一種蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法及其獲得的掩膜板的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明涉及有機發光二極管顯示器制造技術，具體地說，是一種蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，以及利用該張網方法所獲得的掩膜板。
【背景技術】
[0002]有機發光顯示器件(OLED)是主動發光器件。相比現在的主流平板顯示技術薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD )，OLED具有高對比度、廣視角、低功耗、體積更薄等優點，有望成為繼LCD之后的下一代平板顯示技術，是目前平板顯示技術中受到關注最多的技術之
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[0003]OLED作為自發光的顯示器件，為了提高顯示器的色域、對比度及亮度效率，往往采用獨立的RGB發光層實現彩色顯示。蒸鍍獨立RGB發光層時需要使用fine metal mask(精密金屬掩膜板)。為了保持像素的開口率，對mask pattern (掩膜板圖案)的位置精度要求越來越高。目前,fine metal mask pattern位置精度一般控制在±4 μ m以內。然而,參見圖1所示，由于張網時應力的存在，會使得開口發生扭曲變形，影響了腌膜板圖案的精度。
【發明內容】
[0004]本發明要解決的技術問題是提供一種蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，可以消除應力造成的扭曲變形，提聞脆I旲板圖案的精度，進而提聞RGB子像素的開口率。
[0005]為了解決上述技術問題，本發明提供了一種蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，包括:
在掩膜板上制作圖案區，所述圖案區由蒸鍍用開口組成；
在所述掩膜板上的圖案區至少兩側形成多個虛擬開口，相鄰虛擬開口之間形成連接橋；
將所述掩膜板張網固定到掩膜板框架上；
檢測所述掩膜板上的圖案區蒸鍍用開口的位置精度，若所述蒸鍍用開口的位置精度偏差超出閾值，則切斷對應該蒸鍍用開口的虛擬開口之間的連接橋。
[0006]進一步地，所述蒸鍍用開口呈長條形，所述虛擬開口設置于所述蒸鍍用開口寬度方向上的兩側。
[0007]進一步地，所述蒸鍍用開口呈長條形，所述虛擬開口設置于所述蒸鍍用開口長度方向上的兩側。
[0008]進一步地，所述圖案區四周均設置有所述虛擬開口。
[0009]進一步地，所述虛擬開口有多行，多行虛擬開口平行排列。
[0010]進一步地，將位置精度偏差超出閾值的蒸鍍用開口對應的相鄰行的虛擬開口之間的全部連接橋或部分連接橋切斷。
[0011]進一步地，采用激光開孔設備將虛擬開口之間的連接橋切斷。
[0012]進一步地，所述閾值為±4μπι。
[0013]本發明還提供一種利用上述的張網方法所獲得的掩膜板。
[0014]本發明的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法及其獲得的掩膜板，通過在圖案區兩側設置虛擬開口，在檢測到掩膜板上的圖案區蒸鍍用開口的位置精度偏差超出閾值時，切斷對應位置處的虛擬開口之間的連接橋，從而消除應力，使蒸鍍用開口的位置偏差保持在允許的范圍內。
【附圖說明】
[0015]圖1為現有技術中掩膜板所存在的扭曲變形的示意圖。
[0016]圖2為本發明的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法的流程圖。
[0017]圖3為根據本發明的張網方法所獲得掩膜板的結構示意圖。
[0018]圖4為圖3中A處的局部放大圖。
【具體實施方式】
[0019]下面結合附圖和具體實施例對本發明作進一步說明，以使本領域的技術人員可以更好的理解本發明并能予以實施，但所舉實施例不作為對本發明的限定。
[0020]如圖2所示，并同時參考圖3和圖4，本發明的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，包括:
步驟1:在掩膜板I上制作圖案區2，所述圖案區2由蒸鍍用開口 3組成；
步驟2:在所述掩膜板I上的圖案區2兩側形成多個虛擬開口 4，相鄰虛擬開口 4之間形成連接橋5 ；
步驟3:將所述掩膜板I張網固定到掩膜板框架(圖中未示出)上；
步驟4:檢測所述掩膜板上的圖案區蒸鍍用開口的位置精度，若所述蒸鍍用開口的位置精度偏差(即開口偏離其應在位置的距離)超出閾值，則切斷對應該蒸鍍用開口的虛擬開口之間的連接橋。閾值一般可取值為±4μπι。
[0021]其中，蒸鍍用開口 3呈長條形，而虛擬開口 4可以設置于蒸鍍用開口 3寬度方向上的兩側，也可以設置于所述蒸鍍用開口 3長度方向上的兩側，還可以在圖案區2四周均設置虛擬開口 4。虛擬開口 4分別有多行和多列，多行虛擬開口 4平行排列，虛擬開口 4整體上呈矩陣排列。
[0022]作為本發明的一個具體的實施例，如圖3和圖4所示，在本實施例中，在掩膜板上圖案區的兩側分別形成有三行虛擬開口，每行虛擬開口由多個虛擬開口組成，各虛擬開口之間形成矩陣排列。在其它實施例中，可以形成更多行的虛擬開口，以實現更為精確的調難
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[0023]在利用圖3和圖4所示的掩膜板蒸鍍像素時，先將掩膜板張網固定到掩膜板框架上，然后檢測掩膜板上圖案區的各開口的位置精度，當檢測到掩膜板I上的圖案區2蒸鍍用開口 3的位置精度偏差超出閾值時，根據測量結果和偏差位置計算偏差發生時產生的拉力方向。根據拉力方向，切斷對應位置處的相鄰行的虛擬開口 4之間的連接橋5，以利用虛擬開口 4來吸收應力，使變形發生在虛擬開口 4處，從而保證圖案區2的蒸鍍用開口 3的位置精度。
[0024]根據圖案區2蒸鍍用開口 3的位置精度偏差的大小，可以選擇切斷全部連接橋5，也可以只切斷部分連接橋5。例如圖4中a處對應的蒸鍍用開口 3的位置精度偏差較大，所以a處切斷了三行虛擬開口 4之間的全部連接橋5 ;而在b處和c處，由于對應的蒸鍍用開口 3的位置精度偏差較小，故只需要切斷一處連接橋5即可。另外，根據需要，也可以如圖4 口 d處所示切斷相鄰列的虛擬開口 4之間的全部連接橋5。本發明可以對某一單元進調整，從而精確修正各位置的變形量，更能提高腌膜板圖案的精度，進而提高RGB子像素的開口率。
[0025]在上述實施例中，只在圖案區的兩側(本實施例定義為Y方向上的兩側)設置了虛擬開口，因此可以消除Y方向上的應力，也即消除圖案區的開口在Y方向上的偏差。在其它實施例中，尤其是在Slot式掩膜板中，圖案區的開口在X方向上也可能會發生位置偏差，因此也可以在圖案區的X方向上的兩側也設置虛擬開口，以在圖案區的開口在X方向上發生位置偏差時，通過切斷X方向上兩側的虛擬開口之間的連接橋來消除圖案區的開口在X方向上的位置偏差。
[0026]優選地，切斷連接橋的步驟可以由激光開孔設備完成。將對圖案區開口的測量結果和偏差位置輸入計算機，計算偏差發生時產生的拉力方向。根據拉力方向，將激光開孔設備的激光頭對準需要切斷的連接橋發射激光，利用激光的能量將連接橋熔斷。當然，除激光開孔設備外，其它任何可以精確切斷相應連接橋的設備和方法均可以應用于本發明。
[0027]以上所述實施例僅是為充分說明本發明而所舉的較佳的實施例，本發明的保護范圍不限于此。本技術領域的技術人員在本發明基礎上所作的等同替代或變換，均在本發明的保護范圍之內。本發明的保護范圍以權利要求書為準。
【主權項】
1.一種蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，包括: 在掩膜板上制作圖案區，所述圖案區由蒸鍍用開口組成； 在所述掩膜板上的圖案區至少兩側形成多個虛擬開口，相鄰虛擬開口之間形成連接橋； 將所述掩膜板張網固定到掩膜板框架上； 檢測所述掩膜板上的圖案區蒸鍍用開口的位置精度，若所述蒸鍍用開口的位置精度偏差超出閾值，則切斷對應該蒸鍍用開口的虛擬開口之間的連接橋。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，所述蒸鍍用開口呈長條形，所述虛擬開口設置于所述蒸鍍用開口寬度方向上的兩側。
3.根據權利要求1所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，所述蒸鍍用開口呈長條形，所述虛擬開口設置于所述蒸鍍用開口長度方向上的兩側。
4.根據權利要求1所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，所述圖案區四周均設置有所述虛擬開口。
5.根據權利要求1所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，所述虛擬開口分別有多行和多列，多行虛擬開口平行排列。
6.根據權利要求5所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，將位置精度偏差超出閾值的蒸鍍用開口對應的相鄰行或相鄰列的虛擬開口之間的全部連接橋或部分連接橋切斷。
7.根據權利要求1所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，采用激光開孔設備將虛擬開口之間的連接橋切斷。
8.根據權利要求1所述的蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法，其特征在于，所述閾值為 ±4 μ m。
9.一種利用權利要求f 8中任意一項所述的張網方法所獲得的掩膜板。
【專利摘要】本發明公開了一種蒸鍍用精密金屬掩膜板的張網方法及其獲得的掩膜板。該方法包括：在掩膜板上制作圖案區，所述圖案區由蒸鍍用開口組成；在所述掩膜板上的圖案區至少兩側形成多個虛擬開口，相鄰虛擬開口之間形成連接橋；將所述掩膜板張網固定到掩膜板框架上；檢測所述掩膜板上的圖案區蒸鍍用開口的位置精度，若所述蒸鍍用開口的位置精度偏差超出閾值，則切斷對應該蒸鍍用開口的虛擬開口之間的連接橋。本發明通過在圖案區兩側設置虛擬開口，在檢測到掩膜板上的圖案區蒸鍍用開口的位置精度偏差超出閾值時，切斷對應位置處的虛擬開口之間的連接橋，從而消除應力，使蒸鍍用開口的位置偏差保持在允許的范圍內。
【IPC分類】C23C14-04, H01L51-56, C23C14-24
【公開號】CN104593721
【申請號】CN201310523205
【發明人】王水俊
【申請人】昆山國顯光電有限公司
【公開日】2015年5月6日
【申請日】2013年10月30日