用于真空腔室的快慢充氣裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明主要涉及到半導體真空設備領域，特指一種適用于半導體真空設備中真空腔室的快慢充氣裝置。
【背景技術】
[0002]金屬有機化合物化學氣相沉積(簡稱M0CVD)設備的真空腔室有兩個，一個是用于薄膜生長的反應室，另一個是進行載片盤輸送的傳送室。兩個真空腔室之間利用一個閘閥隔開。閘閥必須在兩個腔室的壓力達到一致時才能開啟，壓力差<5Pa。正常工藝時，反應室的壓力比傳送室要高，當工藝完成，需要取盤時，就必須對傳送室進行充氣。為了節約工藝時間，剛開始時充氣必須要快，等兩個腔室壓力快接近時，為了防止過沖，充氣就需要變慢。因此必須要設計一種能對真空腔室進行快慢充氣的裝置。通常的做法是在慢充的管路上增加一個流量計，這樣可以控制充氣的流量。但是帶控制的流量計的價格非常高，用浮子流量計又只能手動控制并且密封性較差。而且，在管路上多增加了一個氣路元件，使得管道更加復雜。
【發明內容】
[0003]本發明要解決的技術問題就在于:針對現有技術存在的技術問題，本發明提供一種結構簡單、操作簡便、控制精確度高的用于真空腔室的快慢充氣裝置。
[0004]為解決上述技術問題，本發明采用以下技術方案:
一種用于真空腔室的快慢充氣裝置，包括:
壓空組件，包括第一過濾減壓閥、第一電磁閥和第二電磁閥，壓縮空氣通過第一過濾減壓閥之后進入并聯的第一電磁閥和第二電磁閥；
充氣組件，包括第二過濾減壓閥，充氣的介質經由第二過濾減壓閥之后，再經過兩條并聯的管路進入真空腔室，所述兩條管路上分布連接有快速充氣閥和慢速充氣閥，所述快速充氣閥和慢速充氣閥的通氣能力不同；所述第一電磁閥用來控制快速充氣閥的開關，所述第二電磁閥通用來控制慢速充氣閥的開關。
[0005]作為本發明的進一步改進:所述快速充氣閥和慢速充氣閥為兩個同樣通徑大小的氣動隔膜閥，所述氣動隔膜閥的兩端都采用墊片來密封，所述快速充氣閥和慢速充氣閥上墊片的通氣孔尺寸不一樣。
[0006]作為本發明的進一步改進:所述第一電磁閥和第二電磁閥均采用2位3通電磁閥。
[0007]與現有技術相比，本發明的優點在于:本發明的用于真空腔室的快慢充氣裝置，當兩個氣動隔膜閥分別開啟時可以實現真空腔室的快慢充氣，整個結構具有結構簡單、操作簡便、控制精確度高等優點。
【附圖說明】
[0008]圖1是本發明的結構原理示意圖。
[0009]圖2是本發明在具體應用實例中快速充氣閥和慢速充氣閥的結構原理示意圖。
[0010]圖3是本發明在具體應用實例中快速充氣閥的墊片的示意圖。
[0011]圖4是本發明在具體應用實例中慢速充氣閥的墊片的示意圖。
[0012]圖例說明:
101、第一過濾減壓閥；102、第一電磁閥；103、第二電磁閥；201、第二過濾減壓閥；202、快速充氣閥；203、慢速充氣閥；3、墊片。
【具體實施方式】
[0013]以下將結合說明書附圖和具體實施例對本發明做進一步詳細說明。
[0014]如圖1和圖2所示，本發明的用于真空腔室的快慢充氣裝置，包括:
壓空組件，包括第一過濾減壓閥101、第一電磁閥102和第二電磁閥103，壓縮空氣通過第一過濾減壓閥101之后進入并聯的第一電磁閥102和第二電磁閥103。其中，第一電磁閥102和第二電磁閥103均可根據實際需要采用2位3通電磁閥。
[0015]充氣組件，包括第二過濾減壓閥201、快速充氣閥202和慢速充氣閥203 ;充氣的介質為氮氣，氮氣經由第二過濾減壓閥201進行過濾減壓之后，再經過兩條并聯的管路進入真空腔室，這兩條管路上分布連接有快速充氣閥202和慢速充氣閥203。快速充氣閥202和慢速充氣閥203的通氣能力不同。所述第一電磁閥102通過氣體換向來控制快速充氣閥202的開關，所述第二電磁閥103通過氣體換向來控制慢速充氣閥203的開關。
[0016]圖中實線表示氮氣，虛線表示壓縮空氣。
[0017]在具體應用實例中，上述快速充氣閥202和慢速充氣閥203為兩個同樣通徑大小的氣動隔膜閥，氣動隔膜閥的兩端都采用墊片3 (如VCR墊片)來密封，墊片3的材料可以選擇不銹鋼或其他材料。本實例中，上述兩個氣動隔膜閥內分別設置不同開孔尺寸的不銹鋼墊片3，正因為于此，當兩個氣動隔膜閥分別開啟時可以實現真空腔室的快慢充氣。例如，快速充氣閥202內設置有中心孔尺寸與充氣閥通徑一樣的墊片3，慢速充氣閥203內設計有中心孔尺寸非常小的墊片3 (參見圖3和圖4)。此時，可根據實際慢充氣的快慢程度不同設計不同開孔尺寸的墊片3，需要充氣得更慢，就將中心孔設計得更小即可。這樣，當所述快速充氣閥202和慢速充氣閥203分別開啟時可以實現真空腔室的快慢充氣。
[0018]以上僅是本發明的優選實施方式，本發明的保護范圍并不僅局限于上述實施例，凡屬于本發明思路下的技術方案均屬于本發明的保護范圍。應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明原理前提下的若干改進和潤飾，應視為本發明的保護范圍。
【主權項】
1.一種用于真空腔室的快慢充氣裝置，其特征在于，包括: 壓空組件，包括第一過濾減壓閥(101)、第一電磁閥(102)和第二電磁閥(103)，壓縮空氣通過第一過濾減壓閥(101)之后進入并聯的第一電磁閥(102)和第二電磁閥(103); 充氣組件，包括第二過濾減壓閥(201)，充氣的介質經由第二過濾減壓閥(201)之后，再經過兩條并聯的管路進入真空腔室，所述兩條管路上分布連接有快速充氣閥(202)和慢速充氣閥(203)，所述快速充氣閥(202)和慢速充氣閥(203)的通氣能力不同；所述第一電磁閥(102)用來控制快速充氣閥(202)的開關，所述第二電磁閥(103)通用來控制慢速充氣閥(203)的開關。2.根據權利要求1所述的用于真空腔室的快慢充氣裝置，其特征在于，所述快速充氣閥(202)和慢速充氣閥(203)為兩個同樣通徑大小的氣動隔膜閥，所述氣動隔膜閥的兩端都采用墊片(3 )來密封，所述快速充氣閥(202 )和慢速充氣閥(203 )上墊片(3 )的通氣孔尺寸不一樣。3.根據權利要求1或2所述的用于真空腔室的快慢充氣裝置，其特征在于，所述第一電磁閥(102 )和第二電磁閥(103 )均采用2位3通電磁閥。
【專利摘要】本發明公開了一種用于真空腔室的快慢充氣裝置，包括：壓空組件，包括第一過濾減壓閥、第一電磁閥和第二電磁閥，壓縮空氣通過第一過濾減壓閥之后進入并聯的第一電磁閥和第二電磁閥；充氣組件，包括第二過濾減壓閥，充氣的介質經由第二過濾減壓閥之后，再經過兩條并聯的管路進入真空腔室，兩條管路上分布連接有快速充氣閥和慢速充氣閥，快速充氣閥和慢速充氣閥的通氣能力不同；第一電磁閥用來控制快速充氣閥的開關，第二電磁閥通用來控制慢速充氣閥的開關。本發明具有結構簡單、操作簡便、控制精確度高等優點。
【IPC分類】C23C16/44
【公開號】CN105401132
【申請號】CN201510921698
【發明人】劉欣, 魏唯, 陳特超, 舒勇東, 彭立波
【申請人】中國電子科技集團公司第四十八研究所
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2015年12月14日