真空鍍膜設備的復合密封系統的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及真空鍍膜設備，尤其真空鍍膜設備的復合密封系統。
【背景技術】
[0002]真空鍍膜是一種產生薄膜材料的技術。在真空室內材料的原子從加熱源離析出來打到被鍍物體的表面上。
[0003]然而，真空鍍膜的先決條件是要確保真空腔室具有良好穩定的真空度。目前，真空鍍膜設備密封形式多采用單根橡膠圈密封，這種密封形式適用于較小密封面的密封，對于較大密封面采用該種密封方式容易出現密封效果不佳的問題。
[0004]尤其對于經常開閉的蓋板，橡膠圈受反復作用力以及溫度和其他環境因素的影響下，很容易產生異常變形和老化，縮短橡膠圈的使用壽命。橡膠圈一旦在局部某處產生異常變形和老化，就會影響鍍膜設備真空度的獲得；而且因需經常更換密封件，極大的影響著生產連續、正常的進行。
【發明內容】
[0005]本發明旨在解決現有技術中的不足和缺陷，提供一種結構新穎、安全可靠的真空鍍膜設備的復合密封系統。
[0006]為了達成上述目的，提供了一種真空鍍膜設備的復合密封系統，包括密封法蘭和光面法蘭。所述密封法蘭壓緊所述光面法蘭，形成符合密封結構。
[0007]一些實施例中，所述密封法蘭的密封面上開設有密封槽，密封槽內設有內層密封圈和外層密封圈。
[0008]一些實施例中，所述內層密封圈和外層密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭，形成雙層密封結構。
[0009]一些實施例中，內層密封圈和外層密封圈之間開設有第一泄氣槽。
[0010]一些實施例中，所述第一泄氣槽上設有泄氣孔，第一泄氣槽通過泄氣孔連接真空管道一端，真空管道另一端連接真空泵。
[0011]一些實施例中，所述內層密封圈和外層密封圈之間通過支架隔開。
[0012]一些實施例中，所述支架分為若干段，通過螺釘固定于密封法蘭上，支架下表面開設有第二泄氣槽。
[0013]一些實施例中，所述內層密封圈和外層密封圈分別嵌于相互獨立的兩密封槽內。
[0014]本發明同現有技術相比，其采用了復合密封圈的結構，使得密封性能更可靠；且不會因其中一根密封圈的失效而影響真空腔體的密封性，延長了大面積密封結構的使用壽命。同時，本密封結構具有結構簡單，易安裝、拆卸的優點。
[0015]以下結合附圖，通過示例說明本發明主旨的描述，以清楚本發明的其他方面和優點。
【附圖說明】
[0016]結合附圖，通過下文的詳細說明，可更清楚地理解本發明的上述及其他特征和優點，其中:
[0017]圖1為本發明實施例1的結構示意圖；并且
[0018]圖2為本發明實施例2的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0019]參見本發明具體實施例的附圖，下文將更詳細地描述本發明。然而，本發明可以以許多不同形式實現，并且不應解釋為受在此提出之實施例的限制。相反，提出這些實施例是為了達成充分及完整公開，并且使本技術領域的技術人員完全了解本發明的范圍。
[0020]現參考附圖詳細說明根據本發明實施例的真空鍍膜設備的復合密封系統。根據本發明實施例的真空鍍膜設備的復合密封系統，包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔連接，它由內層密封圈、外層密封圈以及密封法蘭和光面法蘭組成。密封法蘭密封面上開有密封槽，內層密封圈和外層密封圈嵌于密封槽內；兩密封圈間開有泄氣槽，法蘭體上開有一泄氣孔，泄氣槽通過泄氣孔以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭，形成雙層密封。
[0021]在上述主要技術方案的基礎上，可以增加以下進一步完善的技術方案:
[0022]內層密封圈和外層密封圈可嵌于同一密封槽內，密封法蘭密封面上只需開一個密封槽，簡化了密封槽結構，減小了加工難度。同一密封槽內的內外兩層密封圈間通過支架隔開，支架同時起到固定密封圈的作用。支架可分為若干段，通過螺釘固定于密封法蘭體上，支架下表面開有泄氣槽，用于排出兩密封圈間的氣體。內層密封圈和外層密封圈也可分別嵌于相互獨立的兩密封槽內，無需支架固定，節約了支架成本。雙層密封結構既可垂直安裝，也可水平安裝；對于垂直安裝的形式，兩法蘭間通過螺栓連接，如鍍膜腔體與腔體之間的密封；對于水平安裝的形式，兩密封圈在密封法蘭的重力以及壓差力的作用下壓緊光面法蘭，如蓋板與腔體間的密封，則可省去螺栓連接。
[0023]實施例一:
[0024]如圖1所示，本實施例包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔8連接，其特征在于:它由內層密封圈3、外層密封圈4、支架5以及密封法蘭I和光面法蘭2組成。密封法蘭I密封面上開有密封槽6，內層密封圈3和外層密封圈4嵌于密封槽6內，兩密封圈間通過支架5隔開，支架5通過螺釘固定于密封法蘭I上，同時將兩密封圈固定于密封槽6內；支架5可分為若干段，且底部開有泄氣槽7，光面法蘭2上開有一泄氣孔8，泄氣槽7通過泄氣孔8以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭2，形成雙層密封。
[0025]實施例二:
[0026]如圖2所示，本實施例包括真空泵，真空泵通過真空管道與法蘭上泄氣孔8連接，其特征在于:它由內層密封圈3、外層密封圈4以及密封法蘭I和光面法蘭2組成。密封法蘭I密封面上開有兩密封槽6，內層密封圈3和外層密封圈4分別嵌于兩密封槽6內，兩密封圈間的密封法蘭I密封面上開有泄氣槽7，在泄氣槽7上方密封法蘭I上某處開有一泄氣孔8，泄氣槽7通過泄氣孔8以及真空管道與真空泵相連，通過真空泵可以把兩密封圈間的氣體排出，形成真空，提高密封效果。兩密封圈在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭2，形成雙層密封。
[0027]根據本發明的真空鍍膜設備的復合密封系統，采用了復合密封圈的結構，使得密封性能更可靠；且不會因其中一根密封圈的失效而影響真空腔體的密封性，延長了大面積密封結構的使用壽命。同時，本密封結構具有結構簡單，易安裝、拆卸的優點。
[0028]以上詳細描述了本發明的較佳具體實施例。應當理解，本領域的普通技術人員無需創造性勞動就可以根據本發明的構思做出諸多修改和變化。凡本技術領域中技術人員依本發明的構思在現有技術的基礎上通過邏輯分析、推理或者有限的實驗可以得到的技術方案，皆應在由權利要求書所確定的保護范圍內。
【主權項】
1.一種真空鍍膜設備的復合密封系統，包括密封法蘭(I)和光面法蘭(2)，所述密封法蘭(I)壓緊所述光面法蘭(2)，形成符合密封結構。
2.根據權利要求1所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述密封法蘭(I)的密封面上開設有密封槽￠)，密封槽￠)內設有內層密封圈(3)和外層密封圈(4)。
3.根據權利要求2所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述內層密封圈(3)和外層密封圈(4)在螺栓力或者重力和壓差力的作用下壓緊光面法蘭(2)，形成雙層密封結構。
4.根據權利要求2所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述內層密封圈(3)和外層密封圈(4)之間開設有第一泄氣槽(7)。
5.根據權利要求4所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述第一泄氣槽(7)上設有泄氣孔(8)，第一泄氣槽(7)通過泄氣孔(8)連接真空管道一端，真空管道另一端連接真空泵。
6.根據權利要求2所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述內層密封圈⑶和外層密封圈⑷之間通過支架(5)隔開。
7.根據權利要求6所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述的支架(5)分為若干段，通過螺釘固定于密封法蘭(I)上，支架(5)下表面開設有第二泄氣槽(7)。
8.根據權利要求2所述的真空鍍膜設備的復合密封系統，其特征在于，所述內層密封圈(3)和外層密封圈(4)分別嵌于相互獨立的兩密封槽內。
【專利摘要】提供了一種真空鍍膜設備的復合密封系統，包括密封法蘭和光面法蘭。所述密封法蘭壓緊所述光面法蘭，形成符合密封結構。本發明同現有技術相比，其采用了復合密封圈的結構，使得密封性能更可靠；且不會因其中一根密封圈的失效而影響真空腔體的密封性，延長了大面積密封結構的使用壽命。同時，本密封結構具有結構簡單，易安裝、拆卸的優點。
【IPC分類】C23C14-56
【公開號】CN104805412
【申請號】CN201510072257
【發明人】彭壽, 魏曉俊, 官敏, 惠建秋, 谷天奇, 王海林, 楊黎虹, 蔣鴻, 于濤, 趙永
【申請人】中國建材國際工程集團有限公司
【公開日】2015年7月29日
【申請日】2015年2月10日