一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于半導體材料領域，涉及一種硅旋轉靶材的制備方法，尤其涉及一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法。
【背景技術】
[0002]硅旋轉靶材是一種以硅為原材料的圓筒式磁控靶材，內套有不銹鋼管，應用于玻璃、半導體、平板電視等領域。傳統的旋轉靶材制備有熱等靜壓法和噴涂法，熱等靜壓是一種制品在高溫、高壓密閉容器內得以燒結和致密化的方法，但成本較高；噴涂方法會產生較多的噴涂粉體，而且往往噴涂不均勻，得到的靶材密度低、利用率低、性能差，無法滿足高端行業對于靶材質量的要求。國內從事硅旋轉靶領域的工作者較少，技術不完善或缺乏，需要開發新方法來提高旋轉靶材的質量。
【發明內容】
[0003]本發明的目的在于克服現有方法中成本高、得到靶材密度低等缺陷而提供一種新型的綁定式硅旋轉靶材的制備方法。
[0004]為實現上述目的本發明采用的技術方案是提供了一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法，包括以下步驟:晶體硅管和不銹鋼管的準備、套管和綁定。
[0005]套管過程是在真空環境下，不銹鋼管上套4或5個晶體硅管使其排列緊密。
[0006]綁定過程是在真空環境下，不銹鋼管和硅管之間的套管縫隙處涂敷一種黏合劑進行綁定，使它們成為一個整體，聯結牢固無縫隙。
[0007]尤其是，綁定所用黏合劑包括合成樹脂、合成橡膠、聚氨酯、硅酮。
[0008]本發明提出一種新型的硅旋轉靶材的制備方法，以管狀晶體硅和不銹鋼管為原料，采用綁定法將不銹鋼管和晶體硅管聯結制得靶材。與現有工藝相比，具有以下優點:成本低；制得的靶材硅材料密度高，性能好；制備工藝過程簡單，易于操作，在真空環境進行不會產生粉體和污染顆粒物，安全環保。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發明綁定式硅旋轉靶材的工藝流程圖。
[0010]圖2為實施例1中綁定式硅旋轉靶材示意圖。
[0011]圖3為實施例2中綁定式硅旋轉靶材示意圖。
[0012]圖示標號:1晶體娃管，2不銹鋼管，3套管縫隙。
【具體實施方式】
[0013]下面結合實施例及其附圖進一步說明本發明。
[0014]如圖1，2所示實施例1，具體步驟如下:準備高度為35厘米、直徑為10厘米的晶體硅管I和配套的不銹鋼管2 ;將4個相同尺寸的晶體硅管I套于不銹鋼管2上，緊密排列；在晶體硅管I和不銹鋼管2之間形成一套管縫隙3，用環氧樹脂粘合劑進行綁定，使它們成為一個整體，聯結牢固無縫隙，剪切兩頭剩余的不銹鋼管得到該綁定式硅旋轉靶材。
[0015]如圖1，3所示實施例2，具體步驟如下:準備高度為25厘米、直徑為15厘米的晶體硅管I和配套的不銹鋼管2 ;將5個相同尺寸的晶體硅管I套于不銹鋼管2上，緊密排列；在晶體硅管I和不銹鋼管2之間形成一套管縫隙3，用聚氨酯粘合劑進行綁定，使它們成為一個整體，聯結牢固無縫隙，剪切兩頭剩余的不銹鋼管得到該綁定式硅旋轉靶材。
【主權項】
1.一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法，其特征在于包括以下步驟:晶體硅管和不銹鋼管的準備、套管和綁定。
2.根據權利要求1所述的一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法，其特征在于套管過程是在真空環境下，不銹鋼管上套4或5個晶體硅管使其排列緊密。
3.根據權利要求1所述的一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法，其特征在于綁定過程是在真空環境下，不銹鋼管和硅管之間的套管縫隙處涂敷一種黏合劑進行綁定，使它們成為一個整體，聯結牢固無縫隙。
4.根據權利要求3所述一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法，其特征在于所用黏合劑包括合成樹脂、合成橡膠、聚氨酯、硅酮。
【專利摘要】本發明公布了一種綁定式硅旋轉靶材的制備方法，包括以下步驟：晶體硅管和不銹鋼管的準備、套管和綁定。將制備的4或5個晶體硅管緊密套在不銹鋼管上，在晶體硅管和不銹鋼管之間的套管縫隙處涂敷一種黏合劑進行綁定，使它們成為一個整體，聯結牢固無縫隙。該方法較熱等靜壓法和噴涂法成本更低，得到的靶材密度高、性能好，制備方法過程簡單，易于操作，在真空環境下進行不會產生粉體和污染顆粒物，安全環保。
【IPC分類】C23C14-35
【公開號】CN104746029
【申請號】CN201510139806
【發明人】張步曉, 張寧, 李政
【申請人】天津市兆益金科科技有限公司
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2015年3月27日