一種組合式旋轉銀靶材的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種組合式旋轉銀靶材，尤其是一種L0W-E玻璃用旋轉銀靶材，屬于磁控濺射靶材技術領域。
【背景技術】
[0002]磁控濺射靶材是通過磁控濺射鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。L0W-E玻璃在真空磁控濺射鍍膜生產過程中，需要鍍制氮化硅層、銀層和鎳鉻層等膜層，其中起到降低輻射率功能的銀層是最重要的功能層，厚度一般小于20nm，此膜層的質量直接影響到L0W-E玻璃最重要的參數一輻射率。
[0003]目前國內普遍采用平面銀靶來進行真空磁控濺射鍍膜。但是平面靶材存在兩個嚴重的缺陷，一是濺射效率低，二是平面靶材由若干小塊拼接而成，存在接縫，影響了膜層的均勻性。可是平面靶材有一個重要的優點，是殘靶可以按國際銀價回收，所以使用成本很低。現在國際上已經有一些廠家用旋轉銀靶來生產L0W-E玻璃，生產效率高，膜層更加均勻。銀強度較低，而旋轉銀靶端口厚度較薄，不能夠承受銀靶本身的重量。
[0004]為了解決這一問題，旋轉銀靶目前有兩種生產方式:一是生產出銀管然后綁定在不銹鋼襯管上，此種方法濺射效率高，但是依然存在接縫，影響了膜層的質量;二是采用冷噴涂工藝直接在不銹鋼襯管上噴涂銀粉，此種方法不存在接縫問題，膜層質量好，濺射效率高。但是，這兩種方法都存在著制作成本高、殘靶回收困難、使用成本較高的問題，所以出于成本考慮，旋轉銀靶沒有被大規模采用。
【發明內容】
[0005]本發明的目的在于克服上述不足之處，提供一種組合式旋轉銀靶材。
[0006]按照本發明提供的技術方案，一種組合式旋轉銀靶材，包括銀管靶體，所述銀管靶體兩端均設有不銹鋼連接件，銀管靶體和不銹鋼連接件之間通過密封圈和密封墊密封連接。所述銀管靶體兩端均設有臺階，臺階與接口連接;所述密封圈設置于臺階處;所述銀管靶體兩端內部設有螺紋。所述臺階的長度小于10mm;所述接口的錐度為11.5°。
[0007]所述不銹鋼連接件上下兩端均設有連接件接口，連接件接口一側還設有外螺紋。所述連接件接口與臺階和接口配合連接，外螺紋與螺紋配合連接。所述連接件接口的錐度為 12。。
[0008]所述密封墊設置于不銹鋼連接件帶錐度的連接件接口處，帶有一個斜面和平面，與連接件接口互相貼合。所述密封墊中斜面和平面的厚度比為1:5，斜面的傾斜角度為
11.5°。
[0009]本發明的有益效果:本發明新型提供的組合式旋轉銀靶材不會影響靶材的導電性，也不會影響棒狀磁體放入靶材內部，并且確保了靶材不會漏水，避免破壞真空污染膜層的事故發生。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發明結構剖視圖。
[0011 ]圖2是銀靶材結構剖視圖。
[0012]圖3是不銹鋼連接件結構剖視圖。
[0013]圖4是密封墊側面結構示意圖。
[0014]附圖標記說明:1、銀管靶體；1-1、臺階；1-2、接口；1-3、螺紋;2、密封圈；3、不銹鋼連接件;3-1、連接件接口； 3-2、外螺紋;4、密封墊;4-1、斜面;4-2、平面。
【具體實施方式】
[0015]如圖1-4所示:一種組合式旋轉銀靶材，包括銀管靶體1，所述銀管靶體1兩端均設有不銹鋼連接件3，銀管靶體1和不銹鋼連接件3之間通過密封圈2和密封墊4密封連接。
[0016]所述銀管靶體1兩端均設有臺階1-1，臺階1-1與接口1-2連接;所述密封圈2設置于臺階1-1處;所述銀管靶體1兩端內部設有螺紋1-3。所述臺階1-1的長度小于10mm;所述接口1-2的錐度為11.5°。
[0017]所述不銹鋼連接件3上下兩端均設有連接件接口3-1，連接件接口 3-1—側還設有外螺紋3-2。所述連接件接口 3-1與臺階1-1和接口 1-2配合連接，外螺紋3-2與螺紋1-3配合連接。所述連接件接口3-1的錐度為12°。
[0018]所述密封墊4設置于不銹鋼連接件3帶錐度的連接件接口3-1處，帶有一個斜面4-1和平面4-2，與連接件接口 3-1互相貼合。所述密封墊4中斜面4-1和平面4-2的厚度比為1:5，斜面4-1的傾斜角度為11.5°。
[0019]本發明加工時，首先采用擠壓技術生產的銀管靶體1，銀管靶體1兩端加工出臺階1-1、11.5°的錐度、正旋梯形螺紋1-3。然后將密封圈2墊在銀管靶體1的臺階1-1上，密封墊4墊在不銹鋼連接件3的連接件接口 3-1內部，之后將銀管靶體1與不銹鋼連接件3旋轉連接起來，旋緊。
[0020]本發明新型不會影響靶材的導電性，也不會影響棒狀磁體放入靶材內部，并且確保了靶材不會漏水，避免破壞真空污染膜層的事故發生。
【主權項】
1.一種組合式旋轉銀靶材，包括銀管靶體(1)，其特征是:所述銀管靶體(1)兩端均設有不銹鋼連接件(3)，銀管靶體(1)和不銹鋼連接件(3)之間通過密封圈(2)和密封墊(4)密封連接。2.如權利要求1所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述銀管靶體(1)兩端均設有臺階(1-1)，臺階(1-1)與接口(1-2)連接;所述密封圈(2)設置于臺階(1-1)處;所述銀管靶體(1)兩端內部設有螺紋(1-3)。3.如權利要求2所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述臺階(1-1)的長度小于10mm;所述接口(1-2)的錐度為11.5°。4.如權利要求1所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述不銹鋼連接件(3)上下兩端均設有連接件接口( 3-1 )，連接件接口( 3-1)—側還設有外螺紋(3-2)。5.如權利要求4所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述連接件接口(3-1)與臺階(1-1)和接口( 1 -2 )配合連接，外螺紋(3-2 )與螺紋(1 -3 )配合連接。6.如權利要求4所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述連接件接口(3-1)的錐度為12。。7.如權利要求4所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述密封墊(4)設置于不銹鋼連接件(3)帶錐度的連接件接口(3-1)處，帶有一個斜面(4-1)和平面(4-2)，與連接件接口(3-1)互相貼合。8.如權利要求7所述組合式旋轉銀靶材，其特征是:所述密封墊(4)中斜面(4-1)和平面(4-2)的厚度比為1:5，斜面(4-1)的傾斜角度為11.5°。
【專利摘要】本發明涉及一種組合式旋轉銀靶材，屬于磁控濺射靶材技術領域。其包括銀管靶體，所述銀管靶體兩端均設有不銹鋼連接件，銀管靶體和不銹鋼連接件之間通過密封圈和密封墊密封連接。所述銀管靶體兩端均設有臺階，臺階與接口連接；所述銀管靶體兩端內部設有螺紋。本發明新型提供的組合式旋轉銀靶材不會影響靶材的導電性，也不會影響棒狀磁體放入靶材內部，并且確保了靶材不會漏水，避免破壞真空污染膜層的事故發生。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號】CN105463392
【申請號】CN201510880910
【發明人】秦國強, 常金永, 張志祥
【申請人】江陰恩特萊特鍍膜科技有限公司
【公開日】2016年4月6日
【申請日】2015年12月3日