濺射鍍膜機構的制作方法
【專利摘要】本發明公開了一種濺射鍍膜機構，其中，所述濺射鍍膜機構包括艙室，所述艙室內部的頂部固定有靶材機構，所述艙室相對的內側壁上分別設置有擋板機構，且所述靶材機構位于所述擋板機構的上方，所述擋板機構包括轉軸、擋板和收集板，所述擋板的一端通過轉軸連接所述艙室內側壁，使得所述擋板能以所述轉軸為支點上下翻轉，所述擋板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設置有收集板。
【專利說明】
濺射鍍膜機構
技術領域
[0001 ]本發明涉及玻璃鍍膜設備，具體地，涉及濺射鍍膜機構。
【背景技術】
[0002]濺射設備是設計用于在平板建筑玻璃上鍍制低輻射膜、低輻射太陽膜以及陽光控制膜，玻璃板由水平輸送系統傳送至鍍膜室進行處理，鍍膜室頂端設置有靶材機構，傳統的鍍膜是利用靶材機構直接將靶材粒子濺射至玻璃板上，由于靶材機構的濺射范圍較大，如果不能控制靶材機構的濺射范圍，會導致處于濺射范圍邊緣的粒子也沉積在玻璃板上，導致玻璃板上的鍍膜效果下降。
【發明內容】
[0003]本發明的目的是提供一種濺射鍍膜機構，解決了傳統的濺射鍍膜機構不能控制其靶材的濺射范圍，使得濺射不集中，影響玻璃板鍍膜質量的問題。
[0004]為了實現上述目的，本發明提供了一種濺射鍍膜機構，其中，所述濺射鍍膜機構包括艙室，所述艙室內部的頂部固定有靶材機構，所述艙室相對的內側壁上分別設置有擋板機構，且所述靶材機構位于所述擋板機構的上方，所述擋板機構包括轉軸、擋板和收集板，所述擋板的一端通過轉軸連接所述艙室內側壁，使得所述擋板能以所述轉軸為支點上下翻轉，所述擋板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設置有收集板。
[0005]優選地，所述艙室相對的內側壁上還分別設置有貫穿的進口和出口，且所述進口和所述出口都位于所述擋板機構的下方，所述濺射鍍膜機構還包括運輸機構，且所述運輸機構依次穿過所述進口和所述出口，所述運輸機構上放置有玻璃基片，所述玻璃基片可以在所述運輸機構上依次從所述進口滑移至所述出口。
[0006]優選地，所述運輸機構至少包括有多個順次設置的輥筒，且所述輥筒的表面上沿其軸向方向順次套接有多個橡膠圈。
[0007]優選地，所述橡膠圈的數量為5-8個。
[0008]優選地，所述艙室的外側壁上可移動地設有第一閥門機構和第二閥門機構，所述第一閥門機構位于所述進口的上方，且通過移動所述第一閥門機構可以將所述進口遮蔽，所述第二閥門機構位于所述出口的上方，且通過移動所述第二閥門機構可以將所述出口遮蔽。
[0009]優選地，所述第一閥門機構包括氣缸和蓋門，所述氣缸的一端固定在所述艙室的外側壁上，另一端連接蓋門，所述氣缸可以帶動所述蓋門上下運動。
[0010]優選地，所述蓋門的外表面包裹有密封橡膠套。
[0011 ]根據上述技術方案，本發明提供了一種濺射鍍膜機構，其中，所述濺射鍍膜機構包括艙室，所述艙室內部的頂部固定有靶材機構，所述艙室相對的內側壁上分別設置有擋板機構，且所述靶材機構位于所述擋板機構的上方，所述擋板機構包括轉軸、擋板和收集板，所述擋板的一端通過轉軸連接所述艙室內側壁，使得所述擋板能以所述轉軸為支點上下翻轉，所述擋板中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設置有收集板，工作時，可以通過調整2塊擋板與艙室內側壁的角度，來控制靶材濺射至玻璃板表面的范圍，使得處于濺射范圍邊緣的粒子落至收集板上，由于收集板是可拆卸地設置在擋板上，可以方便對收集板上收集的粒子進行回收。
[0012]本發明的其他特征和優點將在隨后的【具體實施方式】部分予以詳細說明。
【附圖說明】
[0013]附圖是用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發明，但并不構成對本發明的限制。在附圖中:
[0014]圖1是本發明提供的濺射鍍膜機構的結構示意圖；
[0015]圖2是本發明提供的濺射鍍膜機構中輥筒的結構示意圖。
[0016]附圖標記說明
[0017]1-艙室2-靶材機構
[0018]3-收集板4-擋板
[0019]5-轉軸6-氣缸
[0020]7-蓋門8-玻璃基片
[0021]9-運輸機構10-棍筒
[0022]11-橡膠圈
【具體實施方式】
[0023]以下結合附圖對本發明的【具體實施方式】進行詳細說明。應當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發明，并不用于限制本發明。
[0024]如圖1和圖2所示，本發明提供了一種濺射鍍膜機構，其中，所述濺射鍍膜機構包括艙室I，所述艙室I內部的頂部固定有靶材機構2，所述艙室I相對的內側壁上分別設置有擋板機構，且所述靶材機構2位于所述擋板機構的上方，所述擋板機構包括轉軸5、擋板4和收集板3，所述擋板4的一端通過轉軸5連接所述艙室I內側壁，使得所述擋板4能以所述轉軸5為支點上下翻轉，所述擋板4中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設置有收集板3。工作時，可以通過調整2塊擋板4與艙室I內側壁的角度，來控制靶材濺射至玻璃板表面的范圍，使得處于濺射范圍邊緣的粒子落至收集板上，由于收集板3是可拆卸地設置在擋板4上，可以方便對收集板3上收集的粒子進行回收。
[0025]在本發明的一種優選的實施方式中，所述艙室I相對的內側壁上還分別設置有貫穿的進口和出口，且所述進口和所述出口都位于所述擋板機構的下方，所述濺射鍍膜機構還包括運輸機構9，且所述運輸機構9依次穿過所述進口和所述出口，所述運輸機構9上放置有玻璃基片8，所述玻璃基片8可以在所述運輸機構9上依次從所述進口滑移至所述出口，玻璃基片8從進口進入到艙室I內，完成鍍膜后，再從所述出口滑出。
[0026]在本發明的一種優選的實施方式中，為了使得玻璃基片8能與運輸機構9更為柔和的接觸，防止玻璃基片8在滑動時產生劃痕，所述運輸機構9至少包括有多個順次設置的輥筒10，且所述輥筒10的表面上沿其軸向方向順次套接有多個橡膠圈11，優選的，所述橡膠圈11的數量為5-8個，當然，這里橡膠圈11的數量可以根據本領域人員的需求進一步調整。
[0027]在本發明的一種更為優選的實施方式中，玻璃基片8在艙室I內鍍膜時，為了保證艙室I的密封性，所述艙室I的外側壁上可移動地設有第一閥門機構和第二閥門機構，所述第一閥門機構位于所述進口的上方，且通過移動所述第一閥門機構可以將所述進口遮蔽，所述第二閥門機構位于所述出口的上方，且通過移動所述第二閥門機構可以將所述出口遮蔽。
[0028]在本發明的一種優選的實施方式中，為了使得更為方便的對進出口進行開關閉合，所述第一閥門機構包括氣缸6和蓋門7，所述氣缸6的一端固定在所述艙室I的外側壁上，另一端連接蓋門7，所述氣缸6可以帶動所述蓋門7上下運動。
[0029]為了進一步增加蓋門7的密封效果，所述蓋門7的外表面包裹有密封橡膠套。
[0030]以上結合附圖詳細描述了本發明的優選實施方式，但是，本發明并不限于上述實施方式中的具體細節，在本發明的技術構思范圍內，可以對本發明的技術方案進行多種簡單變型，這些簡單變型均屬于本發明的保護范圍。
[0031]另外需要說明的是，在上述【具體實施方式】中所描述的各個具體技術特征，在不矛盾的情況下，可以通過任何合適的方式進行組合，為了避免不必要的重復，本發明對各種可能的組合方式不再另行說明。
[0032]此外，本發明的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合，只要其不違背本發明的思想，其同樣應當視為本發明所公開的內容。
【主權項】
1.一種濺射鍍膜機構，其特征在于，所述濺射鍍膜機構包括艙室(I)，所述艙室(I)內部的頂部固定有靶材機構(2)，所述艙室(I)相對的內側壁上分別設置有擋板機構，且所述靶材機構(2)位于所述擋板機構的上方，所述擋板機構包括轉軸(5)、擋板(4)和收集板(3)，所述擋板(4)的一端通過轉軸(5)連接所述艙室(I)內側壁，使得所述擋板(4)能以所述轉軸(5)為支點上下翻轉，所述擋板(4)中靠近所述靶材的一面上可拆卸地設置有收集板(3)。2.根據權利要求1所述的濺射鍍膜機構，其特征在于，所述艙室(I)相對的內側壁上還分別設置有貫穿的進口和出口，且所述進口和所述出口都位于所述擋板機構的下方，所述濺射鍍膜機構還包括運輸機構(9)，且所述運輸機構(9)依次穿過所述進口和所述出口，所述運輸機構(9)上放置有玻璃基片(8)，所述玻璃基片(8)可以在所述運輸機構(9)上依次從所述進口滑移至所述出口。3.根據權利要求2所述的濺射鍍膜機構，其特征在于，所述運輸機構(9)至少包括有多個順次設置的輥筒(10)，且所述輥筒(10)的表面上沿其軸向方向順次套接有多個橡膠圈(Il)04.根據權利要求3所述的濺射鍍膜機構，其特征在于，所述橡膠圈(11)的數量為5-8個。5.根據權利要求2所述的濺射鍍膜機構，其特征在于，所述艙室(I)的外側壁上可移動地設有第一閥門機構和第二閥門機構，所述第一閥門機構位于所述進口的上方，且通過移動所述第一閥門機構可以將所述進口遮蔽，所述第二閥門機構位于所述出口的上方，且通過移動所述第二閥門機構可以將所述出口遮蔽。6.根據權利要求5所述的濺射鍍膜機構，其特征在于，所述第一閥門機構包括氣缸(6)和蓋門(7 )，所述氣缸(6)的一端固定在所述艙室(I)的外側壁上，另一端連接蓋門(7 )，所述氣缸(6)可以帶動所述蓋門(7)上下運動。7.根據權利要求1所述的濺射鍍膜機構，其特征在于，所述蓋門(7)的外表面包裹有密封橡膠套。
【文檔編號】C23C14/34GK105908141SQ201610266380
【公開日】2016年8月31日
【申請日】2016年4月27日
【發明人】金海濤, 薛輝, 昌江, 任俊春
【申請人】蕪湖真空科技有限公司