一種線性加熱源的制作方法
【專利摘要】本發明提供一種線性加熱源，包括具有出氣口部件的加熱腔室，所述出氣口部件具有大小可調的出氣口，所述出氣口用于使得包含有蒸鍍材料的氣體通過。本發明所提供的線性加熱源，能夠調節蒸鍍材料的氣體分布，避免堵塞，提高效率，降低成本。
【專利說明】
一種線性加熱源
技術領域
[0001 ]本發明涉及生產技術，尤其涉及一種線性加熱源。
【背景技術】
[0002]目前，有機發光二極管(Organic Light-Emitting D1de，0LED)的主流制備工藝是蒸鍍技術，蒸鍍技術主要是利用熱蒸發有機材料的原理，即把有機材料填入加熱源里，在真空環境中，升溫加熱，使固體有機材料熔融揮發或者升華形成氣態，有機材料的氣體流沉積到玻璃基板上，形成一層層的有機薄膜，制備成OLED的器件。
[0003]有機材料的氣體流通過加熱源的出氣口從坩禍里出來，現有技術的加熱源，出氣口為圓孔，一種加熱源僅能夠適應一種型號的產品，且無法調節蒸鍍材料氣體的分布，孔徑較小容易堵塞。
【發明內容】
[0004]有鑒于此，本發明提供一種線性加熱源，能夠調節蒸鍍材料的氣體分布。
[0005]基于上述目的本發明提供的線性加熱源，包括具有出氣口部件的加熱腔室，所述出氣口部件具有大小可調的出氣口，所述出氣口用于使得包含有蒸鍍材料的氣體通過。
[0006]可選的，所述出氣口為條狀。
[0007]可選的，所述出氣口由兩個相對設置的短側壁和兩個相對設置的長側壁限定而成，所述兩個短側壁設置在所述兩個長側壁的兩端，至少一個所述長側壁可沿短側壁向靠近或遠離相對的長側壁的方向移動，使得所述出氣口寬度可調。
[0008]可選的，所述加熱腔室由頂部設有第一開口的長方體加熱槽限定而成;所述出氣口部件還包括固定板，所述長側壁下端連接固定板，所述出氣口部件覆蓋所述加熱槽頂部的第一開口。
[0009]可選的，所述加熱槽頂部第一開口處設有至少一個滑槽，至少一個所述固定板伸入所述滑槽中，并能夠在所述滑槽中滑動以帶動對應的長側壁滑動，使得所述出氣口寬度可調。
[0010]可選的，所述長側壁上設置有加熱絲，所述加熱絲沿著所述長側壁延伸。
[0011]可選的，所述加熱腔室內設置有用于容納蒸鍍材料的坩禍;所述坩禍具有第三開口，所述第三開口處設置有具有第二開口的出氣板;所述出氣板覆蓋所述第三開口。
[0012]可選的，所述出氣板設置有2-3個，設置于所述坩禍室開口的不同高度位置。
[0013]可選的，所述出氣板上的開口面積為出氣板總面積的1%_90%。
[0014]可選的，所述出氣板上的開口面積為出氣板總面積的2%_10%。
[0015]可選的，所述長側壁呈U形，兩個長側壁的U形開口相對設置；所述短側壁為板狀物。
[0016]可選的，所述出氣口部件制作材料為鈦合金、或鋁合金。
[0017]可選的，還包括隔熱壁，包圍設置于所述加熱腔室外側。
[0018]可選的，所述隔熱壁包括反射板和冷凝板，所述反射板設置于所述冷凝板的內側。
[0019]從上面所述可以看出，本發明所提供的線性加熱源，具有條狀出氣口，條狀出氣口相比現有技術中線性排列的多個孔狀出氣口，與蒸鍍材料的接觸率降低，也就是說，在出氣口部件具有同等高度的情況下，本發明所提供的線性加熱源中，蒸鍍材料與出氣口部件的接觸面積比現有技術的低，從而減少蒸鍍材料在出氣口處沉積的概率，能夠有效防止出氣口堵塞。進而在蒸鍍過程中，無需因為出氣口堵塞而耗費繁瑣的程序維護線性加熱源，也能夠避免出氣口堵塞造成的蒸鍍材料沉積厚度均勻性降低，提高產品質量，降低維護成本。
[0020]同時，本發明實施例所提供的線性加熱源，出氣口寬度能夠調節，線性加熱源能夠適用的范圍大，能夠調節蒸鍍材料的氣體分布，設備利用率高。出氣口兩側設置有加熱絲之類的機構，能提高出氣口處的溫度，避免蒸鍍氣體因為溫度降低而沉積。在加熱腔室的坩禍第三開口處設置有具有第二開口的出氣板，使得蒸鍍氣體能夠在加熱腔室中進行有效充分的混合，提高蒸鍍膜層厚度的均勻性。
【附圖說明】
[0021]圖1A、IB為本發明實施例的線性加熱源截面結構示意圖；
[0022]圖2為本發明實施例的出氣口部件側壁結構示意圖；
[0023]圖3為本發明一種實施例的出氣板不意圖。
【具體實施方式】
[0024]為使本發明要解決的技術問題、技術方案和優點更加清楚，下面將結合附圖及具體實施例進行詳細描述。
[0025]本發明首先提供一種線性加熱源，如圖1A、IB所示，包括具有出氣口部件102的加熱腔室1I，所述出氣口部件102具有大小可調節的出氣口，例如，可從圖1A所示的較大的寬度調整到圖1B所示的較小的寬度，所述出氣口用于使得包含有蒸鍍材料的氣體通過。
[0026]本發明實施例所提供的線性加熱源，出氣口寬度為可調整的，從而使得線性加熱源能夠調節蒸鍍材料的氣體分布，擴大線性加熱源的適用范圍；同時，在清潔出氣口部件或向加熱腔室中添加蒸鍍材料時，可將出氣口打開，使得出氣口處于最大狀態，便于清潔或材料的添加。由于出氣口大小的可調整性，使得有機材料的成膜范圍可隨時改變，從而可以減少并防止材料塞孔問題；當出氣口變小時，可以減小材料蒸發量，并使出氣口部件的側壁更好的遮擋有機材料。
[0027]在本發明一些實施例中，所述出氣口可根據需要設計成不同的形狀，例如:圓形、橢圓形、矩形等。
[0028]在本發明一些實施例中，所述出氣口為條狀。所述條狀出氣口的長度大于現有技術中一個孔狀出氣口的直徑，從而線性加熱源的出氣口數量減少、出氣口部件與蒸鍍材料接觸的部分的總面積減少。在本發明較佳實施例中，所述出氣口在線性加熱源的蒸鍍范圍內設置有一個。
[0029]現有技術中，由于制程的不穩定或者有些材料的凝固溫度與氣態溫度相接近，只要出氣口的局部溫度較低，氣態的材料很容易在出氣口處慢慢凝結，使出氣口慢慢變小，直至全部被堵死。這種情況下，速率檢測系統檢測的有機材料的速率逐漸變小，在速率控制下，以企圖保持速率穩定，加熱源的溫度會逐漸上升，過高的溫度會導致材料的性質變化直至裂解碳化。另一方面，若是線性加熱源的情況下，此段的速率減小，亦導致沉積到基板上的材料變少，膜厚變薄，影響了 OLED器件的性能，降低了產品的良率。同時，需要開腔處理堵塞的出氣口，并且更換變質的材料，降低了設備的工作效率，提高了生產成本。
[0030]本發明將出氣口設為條狀，相比現有技術中的多個孔狀出氣口，側壁與蒸鍍材料接觸比例降低，從而能夠減少蒸鍍材料在出氣口部件處的沉積，避免出氣口部件堵塞，從而避免因為出氣口部件被蒸鍍材料堵塞而導致產品上蒸鍍形成的薄膜厚度不均勻，也減少了線性加熱源維修的次數和時間，降低了蒸鍍的成本；同時，出氣口設置為條狀，便于在出氣口側壁上設置加熱絲，與現有技術的孔狀出氣口相比，在出氣口部件兩側設置的加熱絲與出氣口側壁的有效接觸面積大，能夠進一步防止材料沉積。
[0031 ] 在本發明一些實施例中，參照圖2，所述出氣口由兩個相對設置的短側壁1021和兩個相對設置的長側壁1022限定而成，所述兩個短側壁1021設置在所述兩個長側壁1022的兩端，所述出氣口部件102的至少一個長側壁1022可沿短側壁1021向靠近或遠離相對的長側壁1022的方向移動，使得所述出氣口寬度可調。
[0032]在本發明一種較佳實施例中，兩個相對設置的長側壁可同時移動，在本發明的其他一些實施例中，也可以其中一個固定，另一個移動。
[0033]在本發明一些實施例中，仍然參照圖1A、圖1B，所述加熱腔室101由頂部設有第一開口 1011的長方體加熱槽1012限定而成;所述出氣口部件102還包括固定板1023，所述長側壁下端連接固定板1023;和出氣口部件102覆蓋所述加熱槽頂部的第一開口 1011。
[0034]在本發明一些實施例中，仍然參照圖1A、圖1B，所述加熱槽1012頂部第一開口1011處設有至少一個滑槽1013，至少一個所述固定板1023伸入所述滑槽1013中，并能夠在所述滑槽1013中滑動以帶動對應的長側壁滑動，使得所述出氣口部件102寬度可調。
[0035]固定板伸入所述滑槽中，使得固定板被加熱槽包圍，從而固定板能夠被線性加熱源加熱，熱量通過固定板能夠傳遞到側壁，從而有助于提高出氣口的溫度，進一步降低蒸鍍材料在出氣口處的沉積率。
[0036]在本發明一些實施例中，所述長側壁上設置有加熱絲，所述加熱絲沿著所述長側壁延伸。
[0037]在本發明具體實施例中，所述加熱絲可以為任意合適的形狀。目前線性加熱源的噴嘴是一個個獨立的由鈦金屬制備而成的孔狀物，而且由于噴嘴底部大、頂部小，噴嘴底部與加熱源連接面較大，需要有反射板部件結合冷凝部件以維持熱源熱量散發到加熱腔室中，導致噴嘴的固定位置較高;而且維持噴嘴溫度的加熱絲由于固定方面的需求，一般設計在噴嘴底部與加熱源連接面的拐角位置，導致加熱絲的熱量主要在噴嘴下部，噴嘴上部的熱量通過鈦金屬傳導和熱輻射獲得。由于噴嘴的高度較大，加熱絲與噴嘴結合不緊密，鈦金屬熱傳導系數較低，導致噴嘴上部，特別是頂部的溫度較低，且不易準確控制。
[0038]而本發明所提供的線性加熱源，出氣口為長條狀，其側壁大體上為板狀，加熱絲易于設置，能夠布局在所述長側壁、短側壁處，且在長側壁、短側壁上部、下部均進行布局，從而有利于提高出氣口處的溫度。所述加熱絲能夠對出氣口部件的長側壁、短側壁進行加熱，從而有助于提升出氣口處的溫度，進一步降低蒸鍍材料的沉積率。
[0039]在本發明一些實施例中，仍然參照圖1A、1B，所述加熱腔室101內設置有用于容納蒸鍍材料的坩禍103;所述坩禍具有第三開口 1031，所述第三開口 1031處設置有具有第二開口 1041的出氣板104;所述出氣板104覆蓋所述第三開口 1031。
[0040]有機材料蒸汽從坩禍里蒸發出來，由于加熱槽不同位置的蒸汽速率不一樣，需要一個相對密閉的空間進行壓力平衡，由于條狀出氣口大小的可調整性，導致無法形成一個穩定的密閉空間，故在出氣口部件下側，設置出氣板，形成多個相對密閉的氣壓平衡空間，使從出氣口不同位置揮發出來的材料蒸汽速率一樣，從而保證有機材料沉積膜厚的均一性。
[0041]在坩禍的第三開口處設置的出氣板能夠跟坩禍室形成相對封閉的空間，使得蒸鍍材料能夠在其中進行初步混合，從而提高蒸鍍材料從線性加熱源中排放出去的均勻性，進而提高材料蒸鍍的均勻性。
[0042]在本發明一些實施例中，所述出氣板設置有2-3個，設置于所述坩禍室開口的不同高度位置。
[0043]在本發明一些實施例中，坩禍及出氣板的結構如圖3所示，坩禍103的第三開口處設置有第一出氣板301、第二出氣板302，第一出氣板301上具有孔狀開口 3011、第二出氣板302上具有多段條狀開口 3021。
[0044]從提高蒸鍍材料均勻性的角度考慮，出氣板設置的個數越多越好;但由于空間的限制，出氣板設置的個數應當在設置空間能夠容納的情況下盡可能多，在較佳實施例中，考慮到氣體混合均勻性因素以及空間大小因素，出氣板設置2-3個。出氣板與所述坩禍的第三開口配合設置，可從第三開口上取出，也可作為坩禍蓋使用;所述坩禍的坩禍蓋也可作為出氣板。
[0045]在本發明一些實施例中，所述出氣板上的開口面積為出氣板總面積的1%_90%。
[0046]在開口面積為I%-90%的情況下，蒸鍍氣體能夠進行較為充分的混合，同時不會因為開口過大而使出氣板失去適當阻擋蒸鍍氣體的效果。
[0047]在本發明一些實施例中，所述出氣板上的開口面積為出氣板總面積的2%_10%。
[0048]在開口面積為2%_10%的情況下，蒸鍍氣體能夠進行更為充分的混合，同時不會因為開口過大而使出氣板失去適當阻擋蒸鍍氣體的效果。
[0049]在本發明一些實施例中，仍然參照圖2，所述長側壁1022呈左右方向拉長狀態下的U形，圖2中所呈現的長側壁為實際長側壁的一部分，兩個長側壁1022的U形開口相對設置；所述短側壁1021為板狀物。U形長側壁1022通過沿著板狀短側壁滑動而使得條狀出氣口寬度得到調整。當兩個U形長側壁1022合并后，兩端為近似半圓形，兩個U形側壁構成最小狀態下的出氣口。
[0050]在本發明一些實施例中，所述出氣口部件制作材料為鈦合金、或鋁合金。
[0051]采用這一類合金，能夠使得出氣口部件具有較好的熱傳導效率，從而能夠將線性加熱源的熱量充分利用，防止蒸鍍氣體在經過出氣口時變冷而沉積在出氣口處。
[0052]在本發明一些實施例中，所述線性加熱源還包括隔熱壁，包圍設置于所述加熱腔室外側。
[0053]通過設置隔熱壁，能夠阻止加熱槽與外界進行熱交換，從而提高線性加熱源所產生的熱量的利用率。
[0054]在本發明一些實施例中，所述隔熱壁包括反射板和冷凝板，所述反射板設置于所述冷凝板的內側。
[0055 ]通過反射板，能夠將線性加熱源產生的熱量向加熱槽方向反射，從而有利于線性加熱源產生的熱量保留在線性加熱源處，并傳輸到加熱腔室加熱蒸鍍材料;在反射板外側設置冷凝板，有利于將線性加熱源產生的熱量保留在加熱腔室中。
[0056]從上面所述可以看出，本發明所提供的線性加熱源，具有條狀出氣口，條狀出氣口相比現有技術中線性排列的多個孔狀出氣口，與蒸鍍材料的接觸率降低，也就是說，在出氣口部件具有同等高度的情況下，本發明所提供的線性加熱源中，蒸鍍材料與出氣口部件的接觸面積比現有技術的低，從而減少蒸鍍材料在出氣口處沉積的概率，能夠有效防止出氣口堵塞。進而在蒸鍍過程中，無需因為出氣口堵塞而耗費繁瑣的程序維護線性加熱源，也能夠避免出氣口堵塞造成的蒸鍍材料沉積厚度均勻性降低，提高產品質量，降低維護成本。
[0057]同時，本發明實施例所提供的線性加熱源，出氣口寬度能夠調節，線性加熱源能夠適用的范圍大，能夠調節蒸鍍材料的氣體分布，設備利用率高。出氣口兩側設置有加熱絲之類的機構，能提高出氣口處的溫度，避免蒸鍍氣體因為溫度降低而沉積。在加熱腔室的坩禍第三開口處設置有具有第二開口的出氣板，使得蒸鍍氣體能夠在加熱腔室中進行有效充分的混合，提高蒸鍍膜層厚度的均勻性。
[0058]應當理解，本說明書所描述的多個實施例僅用于說明和解釋本發明，并不用于限定本發明。并且在不沖突的情況下，本申請中的實施例及實施例中的特征可以相互組合。
[0059]顯然，本領域的技術人員可以對本發明進行各種改動和變型而不脫離本發明的精神和范圍。這樣，倘若本發明的這些修改和變型屬于本發明權利要求及其等同技術的范圍之內，則本發明也意圖包含這些改動和變型在內。
【主權項】
1.一種線性加熱源，包括具有出氣口部件的加熱腔室，其特征在于，所述出氣口部件具有大小可調的出氣口，所述出氣口用于使得包含有蒸鍍材料的氣體通過。2.根據權利要求1所述的線性加熱源，其特征在于，所述出氣口為條狀。3.根據權利要求2所述的線性加熱源，其特征在于，所述出氣口由兩個相對設置的短側壁和兩個相對設置的長側壁限定而成，所述兩個短側壁設置在所述兩個長側壁的兩端，至少一個所述長側壁可沿短側壁向靠近或遠離相對的長側壁的方向移動，使得所述出氣口寬度可調。4.根據權利要求3所述的線性加熱源，其特征在于，所述加熱腔室由頂部設有第一開口的長方體加熱槽限定而成;所述出氣口部件還包括固定板，所述長側壁下端連接固定板，所述出氣口部件覆蓋所述加熱槽頂部的第一開口。5.根據權利要求4所述的線性加熱源，其特征在于，所述加熱槽頂部第一開口處設有至少一個滑槽，至少一個所述固定板伸入所述滑槽中，并能夠在所述滑槽中滑動以帶動對應的長側壁滑動，使得所述出氣口寬度可調。6.根據權利要求3所述的線性加熱源，其特征在于，所述長側壁上設置有加熱絲，所述加熱絲沿著所述長側壁延伸。7.根據權利要求2所述的線性加熱源，其特征在于，所述加熱腔室內設置有用于容納蒸鍍材料的坩禍;所述坩禍具有第三開口，所述第三開口處設置有具有第二開口的出氣板;所述出氣板覆蓋所述第三開口。8.根據權利要求7所述的線性加熱源，其特征在于，所述出氣板設置有2-3個，設置于所述坩禍室開口的不同高度位置。9.根據權利要求7所述的線性加熱源，其特征在于，所述出氣板上的開口面積為出氣板總面積的I %~90%。10.根據權利要求9所述的線性加熱源，其特征在于，所述出氣板上的開口面積為出氣板總面積的2%-10%。11.根據權利要求3所述的線性加熱源，其特征在于，所述長側壁呈U形，兩個長側壁的U形開口相對設置;所述短側壁為板狀物。12.根據權利要求1所述的線性加熱源，其特征在于，還包括隔熱壁，包圍設置于所述加熱腔室外側。
【文檔編號】C23C14/24GK105861991SQ201610203944
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年4月1日
【發明人】鄒清華, 郭書鵬, 姚固, 李元虎
【申請人】京東方科技集團股份有限公司, 合肥鑫晟光電科技有限公司