鋁合金陽極化前熱處理工藝的制作方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于熱處理工藝技術領域，特別是涉及一種鋁合金陽極化前熱處理工藝。適用于IC裝備(生產半導體器件、集成電路芯片和平板顯示器的專用生產設備)制造業熱處理技術，主要關于提高鋁合金陽極膜耐腐蝕性的熱處理專業技術方法。
【背景技術】
[0002]鋁合金陽極化前熱處理工藝，有其特別的重要性。鋁合金陽極化前的熱處理方法與其它陽極化前的化學處理方法不同，一般的化學前處理只能去除晶界間大量的S1-Mg相，使材料晶界間形成腐蝕凹坑，而無法使S1-Mg析出相均勻地分散于晶粒中，從而導致料陽極膜的耐腐蝕性很差。
【發明內容】
[0003]針對上述存在的技術問題，為了使鋁合金材料晶界間的析出相均勻地分散于材料晶界中，從根本上提供鋁合金陽極氧化膜的耐腐蝕性，并為提高其它材料陽極膜耐腐蝕性能提供一定的參考方法。本發明的目的是提供一種鋁合金陽極化前熱處理工藝。它能夠顯著地提高材料陽極化后陽極膜的耐腐蝕性。
[0004]本發明的目的是通過如下技術方案實現的:
本發明一種鋁合金陽極化前熱處理工藝，包括如下步驟:
(1)在熱處理爐中預先放置干凈平整的放置零件的平板；
(2)固溶熱處理:將零件放入溫度為室溫的熱處理爐中，采用階段式升溫的方式進行加熱，升溫階段分為兩段:從0°C升至200°C的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-40C /min ;然后30min內將溫度由200 °C升至固化處理溫度520-540 °C ；
(3)溫度控制在520-540°C，保溫 1.5-2.5H ；
(4)水淬方式冷卻。
[0005]進一步地，所述水淬時的轉移速度為5-15s。
[0006]進一步地，所述水淬工藝是將零件垂直于水槽進行水淬。
[0007]本發明的有益效果是:
1.本發明可以使聚集于材料晶界間的第二相均勻分散于材料晶粒內，顯著提高零件陽極膜的耐腐蝕性。
[0008]2.本發明顯著提高了鋁合金材料陽極膜的耐腐蝕性并為提高其它材料陽極膜的耐腐蝕性提供了研宄方向。
[0009]【附圖說明】:
圖1為鋁合金原材料I的金相分析圖片。
[0010]圖2為鋁合金原材料I經過固溶熱處理后的金相分析圖片。
[0011]圖3為鋁合金原材料2的金相分析圖片。
[0012]圖4為鋁合金原材料2經過固溶熱處理后的金相分析圖片。
[0013]圖中紅色圈內標注的是材料中的部分析出相，圖1、圖3中材料表面析出相較多，且多數分布在晶界間；相比而言，圖2、4中析出相較少、較分散，且多數溶于晶格中。
【具體實施方式】
[0014]下面結合實施例對本發明進行詳細描述。
[0015]實施例1:本發明鋁合金陽極化前熱處理工藝，包括如下步驟:
(1)為避免熱處理過程中雜質粒子擴散到零件中，使零件表面產生缺陷，在熱處理爐中預先放置干凈平整的平板承載待處理零件，本例選擇厚度在300mm的鋁合金板材；
(2)固溶熱處理:將零件放入溫度為室溫的熱處理爐中，采用階段式升溫的方式進行加熱，升溫階段分為兩段:從0°C升至200°C的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-40C /min,以防溫度升高過快，造成零件本體受熱不均勻；然后30min內將溫度由200°C升至固溶熱處理溫度，固溶熱處理溫度為530°C ;
(3)保溫2H;
(4)水淬方式冷卻。所述水淬時的轉移速度為10s，以防止第二相粒子重新在晶界上析出。所述水淬工藝是將零件垂直于水槽進行水淬，以防止零件發生嚴重變形。
[0016]實施例2:本例與實施例1不同的是:本例中固溶熱處理的階段式升溫方式:升溫階段分為兩段:從(TC升至200°C的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-4°C/min，然后30min內將溫度由200°C升至固溶熱處理溫度520°C ；保溫1.5H ;冷卻時水淬的轉移速度為5s。
[0017]實施例3:本例與實施例1不同的是:本例中固溶熱處理的階段式升溫的方式:升溫階段分為兩段:從(TC升至200°C的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-4°C/min，然后30min內將溫度由200 °C升至固溶熱處理溫度540 °C ；保溫2.5H ;冷卻時水淬的轉移速度為15s。
[0018]實施例4:本例與實施例1不同的是:本例中固溶熱處理的階段式升溫的方式:升溫階段分為兩段:從(TC升至200°C的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-4°C/min，然后30min內將溫度由200 °C升至固溶熱處理溫度525 °C ；保溫2.2H ;冷卻時水淬的轉移速度為6s。
【主權項】
1.一種鋁合金陽極化前熱處理工藝，其特征在于:包括如下步驟: (1)在熱處理爐中預先放置干凈平整的放置零件的平板； (2)固溶熱處理:將零件放入溫度為室溫的熱處理爐中，采用階段式升溫的方式進行加熱，升溫階段分為兩段:從0°C升至200°C的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-40C /min ;然后30min內將溫度由200 °C升至固化處理溫度520-540 °C ； (3)溫度控制在520-540°C，保溫 1.5-2.5H ； (4)水淬方式冷卻。
2.按照權利要求1所述的鋁合金陽極化前熱處理工藝，其特征在于:所述水淬時的轉移速度為5-15s。
3.按照權利要求1所述的鋁合金陽極化前熱處理工藝，其特征在于:所述水淬工藝是將零件垂直于水槽進行水淬。
【專利摘要】一種鋁合金陽極化前熱處理工藝，屬于熱處理工藝技術領域。包括如下步驟：在熱處理爐中預先放置干凈平整的平板，以便放置零件；固溶熱處理：將零件放入溫度為室溫的熱處理爐中，采用階段式升溫的方式進行加熱，升溫階段分為兩段：從0℃升至200℃的過程中采用緩慢升溫的方式，升溫速率為2-4℃/min，然后30min內將溫度由200℃升至520-540℃；控制溫度在520-540℃，保溫1.5-2.5H；水淬方式冷卻。本發明可以使聚集于材料晶界間的第二相均勻分散于材料晶粒內，顯著提高零件陽極膜的耐腐蝕性。本發明顯著提高了鋁合金材料陽極膜的耐腐蝕性并為提高其它材料陽極膜的耐腐蝕性提供了研究方向。
【IPC分類】C22F1-04, C25D11-16
【公開號】CN104561851
【申請號】CN201410768445
【發明人】安朋娜
【申請人】沈陽富創精密設備有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2014年12月11日