半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種半導體加工裝置，尤其是一種半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置。
【背景技術】
[0002]半導體加工過程中需涉及蒸發臺的使用，蒸發臺中需采用熱電偶對其進行溫度傳感工作。傳統蒸發臺的熱電偶僅在其兩端連接有相關部件，然而，由于熱電偶的特性，蒸發臺中飛濺的蒸發源沾覆至熱電偶表面時發生的熱熔現象極易損壞熱電偶，同時，在清潔蒸發臺腔體的過程中，熱電偶亦容易被清潔設備折斷。
【發明內容】
[0003]本發明要解決的技術問題是提供一種半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其可對于溫度傳感用的熱電偶起到良好的保護作用。
[0004]為解決上述技術問題，本發明涉及一種半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其包括有蒸發室腔體，蒸發室腔體內部設置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶；其特征在于，所述半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置包含有熱電偶保護套，其沿水平方向進行延伸，所述熱電偶設置于熱電偶保護套內部。
[0005]作為本發明的一種改進，所述熱電偶保護套的長度至少為熱電偶長度的3/4，其可確保保護套對熱電偶起到足夠的保護作用。
[0006]作為本發明的一種改進，所述熱電偶保護套之中設置有多個在水平方向上延伸的第一固定端板，第一固定端板與蒸發室腔體的下端面之間通過螺栓進行連接。采用上述設計，其可通過第一固定端板使得熱電偶與蒸發室腔體之間保持穩定連接，從而避免因機械振動等因素導致熱電偶損壞。
[0007]作為本發明的一種改進，所述蒸發室腔體之中設備多根支撐桿件，支撐桿件于蒸發室腔體的上端面與下端面之間進行延伸；所述熱電偶保護套之中設置有多個在豎直方向上延伸的第二固定端板，每一個第二固定端板均位于支撐桿件的側端部，第二固定端板與支撐桿件之間通過螺栓進行連接。采用上述設計，其一方面可通過支撐桿件使得蒸發室腔體的穩定性得以進一步的改善，另一方面，其可通過第二固定端板的設置使得熱電偶及其保護套的穩定性得以進一步的提升。
[0008]采用上述技術方案的半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其可通過熱電偶保護套以對熱電偶起到良好的保護作用，從而避免熱電偶受腔體內其余部件影響而發生損壞，同時期亦可避免熱電偶與蒸發臺其余部件接觸導致短路現象。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發明示意圖；
圖2為本發明中熱電偶保護套俯視圖；
附圖標記列表: 1 一蒸發室腔體、2—熱電偶、3—熱電偶保護套、4 一第一固定端板、5—支撐桿件、6—第二固定端板。
【具體實施方式】
[0010]下面結合【具體實施方式】，進一步闡明本發明，應理解下述【具體實施方式】僅用于說明本發明而不用于限制本發明的范圍。需要說明的是，下面描述中使用的詞語“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附圖中的方向，詞語“內”和“外”分別指的是朝向或遠離特定部件幾何中心的方向。
[0011]實施例1
如圖1與圖2所示的一種半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其包括有蒸發室腔體1，蒸發室腔體1內部設置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶2 ;所述半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置包含有熱電偶保護套3，其沿水平方向進行延伸，所述熱電偶2設置于熱電偶保護套3內部。
[0012]作為本發明的一種改進，所述熱電偶保護套3的長度為熱電偶2長度的3/4，其可確保保護套對熱電偶起到足夠的保護作用。
[0013]作為本發明的一種改進，所述熱電偶保護套3之中設置有多個在水平方向上延伸的第一固定端板4，第一固定端板4與蒸發室腔體1的下端面之間通過螺栓進行連接。采用上述設計，其可通過第一固定端板使得熱電偶與蒸發室腔體之間保持穩定連接，從而避免因機械振動等因素導致熱電偶損壞。
[0014]采用上述技術方案的半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其可通過熱電偶保護套以對熱電偶起到良好的保護作用，從而避免熱電偶受腔體內其余部件影響而發生損壞，同時期亦可避免熱電偶與蒸發臺其余部件接觸導致短路現象。
[0015]實施例2
作為本發明的一種改進，如圖1所示，所述蒸發室腔體1之中設備多根支撐桿件5，支撐桿件5于蒸發室腔體的上端面與下端面之間進行延伸；所述熱電偶保護套3之中設置有多個在豎直方向上延伸的第二固定端板6，每一個第二固定端板6均位于支撐桿件5的側端部，第二固定端板6與支撐桿件5之間通過螺栓進行連接。采用上述設計，其一方面可通過支撐桿件使得蒸發室腔體的穩定性得以進一步的改善，另一方面，其可通過第二固定端板的設置使得熱電偶及其保護套的穩定性得以進一步的提升。
[0016]本實施例其余特征與優勢均與實施例1相同。
【主權項】
1.一種半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其包括有蒸發室腔體，蒸發室腔體內部設置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶；其特征在于，所述半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置包含有熱電偶保護套，其沿水平方向進行延伸，所述熱電偶設置于熱電偶保護套內部。2.按照權利要求1所述的半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其特征在于，所述熱電偶保護套的長度至少為熱電偶長度的3/4。3.按照權利要求2所述的半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其特征在于，所述熱電偶保護套之中設置有多個在水平方向上延伸的第一固定端板，第一固定端板與蒸發室腔體的下端面之間通過螺栓進行連接。4.按照權利要求3所述的半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其特征在于，所述蒸發室腔體之中設備多根支撐桿件，支撐桿件于蒸發室腔體的上端面與下端面之間進行延伸；所述熱電偶保護套之中設置有多個在豎直方向上延伸的第二固定端板，每一個第二固定端板均位于支撐桿件的側端部，第二固定端板與支撐桿件之間通過螺栓進行連接。
【專利摘要】本發明公開了一種半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其包括有蒸發室腔體，蒸發室腔體內部設置有用于檢測溫度的溫度傳感裝置，溫度傳感裝置中包含有熱電偶；其特征在于，所述半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置包含有熱電偶保護套，其沿水平方向進行延伸，所述熱電偶設置于熱電偶保護套內部；采用上述技術方案的半導體蒸發臺用熱電偶保護裝置，其可通過熱電偶保護套以對熱電偶起到良好的保護作用，從而避免熱電偶受腔體內其余部件影響而發生損壞。
【IPC分類】C23C14/24, C23C14/34, C23C14/56, H01L21/67
【公開號】CN105316644
【申請號】CN201510806322
【發明人】史進, 伍志軍
【申請人】蘇州賽森電子科技有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2015年11月20日