一種化學沉積設備的制造方法
【專利摘要】本發明公開了一種化學沉積設備，包括藥液槽和設于所述藥液槽內的傳輸機構，所述傳輸機構包括多個平行且間隔設置的上輸送滾輪和下輸送滾輪，該化學沉積設備還包括設于所述藥液槽內、位于該些下輸送滾輪的下方、并沿該些下輸送滾輪的軸向設置的復數個攪動裝置，所述攪動裝置包括一基體和固設于所述基體上的至少一片葉片，當所述葉片在外力作用下于所述藥液槽內360度旋轉時，所述藥液槽內的藥液產生涌動。本發明增加了攪動裝置，通過攪動裝置在藥液槽內旋轉從而使得藥液產生大面積的涌動力，進而提高沉積速率，提升沉積的效果。
【專利說明】
一種化學沉積設備
技術領域
[0001]本發明涉及一種化學沉積設備，屬于濕制程設備工藝技術領域。
【背景技術】
[0002]化學沉積是利用一種合適的還原劑使鍍液中的金屬離子還原并沉積在基體表面上的化學還原過程。化學沉積被廣泛應用于印制線路板的生產加工中，其主要目的在于通過一系列化學處理方法在非導電的基材上沉積一層錫、銅、鎳、銀等物質。
[0003]化學沉積工藝通過一系列必須的步驟而完成錫、銅、鎳、銀等物質的沉積，為了提升化學藥液的沉積速率，需藥液槽體內的藥液保持涌動的狀態。如圖1-3所示的化學沉積設備，其包括藥液槽I和設于藥液槽I內的用于輸送基板K(印制線路板)的傳輸機構，藥液槽I內的藥液高于傳輸機構的高度，從而將基板完全浸泡在藥液中。該傳輸機構包括由驅動機構驅動(圖中未示出)的多個平行且間隔設置的上輸送滾輪2和下輸送滾輪3，基板在上輸送滾輪2和下輸送滾輪3之間傳輸，該藥液槽內還設置有多個水刀4，該些水刀4分別設置于相鄰的兩個下實心滾輪3之間，且相鄰的水刀4之間間隔多個下輸送滾輪3，水刀4對基板噴沖藥液，從而使得藥液產生一定程度的涌動，進而使得藥液對基板產生一定程度的置換而提尚沉積效果。
[0004]然而，現有的化學沉積設備中的水刀產生的藥液涌動的面積過于集中(如圖3所示，箭頭表示水刀作用下的藥液流動狀態)，即在水刀周邊的較小范圍內產生藥液涌動，無法輻射到整個基板K，無法達到理想的攪動藥液的作用，因而無法達到較佳的沉積效果。
【發明內容】
[0005]為了解決上述技術問題，本發明的目的在于一種化學沉積設備，克服了現有技術的不足。
[0006]為了實現上述目的，本發明的技術方案如下:
[0007]—種化學沉積設備，包括藥液槽和設于所述藥液槽內的傳輸機構，所述傳輸機構包括多個平行且間隔設置的上輸送滾輪和下輸送滾輪，該化學沉積設備還包括設于所述藥液槽內、位于該些下輸送滾輪的下方、并沿該些下輸送滾輪的軸向設置的復數個攪動裝置，所述攪動裝置包括一基體和固設于所述基體上的至少一片葉片，當所述葉片在外力作用下于所述藥液槽內360度旋轉時，所述藥液槽內的藥液產生涌動。
[0008]優選的，所述基體的一端與驅動機構連接，所述驅動機構采用馬達。
[0009]進一步的，所述基體的一端經磁力環和傳動軸與所述驅動機構連接。
[0010]優選的，所述基體采用一圓柱形棒材，所述葉片采用平板型葉片或具有弧面的葉片。
[0011]優選的，該化學沉積設備還包括補液機構，所述補液機構包括栗浦和與所述栗浦通過管道連接的補液管，所述補液管的另一端部設于所述藥液槽內，用于向所述藥液槽內補充藥液，從而使得所述藥液槽內的藥液面始終位于設定位置。
[0012]優選的，該化學沉積設備還包括復數個沉箱，該些沉箱設于所述藥液槽內的底端部，用于節約藥液槽內的藥液容積。
[0013]優選的，所述攪動裝置具有一片所述葉片。
[0014]優選的，所述攪動裝置具有兩片所述葉片，該兩片葉片之間夾角為180度。
[0015]優選的，所述攪動裝置具有三片所述葉片，該三片葉片之間夾角為120度。
[0016]與現有技術相比，本發明的優點至少在于:
[0017]I)本發明增加了攪動裝置，通過攪動裝置在藥液槽內旋轉從而使得藥液產生涌動力，進而提尚沉積速率，提升沉積的效果。
[0018]2)優選的，本發明通過補液機構可以向藥液槽內補充藥液，從而使得所述藥液槽內的藥液面始終位于設定位置，從而保證沉積反應的順利、穩定的進行。
[0019]3)優選的，本發明通過多個設置于藥液槽內的沉箱，可以抬高藥液的高度，大幅度減少向藥液槽內加入藥水的量，從而節約了藥液的用量。
[0020]4)優選的，采用具有一個葉片的攪動裝置，可以有效地產生攪動力，從而使得藥液產生大面積的涌動效果，進而提高了沉積速率。
【附圖說明】
[0021]為了更清楚地說明本發明結構特征和技術要點，下面結合附圖和【具體實施方式】對本發明進行詳細說明。
[0022]圖1為現有技術中的一種化學沉積設備的主視圖；
[0023]圖2為現有技術中的一種化學沉積設備的側視圖；
[0024]圖3為現有技術中的一種化學沉積設備的局部側視圖；
[0025]圖4為本發明實施例所公開的一種化學沉積設備的主視圖；
[0026]圖5為本發明實施例所公開的一種化學沉積設備的側視圖；
[0027]圖6為本發明實施例所公開的一種化學沉積設備的局部側視圖；
[0028]圖7為圖6的局部不意圖；
[0029]圖8為本發明實施例所公開的攪動裝置的結構示意圖。
[0030]附圖標記說明:藥液槽1、上輸送滾輪2、下輸送滾輪3、水刀4、攪動裝置5、基體51、葉片52、驅動機構6、磁力環7、補液機構8、栗浦81、補液管82、沉箱9、傳動軸1。
【具體實施方式】
[0031]下面將結合本實施例中的附圖，對實施例中的技術方案進行具體、清楚、完整地描述。
[0032]實施例1:
[0033]參見圖4-8所示，本實施例公開了一種化學沉積設備，包括藥液槽I和設于藥液槽I內的用于輸送基板(印制線路板)的傳輸機構，藥液槽I內的藥液高于傳輸機構的高度，從而將基板完全浸泡在藥液中，該傳輸機構包括多個平行且間隔設置的上輸送滾輪2和下輸送滾輪3，該化學沉積設備還包括設于藥液槽I內、位于該些下輸送滾輪3的下方、并沿該些下輸送滾輪3的軸向設置的復數個攪動裝置5，攪動裝置5包括一基體51和固設于基體51上的一片葉片52，當葉片52在外力作用下于藥液槽I內360度旋轉時，藥液槽I內的藥液產生涌動。
[0034]優選的，基體51的一端與驅動機構6連接，驅動機構6采用馬達。驅動機構6用于驅動葉片52旋轉，從而產生攪動力。
[0035]進一步的，基體51的一端經磁力環7和傳動軸10與驅動機構6連接。
[0036]優選的，基體51采用一圓柱形棒材，葉片52采用平板型葉片。其中，基體51和葉片52可以采用一體設置的方式。此外，葉片52采用平板型葉片設計，其產生的攪動效果最佳，可以更好地提高沉積速率。當然，葉片52還可以設計為其他形狀，例如具有弧面的形狀等等，但是其效果均遜于平板型葉片。
[0037]優選的，該化學沉積設備還包括補液機構8，補液機構8包括栗浦81和與栗浦81通過管道連接的補液管82，補液管82的另一端部設于藥液槽I內，用于向藥液槽I內補充藥液，從而使得藥液槽I內的藥液面始終位于設定位置，進而保證沉積反應的順利、穩定的進行。
[0038]優選的，該化學沉積設備還包括復數個沉箱9，該些沉箱9設于藥液槽I內的底端部，用于節約藥液槽I內的藥液。通過多個設置于藥液槽I內的沉箱9，可以抬高藥液的高度，大幅度減少向藥液槽I內加入藥水的量，從而節約了藥液的用量。
[0039]藉由以上技術方案，通過攪動裝置5在藥液槽I內旋轉從而使得藥液產生大面積的涌動力(如圖7所示，圖中的箭頭表示在葉片52作用下藥液的流動狀態)，進而提高沉積速率，提升沉積的效果。
[0040]實施例2:
[0041]本實施例2與實施例1的區別在攪動裝置的葉片設置不同，其他的不再進行贅述。該攪動裝置包括基體和兩片葉片，該兩片葉片之間夾角為180度。
[0042]實施例3:
[0043]本實施例3與實施例1的區別在攪動裝置的葉片設置不同，其他的不再進行贅述。該攪動裝置包括基體和三片葉片，該三片葉片之間夾角為120度。
[0044]實施例2-3同樣可以起到攪動的作用，但是相對比實施I而言，權利2-3的攪動效果較差，實施例1的結構最為簡單，但達到的攪動效果最佳。但是實施例2-3仍然為本發明的一較佳實施方式，并和實施例1 一起對本發明的技術方案做進一步的解釋說明，但絕不對本發明的技術方案構成限定。
[0045]上述【具體實施方式】，僅為說明本發明的技術構思和結構特征，目的在于讓熟悉此項技術的相關人士能夠據以實施，但以上所述內容并不限制本發明的保護范圍，凡是依據本發明的精神實質所作的任何等效變化或修飾，均應落入本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種化學沉積設備，包括藥液槽和設于所述藥液槽內的傳輸機構，所述傳輸機構包括多個平行且間隔設置的上輸送滾輪和下輸送滾輪，其特征在于，該化學沉積設備還包括設于所述藥液槽內、位于該些下輸送滾輪的下方、并沿該些下輸送滾輪的軸向設置的復數個攪動裝置，所述攪動裝置包括一基體和固設于所述基體上的至少一片葉片，當所述葉片在外力作用下于所述藥液槽內360度旋轉時，所述藥液槽內的藥液產生涌動。2.根據權利要求1所述的一種化學沉積設備，其特征在于，所述基體的一端與驅動機構連接，所述驅動機構采用馬達。3.根據權利要求2所述的一種化學沉積設備，其特征在于，所述基體的一端經磁力環和傳動軸與所述驅動機構連接。4.根據權利要求1所述的一種化學沉積設備，其特征在于，所述基體采用一圓柱形棒材，所述葉片采用平板型葉片或具有弧面的葉片。5.根據權利要求1所述的一種化學沉積設備，其特征在于，該化學沉積設備還包括補液機構，所述補液機構包括栗浦和與所述栗浦通過管道連接的補液管，所述補液管的另一端部設于所述藥液槽內，用于向所述藥液槽內補充藥液，從而使得所述藥液槽內的藥液面始終位于設定位置。6.根據權利要求1所述的一種化學沉積設備，其特征在于，該化學沉積設備還包括復數個沉箱，該些沉箱設于所述藥液槽內的底端部，用于節約藥液槽內的藥液容積。7.根據權利要求1-6中任一項所述的一種化學沉積設備，其特征在于，所述攪動裝置具有一片所述葉片。8.根據權利要求1-6中任一項所述的一種化學沉積設備，其特征在于，所述攪動裝置具有兩片所述葉片，該兩片葉片之間夾角為180度。9.根據權利要求1-6中任一項所述的一種化學沉積設備，其特征在于，所述攪動裝置具有三片所述葉片，該三片葉片之間夾角為120度。
【文檔編號】C23C18/16GK105937025SQ201610536782
【公開日】2016年9月14日
【申請日】2016年7月8日
【發明人】黃品椿, 朱科星, 張長樹, 徐永伯, 張東亞
【申請人】蘇州創峰光電科技有限公司