫冷卻腔A3和低溫冷卻腔BlO內分別設有結構一致的推舟裝置Al和推舟裝置B12，推舟裝置Al和推舟裝置B12上分別可拆卸的連接有向高溫工藝腔7水平延伸的取樣桿A15和取樣桿Bll，取樣桿A15遠離推舟裝置Al的一端可由推舟裝置Al帶動連接或脫離樣品舟A4，樣品舟A4與取樣桿A15連接后可被推舟裝置Al沿滑軌14推入或拉出高溫工藝腔7，取樣桿Bll遠離推舟裝置B12的一端可由推舟裝置B12帶動連接或脫離樣品舟B8，樣品舟B8與取樣桿Bll連接后可被推舟裝置B12沿滑軌14推入或拉出高溫工藝腔7。
[0028]本實施例中，如圖1和圖2所示，推舟裝置Al包括外殼16、水平傳動機構和豎直傳動機構，取樣桿Al 5靠近推舟裝置Al的一端與外殼16活動連接，水平傳動機構和豎直傳動機構位于外殼16內，水平傳動機構帶動外殼16在低溫冷卻腔A3內沿取樣桿Al5的延伸方向水平往復位移，豎直傳動機構帶動取樣桿A15在低溫冷卻腔A3內豎直往復位移，取樣桿A15遠離推舟裝置Al的一端水平固定設置有掛鉤，掛鉤的勾部豎直設置;樣品舟A4的外壁對應掛鉤位置水平固定設置有掛環101，掛鉤隨取樣桿A15的水平和豎直往復位移掛接或脫離掛環101;推舟裝置B12通過取樣桿BI I與樣品舟B8的連接結構與推舟裝置Al通過取樣桿A15與樣品舟A4的連接結構一致。
[0029]如圖2所示，水平傳動機構包括導向軌2和電機A20，導向軌2沿取樣桿A15的延伸方向水平穿過外殼16并固定在低溫冷卻腔A3的內壁，在外殼16頂部內壁對應導向軌2開設有水平導向槽，導向軌2與水平導向槽滑動連接，電機A20固定設置在外殼16的內側壁上，電機A20輸出軸上套接有齒輪A19，導向軌2的內側壁沿導向軌2的延伸方向并列開設有多個齒槽A，齒輪A19與齒槽嚙合，電機A20正反轉帶動外殼16沿導向軌2在低溫冷卻腔A3內水平往復位移。
[0030]如圖2所示，豎直傳動機構包括電機B26、夾持件24、固定桿22和傳動鏈條25，電機B26和固定桿22分別固定設置在外殼16同側的內側壁的頂部和底部，且電機B26與固定桿22水平并列設置，電機B26的輸出軸上套接有齒輪B17，固定桿22上轉動連接有齒輪C21，傳動鏈條25環繞齒輪B17和齒輪C21設置并被電機B26驅動正反旋轉，夾持件24位于電機B26和固定桿22之間并夾持取樣桿A15，在外殼16的內側壁上對應夾持件24的位置開設有豎直導向槽，夾持件24位于豎直導向槽內，其遠離豎直導向槽的一側轉動連接有齒輪D23，齒輪D23與傳動鏈條25單側嚙合，傳動鏈條25的正反旋轉帶動夾持件24沿豎直導向槽豎直往復位移，取樣桿A15隨夾持件24的豎直往復位移而豎直往復位移，齒輪C21通過軸承與固定桿22轉動連接，齒輪D23通過帶中軸的軸承與夾持件24轉動連接。
[0031 ] 如圖4所示，水冷法蘭6包括外法蘭6.1和內法蘭6.2，膠圈6.3被外法蘭6.1和內法蘭6.2夾持，外法蘭6.1的內壁周向固定設置有延伸至高溫工藝腔內部的水冷擋環6.4，水冷擋環6.4覆蓋膠圈6.3。
[0032]工作原理:
[0033]低溫冷卻腔BlO內的樣品舟B8處于裝樣狀態時，低溫冷卻腔A3內的樣品舟A4裝樣完成，電機A20正轉帶動外殼16沿導向軌2在低溫冷卻腔A3內向樣品舟A4水平位移，取樣桿A15隨外殼16水平位移而水平位移，直至掛鉤位于掛環101上方，而后電機B26帶動傳動鏈條25的正轉進而帶動夾持件24沿豎直導向槽豎直向下位移，取樣桿A15隨夾持件24的豎直向下位移而豎直向下位移，直至掛鉤掛入掛環101內，而后開啟密封閥門A5，電機A20繼續正轉帶動取樣桿A15在低溫冷卻腔A3內將樣品舟A4推入高溫工藝腔7，而后電機B26帶動傳動鏈條25的反轉進而帶動夾持件24沿豎直導向槽豎直向上位移使掛鉤脫離掛環101，而后電機A20反轉帶動外殼16沿導向軌2在低溫冷卻腔A3內向遠離樣品舟A4的方向水平位移，進而取樣桿隨外殼16水平位移退出高溫工藝腔7，關閉密封閥門A5，樣品舟A4內的樣品在高溫工藝腔7內進行石墨烯薄膜制備;待石墨烯薄膜制備完成后，開啟密封閥門A5，電機A20正轉帶動外殼16沿導向軌2在低溫冷卻腔A3內向樣品舟A4水平位移，取樣桿Al 5隨外殼16水平位移至掛鉤位于掛環101上方，而后電機B26帶動傳動鏈條25的正轉進而帶動夾持件24沿豎直導向槽豎直向下位移，取樣桿A15隨夾持件24的豎直向下位移至掛鉤掛入掛環101內，而后電機A20反轉帶動外殼16沿導向軌2在低溫冷卻腔A3內向遠離樣品舟A4的方向水平位移，進而取樣桿A15帶動樣品舟A4隨外殼16水平位移退出高溫工藝腔7，關閉密封閥門A5，樣品舟A4內的產品在低溫冷卻腔A3內冷卻。樣品舟A4退出高溫工藝腔7后，樣品舟B8在執行與樣品舟A4同樣的工作步驟，如此循環。
[0034]以上所述僅為本發明的較佳實施例，并不用以限制本發明，凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:包括高溫工藝腔(7)、低溫冷卻腔A(3)、低溫冷卻腔B(10)、樣品舟A(4)和樣品舟B(8)，所述低溫冷卻腔A(3)和低溫冷卻腔B(1)分別通過帶膠圈(6.3)的水冷法蘭(6)與所述高溫工藝腔(7)的兩端密封固定連接，所述低溫冷卻腔A(3)和低溫冷卻腔B(1)靠近對應的所述水冷法蘭(6)的一端分別設有密封閥門A(5)和密封閥門B(9); 沿所述低溫冷卻腔A(3)、高溫工藝腔(7)和低溫冷卻腔B(1)的兩側內壁中部分別水平固定設置有滑軌(14)，所述滑軌(14)在所述密封閥門A(5)和密封閥門B(9)處斷開，所述樣品舟A(4)和樣品舟B(S)分別位于低溫冷卻腔A(3)和低溫冷卻腔B(1)內，所述樣品舟A(4)和樣品舟B(8)的兩側均分別對應所述滑軌(14)轉動連接有滑輪組(13)，所述樣品舟A(4)和樣品舟B(S)通過各自兩側的所述滑輪組(13)沿所述滑軌(14)滑動； 所述低溫冷卻腔A(3)和低溫冷卻腔B(1)內分別設有結構一致的推舟裝置A(I)和推舟裝置B(12)，所述推舟裝置A(I)和推舟裝置B(12)上分別可拆卸的連接有向所述高溫工藝腔(7)水平延伸的取樣桿A(15)和取樣桿B(Il)，所述取樣桿A(15)遠離所述推舟裝置A(I)的一端可由所述推舟裝置A(I)帶動連接或脫離所述樣品舟A(4)，所述樣品舟A(4)與所述取樣桿A(15)連接后可被所述推舟裝置A(I)沿所述滑軌(14)推入或拉出所述高溫工藝腔(7)，所述取樣桿B(Il)遠離所述推舟裝置B(12)的一端可由所述推舟裝置B(12)帶動連接或脫離所述樣品舟B(S)，所述樣品舟B(S)與所述取樣桿B(Il)連接后可被所述推舟裝置B(12)沿所述滑軌(14)推入或拉出所述高溫工藝腔(7)。2.根據權利要求1所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述推舟裝置A( I)包括外殼(16)、水平傳動機構和豎直傳動機構，所述取樣桿A( 15)靠近所述推舟裝置A( I)的一端與所述外殼(16)活動連接，所述水平傳動機構和豎直傳動機構位于所述外殼(16)內，所述水平傳動機構帶動所述外殼(16)在所述低溫冷卻腔A(3)內沿所述取樣桿A(15)的延伸方向水平往復位移，所述豎直傳動機構帶動所述取樣桿A(15)在所述低溫冷卻腔A(3)內豎直往復位移，所述取樣桿A(15)遠離所述推舟裝置A(I)的一端水平固定設置有掛鉤，所述掛鉤的勾部豎直設置;所述樣品舟A(4)的外壁對應所述掛鉤位置水平固定設置有掛環(101)，所述掛鉤隨所述取樣桿A(15)的水平和豎直往復位移掛接或脫離所述掛環(101);所述推舟裝置B(12)通過所述取樣桿B(Il)與所述樣品舟B(S)的連接結構與所述推舟裝置A(I)通過所述取樣桿A(15)與所述樣品舟A(4)的連接結構一致。3.根據權利要求2所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述水平傳動機構包括導向軌(2)和電機A(20)，所述導向軌(2)沿所述取樣桿A(15)的延伸方向水平穿過所述外殼(16)并固定在所述低溫冷卻腔A(3)的內壁，在所述外殼(16)頂部內壁對應所述導向軌(2)開設有水平導向槽，所述導向軌(2)與所述水平導向槽滑動連接，所述電機A(20)固定設置在所述外殼(16)的內側壁上，電機A(20)輸出軸上套接有齒輪A(19)，所述導向軌(2)的內側壁沿所述導向軌(2)的延伸方向并列開設有多個齒槽A，所述齒輪A(19)與所述齒槽嚙合，所述電機A(20)正反轉帶動所述外殼(16)沿所述導向軌(2)在所述低溫冷卻腔A(3)內水平往復位移。4.根據權利要求2所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述豎直傳動機構包括電機B(26)、夾持件(24)、固定桿(22)和傳動鏈條(25)，所述電機B (26)和固定桿(22)分別固定設置在所述外殼(16)同側的內側壁的頂部和底部，且所述電機B(26)與所述固定桿(22)水平并列設置，所述電機B(26)的輸出軸上套接有齒輪B(17)，所述固定桿(22)上轉動連接有齒輪C(21)，所述傳動鏈條(25)環繞所述齒輪B(17)和齒輪C(21)設置并被所述電機B(26)驅動正反旋轉，所述夾持件(24)位于所述電機B(26)和固定桿(22)之間并夾持所述取樣桿A(15)，在所述外殼(16)的內側壁上對應所述夾持件(24)的位置開設有豎直導向槽，所述夾持件(24)位于所述豎直導向槽內，其遠離所述豎直導向槽的一側轉動連接有齒輪D (23),所述齒輪D (23)與所述傳動鏈條(25)單側嚙合，所述傳動鏈條(25)的正反旋轉帶動所述夾持件(24)沿所述豎直導向槽豎直往復位移，所述取樣桿A(15)隨所述夾持件(24)的豎直往復位移而豎直往復位移。5.根據權利要求4所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述齒輪C(21)通過軸承與所述固定桿(22)轉動連接。6.根據權利要求4所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述齒輪D(23)通過帶中軸的軸承與所述夾持件(24)轉動連接。7.根據權利要求1至6任一項所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述水冷法蘭(6)包括外法蘭(6.1)和內法蘭(6.2)，所述膠圈(6.3)被所述外法蘭(6.1)和內法蘭(6.2)夾持，所述外法蘭(6.1)的內壁周向固定設置有延伸至高溫工藝腔內部的水冷擋環(6.4)，所述水冷擋環(6.4)覆蓋所述膠圈(6.3)。8.根據權利要求1至6任一項所述的一種循環式連續規模化石墨烯薄膜制備裝置，其特征在于:所述密封閥門A(5)和密封閥門B(9)均為插板閥。
【文檔編號】C23C16/54GK105970182SQ201610478340
【公開日】2016年9月28日
【申請日】2016年6月27日
【發明人】李占成, 史浩飛, 高翾, 張永娜, 黃德萍, 姜浩, 于本文
【申請人】中國科學院重慶綠色智能技術研究院