一種離子源磁場分布結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種離子源磁場分布結構，屬于真空技術領域。
【背景技術】
[0002]現有離子源磁場分布結構技術中，氣體由內外陰極間的狹縫通過時，離子源陰極濺射容易導致一些惡劣情況，比如:污染基片；污染陽極；陰極與陽極絕緣不好，使工作不穩，甚至離子源無法起輝光開始工作。鑒于此，有必要對傳統的離子源磁場分布結構進行改進，以此來解決目前存在的問題。
【發明內容】
[0003]本發明要解決的技術問題是克服現有的缺陷，提供一種離子源磁場分布結構，可以有效解決【背景技術】中的問題。
[0004]為了解決上述技術問題，本發明提供了如下的技術方案:
本發明提供一種離子源磁場分布結構，包括外磁鋼、陽極、靶材、內磁鋼、磁鋼座、陰極和靶座構成。
[0005]作為本發明的一種優選技術方案，所述外磁鋼及內磁鋼安裝于磁鋼座內部，整體安裝于靶座上，所述靶材安裝于磁鋼座上。
[0006]作為本發明的一種優選技術方案，所述陰極充入冷卻水冷卻磁鋼及靶材，同時通入負電壓。
[0007]作為本發明的一種優選技術方案，所述陽極通入正電壓且與陰極絕緣，同時通入氣體。
[0008]作為本發明的一種優選技術方案，所述陰極為純鐵或純石墨，所述純石墨的內外陰極狹縫為直邊。
[0009]本發明所達到的有益效果是:
1、本發明整體結構簡單、外觀簡潔、便于自動控制；
2、本發明通用性好，使用安全、便于維護、成本較低的顯著有益效果。
【附圖說明】
[0010]附圖用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本發明的實施例一起用于解釋本發明，并不構成對本發明的限制。
[0011]在附圖中:
圖1是本發明陰極為純鐵的具體實施例的整體結構示意圖；
圖2是本發明陰極為純石墨的具體實施例的整體結構示意圖；
圖中標號:1、外磁鋼；2、陽極；3、靶材；4、內磁鋼；5、磁鋼座；6、陰極；7、靶座。
【具體實施方式】
[0012]以下結合附圖對本發明的優選實施例進行說明，應當理解，此處所描述的優選實施例僅用于說明和解釋本發明，并不用于限定本發明。
[0013]實施例1:如圖1所不，一種離子源磁場分布結構，包括外磁鋼1、陽極2、革E1材3、內磁鋼4、磁鋼座5、陰極6和靶座7構成，所述外磁鋼1及內磁鋼4安裝于磁鋼座5內部，整體安裝于靶座7上，所述靶材3安裝于磁鋼座5上，該結構中陰極6為純鐵。
[0014]該結構運行時，由陰極6充入冷卻水冷卻磁鋼及靶材3，同時通入負電壓；由陽極2通入正電壓且與陰極6絕緣，同時通入氣體，氣體由內外陰極間的狹縫通過時，迅速被聚在拱形磁場中間并被離化，通過這樣的方式，實現離化率高的同時陰極不濺射的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
[0015]實施例2:如圖2所不，一種離子源磁場分布結構，包括外磁鋼1、陽極2、革巴材3、內磁鋼4、磁鋼座5、陰極6和靶座7構成，該結構中的陰極6由原來的純鐵更換為純石墨，同時純石墨的內外陰極狹縫為直邊。
[0016]該結構運行時，由陰極6充入冷卻水冷卻磁鋼及靶材3，同時通入負電壓；由陽極2通入正電壓且與陰極6絕緣，同時通入氣體，氣體由內外陰極間的狹縫通過時，迅速被聚在拱形磁場中間并被離化，通過這樣的方式，實現離化率高的同時陰極不濺射的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
[0017]最后應說明的是:以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，盡管參照前述實施例對本發明進行了詳細的說明，對于本領域的技術人員來說，其依然可以對前述各實施例所記載的技術方案進行修改，或者對其中部分技術特征進行等同替換。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。
【主權項】
1.一種離子源磁場分布結構，其特征在于，包括外磁鋼(1)、陽極(2 )、靶材(3 )、內磁鋼(4)、磁鋼座(5)、陰極(6)和靶座(7)構成。2.根據權利要求1所述的一種離子源磁場分布結構，其特征在于，所述外磁鋼(1)及內磁鋼(4 )安裝于磁鋼座(5 )內部，整體安裝于靶座(7 )上，所述靶材(3 )安裝于磁鋼座(5 )上。3.根據權利要求1或2所述的一種離子源磁場分布結構，其特征在于，所述陰極(6)充入冷卻水冷卻磁鋼及靶材(3)，同時通入負電壓。4.根據權利要求1或2所述的一種離子源磁場分布結構，其特征在于，所述陽極(2)通入正電壓且與陰極(6)絕緣，同時通入氣體。5.根據權利要求1所述的一種離子源磁場分布結構，其特征在于，所述陰極(6)為純鐵或純石墨，所述純石墨的內外陰極狹縫為直邊。
【專利摘要】本發明提供了一種離子源磁場分布結構，包括外磁鋼、陽極、靶材、內磁鋼、磁鋼座、陰極和靶座構成，所述外磁鋼及內磁鋼安裝于磁鋼座內部，整體安裝于靶座上，所述靶材安裝于磁鋼座上，由陰極充入冷卻水冷卻磁鋼及靶材，同時通入負電壓，由陽極通入正電壓且與陰極絕緣，同時通入氣體，陰極為純鐵或純石墨。本發明氣體由內外陰極間的狹縫通過時，迅速被聚在拱形磁場中間并被離化，通過這樣的方式，實現離化率高的同時陰極極少濺射的目的，并具有通用性好，使用安全、方便和成本較低的顯著有益效果。
【IPC分類】H01J37/34, C23C14/35
【公開號】CN105441889
【申請號】CN201510966434
【發明人】劉野, 劉曉華, 馬槽偉
【申請人】大連維鈦克科技股份有限公司
【公開日】2016年3月30日
【申請日】2015年12月22日