在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及一種在金屬螺釘表面鍍純鋁的方法，特別是涉及一種IC裝備(半導體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產設備)用不銹鋼螺釘表面鍍純鋁的制備方法。
【背景技術】
[0002]在IC裝備中不銹鋼螺釘鍍純鋁方法一直使用的是電化學方法，該制備方法中使用的電解液劇毒，對人體及環境危害較大，成本較高且涂層結合力、致密性、均勻性較差。
【發明內容】
[0003]針對上述存在的技術問題，本發明的目的是為了解決使用電化學方法鍍純鋁對人體及環境危害較大，成本較高且涂層結合力、致密性、均勻性較差的問題，提供一種在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法，該方法采用多弧離子鍍在不銹鋼螺釘表面鍍純鋁的方法不但對人體及環境無危害，且降低了成本，提高了涂層的結合力、致密性及均勻性。
[0004]本發明的目的是通過如下技術方案實現的:
[0005]本發明一種在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法，包括如下步驟:
[0006](I)螺釘的前處理:將所述螺釘表面先進行噴砂-電解拋光或噴砂-化學拋光處理；
[0007](2)將所述螺釘放置于專用夾具上；
[0008](3)表面沉積:采用PVD技術制備純鋁涂層。
[0009]進一步地，所述螺釘沉積純銷涂層的厚度在5 μ m-50 μ m范圍內。
[0010]進一步地，所述第(3)步采用多弧離子鍍沉積純鋁，具體工藝參數如下:弧源電流:10?100A，基體清洗負偏壓:-400V?-1000V，基體工作負偏壓:_100V?-300V，工作溫度:200°C~ 400°C，真空度:KT3Pa?5Pa，工作電壓:20?50V靶材:99.99%純鋁。
[0011]本發明的有益效果是:
[0012]本發明采用的多弧離子鍍在不銹鋼螺釘表面鍍純鋁的方法，不但對人體及環境無危害，且降低了成本，提高了涂層的結合力、致密性及均勻性。
【具體實施方式】
[0013]下面結合實施例對本發明進行詳細描述。
[0014]實施例:本發明不銹鋼螺釘上制備純鋁涂層的方法，具體包括如下步驟:
[0015](I)螺釘的前處理:將所述螺釘表面先進行噴砂-電解拋光或噴砂-化學拋光處理；
[0016](2)將所述螺釘放置于專用夾具上；
[0017](3)噴涂:采用多弧離子鍍制備純鋁涂層。
[0018]所述不銹鋼螺釘鍍純銷涂層的厚度在5 μ m-10 μ m范圍內。
[0019]本發明適用于所有型號的不銹鋼材質螺釘鍍純鋁。
[0020]所述放置螺釘的專用夾具:為現有結構。所述不銹鋼螺釘放在既能公轉又能自轉的專業夾具上鍍純鋁。
[0021]所述第(3)步驟進行多弧離子鍍鍍純鋁涂層的工藝參數如下:弧源電流:10?100A，基體清洗負偏壓:-400V?-500V，基體工作負偏壓:-100V?-300V，工作溫度:200°C~ 400°C，真空度:10_3Pa?5Pa，工作電壓:20?50V靶材:99.99%純鋁。
【主權項】
1.一種在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法，其特征在于:包括如下步驟: (1)螺釘的前處理:將所述螺釘表面先進行噴砂-電解拋光或噴砂-化學拋光處理； (2)將所述螺釘放置于專用夾具上； (3)表面沉積:采用PVD技術制備純鋁涂層。2.按照權利要求1所述的在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法，其特征在于:所述螺釘沉積純鋁涂層的厚度在5 μ m-50 μ m范圍內。3.按照權利要求1所述的在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法，其特征在于:所述第(3)步采用多弧離子鍍沉積純鋁，具體工藝參數如下:弧源電流:10?100A，基體清洗負偏壓:-400V?-1000V，基體工作負偏壓:-100V?-300V，工作溫度:200°C?400°C，真空度:KT3Pa?5Pa，工作電壓:20?50V靶材:99.99%純鋁。
【專利摘要】一種在金屬螺釘上制備純鋁涂層的方法，屬于不銹鋼零件表面處理技術領域。包括如下步驟：（1）螺釘的前處理：將所述螺釘表面先進行噴砂-電解拋光或噴砂-化學拋光處理；（2）將所述螺釘放置于專用夾具上；（3）表面沉積：采用PVD技術制備純鋁涂層。本發明采用的多弧離子鍍在不銹鋼螺釘表面鍍純鋁的方法，不但對人體及環境無危害，且降低了成本，提高了涂層的結合力、致密性及均勻性。
【IPC分類】C23C14/02, C23C14/32, C23C14/16
【公開號】CN104911543
【申請號】CN201510243450
【發明人】侯濤, 劉歡, 吳敏杰, 唐偉東, 張向陽, 童文華
【申請人】沈陽富創精密設備有限公司
【公開日】2015年9月16日
【申請日】2015年5月13日