>[0047]背板100的至少一個端面后續需要與靶材進行焊接，如果背板的端面產生凹凸不平的情況，不利于后續與靶材焊接。而為了使與靶材進行焊接的端面受的夾持力，本實施例中，特別設置兩塊夾板200來分別貼合兩個端面，并通過螺孔將兩塊夾板200鎖合在一起，從而對中間背板的兩個端面產生足夠的夾持力。
[0048]并且，本實施例特別設置兩塊夾板200對應的夾持面分別貼合兩個所述端面的全部面積。當夾板200夾持面貼合背板100端面的全部面積時，能夠更加有效防止背板100端面發生收縮變形，產生凹凸不平的表面。
[0049]需要說明的是，在本發明其它實施例中，端面邊緣的少部分面積也可以不必與夾板的夾持面貼合，即部分端面邊緣的少部分面積可以暴露在外，但此部分暴露在外的端面正下方通常不應具有通水管道。
[0050]本實施例中，夾板200對背板100端面的壓強控制在1500Pa?2000Pa。如果壓強小于1500Pa，夾板200對端面的夾持力不夠，背板100端面仍然容易發生收縮變形。如果壓強大于2000Pa，一方面可能使端面受壓縮變形，另一方面用于鎖合夾板200的螺桿300容易滑絲。
[0051]圖中雖未顯示，但本實施例在采用夾板200夾持背板100后，繼續對夾板200夾持的背板100進行固溶熱處理。
[0052]固溶處理是把合金加熱到適當溫度并保持充分的時間，使合金中的某些組成物溶解到基體中，形成均勻的固溶體，然后將合金迅速冷卻，使溶入基體的組成物留在基體內成為過飽和固溶體。固溶處理可以改善合金的延展性和韌性，并為進一步進行沉淀硬化處理創造條件。
[0053]本實施例中，所述固溶熱處理的固溶溫度范圍為510°C?550°C。由于固溶熱處理是將合金加熱至高溫單相區恒溫保持，使過剩相充分溶速冷卻，以得到過飽和固溶體的熱處理工藝。因此，如果溫度低于510°C，形成高溫單相所需時間久，生產工藝周期太長，而如果溫度高于550°C，溫度過高，耗能較大，并且對設備也造成不利影響。
[0054]本實施例中，所述固溶熱處理的時間范圍為2.5h?3.5h。如果時間低于2.5h，所需固溶熱處理的溫度需要調整得更高，否則形成高溫單相不夠。但是正如前面所述，而溫度過高對設備和耗能均有不利影響。并且時間太短，背板100在固溶熱處理階段留下的應力無法在時效階段完全釋放，導致背板100內應力較大，硬度無法提高，時間太長，浪費能源。而如果時間長于3.5h，生產工藝周期長，影響產能。
[0055]請繼續參考圖1，執行步驟S3，所述固溶熱處理的冷過程包括沿背板100的徑向將背板100垂直浸沒水或者油中。
[0056]水冷(或者油冷)是固溶熱處理的不可缺少的一個步驟，高溫下形成的單相通過急速冷卻，才能形成過飽和固溶體。
[0057]本實施例中，采用叉車挑起鐵鏈，鐵鏈拉起夾具連同背板100，垂直、快速地入水冷卻。用鐵鏈吊起夾板200之間的螺桿300，背板100受重力作用，自然就成垂直狀態，垂直入水方便操作。垂直、快速冷卻是為了盡快使得背板100沒入水里。快速的時間概念是3s?5s之間。如果不快速入水，背板100先入水的部分先收縮，后入水的部分后收縮，這樣先后入水的部分收縮量會不一致，導致背板100徑向方向變形量不均勻，影響背板100質量。
[0058]請繼續參考圖1，執行步驟S4，但本實施例在對背板100進行固溶熱處理后，繼續對夾板200夾持的背板100進行時效熱處理。
[0059]時效熱處理指合金工件經固溶處理、冷塑性變形或鑄造鍛造后，在較高的溫度放置保持其性能、形狀和尺寸隨時間而變化的熱處理工藝。時效熱處理是金屬在過飽和固溶體中溶質原子偏聚區和(或)由之脫溶出微粒彌散分布于基體中而導致硬化的一種熱處理工藝。
[0060]本實施例中，所述時效熱處理的固溶溫度范圍為150°C?190°C。時效熱處理是將淬火后的合金工件置于室溫或較高溫度下保持適當時間，以提高金屬強度的金屬熱處理工藝。根據Al-Mg-Si相圖和具體實踐經驗調整得出，在150°C?190°C的溫度范圍內，背板100時效熱處理后內應力得到消除，并且強度達到所需要求。如果溫度低于150°C，時效熱處理難以消除背板100內部殘余應力。如果溫度高于190°C，背板100在后續(入水或者入油)冷卻后，易造成—次內應力。
[0061]本實施例中，所述時效熱處理的時間范圍為7.5h?8.5h。如果時效熱處理的時間小于7.5h，時效熱處理難以消除背板100內部殘余應力，如果時效熱處理的時間大于8.5h，時間太長，生產工藝周期長，影響產能。
[0062]請繼續參考圖1，執行步驟S5，在所述時效熱處理后，沿背板100的徑向將背板100垂直浸沒水或者油中。
[0063]需要說明的是，水冷(或者油冷)不是時效熱處理后的不可缺少的步驟，在本發明的其它實施例中，也可以在時效熱處理后采用空冷。但是空冷的冷卻速度慢，容易耽誤生產，降低產能。因此，本實施例采用水冷(或者油冷)。
[0064]本實施例中，用叉車挑起鐵鏈，鐵鏈拉起夾具連同背板100，垂直、快速地入水冷卻。用鐵鏈吊起夾板200之間的螺桿300，背板100受重力作用，自然就成垂直狀態，垂直入水方便操作。垂直、快速冷卻是為了盡快使得背板100沒入水里。快速的時間概念是3s?5s之間。如果不快速入水，背板100先入水的部分先收縮，后入水的部分后收縮，這樣先后入水的部分收縮量會不一致，導致背板100徑向方向變形量不均勻，影響背板100質量。
[0065]如果沒有夾板200，在固溶熱處理和時效熱處理階段背板100直接入水，背板100整個表面都會受到收縮的力。由于背板100各部分承受應力的能力不同，原本平坦的背板100端面較易變形，即背板100端面易形成凸凹不平的表面。并且當背板100內部具有通水管道110時，背板100端面更加容易出現這種凸凹不平的情況。因此，本實施例中，在固溶熱處理和時效熱處理兩個階段，背板100 —直被固定夾持在兩塊夾板200之間，通過夾板200夾持背板100的端面，能夠借助夾板200的夾持力夾持背板100端面，使得背板100端面的變形得以有效的控制，從而防止在固溶熱處理和時效熱處理階段背板100端面出現凸凹不平。
[0066]圖中雖未顯示，但是在經過固溶熱處理和時效熱處理等熱處理工藝后，本實施例后續可以將背板100與相應的靶材焊接，形成最終的靶材組件產品。
[0067]雖然本發明披露如上，但本發明并非限定于此。任何本領域技術人員，在不脫離本發明的精神和范圍內，均可作各種更動與修改，因此本發明的保護范圍應當以權利要求所限定的范圍為準。
【主權項】
1.一種背板的熱處理方法，其特征在于，包括: 提供背板； 采用兩塊夾板分別沿所述背板的兩個端面夾持所述背板； 對所述夾板夾持的所述背板進行固溶熱處理； 對所述夾板夾持的所述背板進行時效熱處理。2.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述背板內部具有通水管道。3.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，兩塊所述夾板分別貼合兩個所述端面的全部面積。4.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述固溶熱處理的冷過程包括沿所述背板的徑向將所述背板垂直浸沒水或者油中。5.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，在所述時效熱處理后，還包括沿所述背板的徑向將所述背板垂直浸沒水或者油中的步驟。6.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述背板的材料為鋁、銅或者它們的合金，所述夾板的材料為銅、招或者它們的合金，或者所述夾板的材料為鋼材。7.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述夾板具有螺孔，采用螺桿將兩塊所述夾板鎖合在一起以夾持所述背板。8.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述夾板對所述端面的壓強范圍為 1500KPa ?2000KPa。9.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述固溶熱處理的固溶溫度范圍為510°C?550°C，所述固溶熱處理的時間范圍為2.5h?3.5h。10.如權利要求1所述的背板的熱處理方法，其特征在于，所述時效熱處理的固溶溫度范圍為150°C?190°C，所述時效熱處理的時間范圍為7.5h?8.5h。
【專利摘要】一種背板的熱處理方法，包括：提供背板；采用兩塊夾板分別沿所述背板的兩個端面夾持所述背板；對所述夾板夾持的所述背板進行固溶熱處理；對所述夾板夾持的所述背板進行時效熱處理。所述背板的熱處理方法在固溶熱處理和時效熱處理過程中，夾板始終夾持所述背板的端面，因此，所述背板端面不會在冷卻過程因各部分收縮不均而產生凹凸不平的情況。
【IPC分類】C22F1/00, C22F1/04, C22F1/08
【公開號】CN105586551
【申請號】CN201410563121
【發明人】姚力軍, 潘杰, 相原俊夫, 大巖一彥, 王學澤, 丁向前
【申請人】寧波江豐電子材料股份有限公司
【公開日】2016年5月18日
【申請日】2014年10月21日