整機的制作方法

本發明屬于蒸鍍機，具體涉及整機。

背景技術：

1、蒸鍍機是一種用于表面鍍膜的設備，它主要由真空室、加熱系統、鍍材系統和控制系統等部分組成。在真空室內，通過蒸發金屬材料(如鋁、銅、鉻、鈷、鐵、鎳、鈦等)并在基材表面凝結來形成一層薄膜。蒸鍍機不僅可以提高產品的性能，如光學性能和電學性能等，還可以增強防腐耐磨性能、保護產品表面并增加美感，具有非常實用的應用價值。同時，蒸鍍機還具有高效、快速、穩定等優點，可以適應各種復雜的工藝要求，提高產品的品質和產量。因此，蒸鍍機被廣泛應用于電子、光學和機械等多個領域。

2、其中，在光學領域中，蒸鍍機可用于制造各種反射鏡、凸透鏡和平面鏡等。如公開號為：cn219752424u的中國實用新型專利，公開了一種真空鍍膜機的單主閥結構，其包括真空蒸鍍機的真空室體，所述真空室體后端設有與主閥相通的單主閥腔體，在保證主閥的總容積相同的情況下，主閥的的外部占有空間減小，所述單主閥腔體下端設有兩個冷泵機構，用于對單主閥腔體進行精抽真空，在其中一個抽真空泵損壞的情況下，另外一個抽真空泵在一個相對較大的容積空間內抽真空的時間將大大的節約，所述單主閥腔體與兩個冷泵機構的連接處均設有悶板，用于對單主閥腔體與冷泵機構隔開，使得其相互獨立，所述單主閥腔體的上端連接有羅茨泵機構，用于對單主閥腔體進行粗抽真空。

3、然而，當工作人員利用該蒸鍍機對晶圓進行蒸鍍時，由于缺少轉運機構，導致工作人員需要頻繁的開啟真空室蓋門來存取晶圓，操作步驟較為繁瑣，且每次開啟真空室蓋門后都需要進行再次抽真空，不僅容易降低晶圓的蒸鍍效率，同時也會增加蒸鍍機的整體能耗。

4、因此，針對上述技術問題，有必要提供整機。

5、公開于該背景技術部分的信息僅僅旨在增加對本發明的總體背景的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域一般技術人員所公知的現有技術。

技術實現思路

1、本發明的目的在于提供整機，其能夠解決蒸鍍機需要頻繁開啟真空室蓋門來存取晶圓的問題。

2、為了實現上述目的，本發明一具體實施例提供的技術方案如下：

3、整機，包括：機架、真空室、轉運機構和真空泵；

4、所述機架上鉸鏈連接有一對取料門；

5、所述真空室安裝于所述機架內，所述真空室包括第一外殼，所述第一外殼上鉸鏈連接有密封門，所述密封門與其中一個所述取料門相對應，所述第一外殼上安裝有主泵、檢測機構和水冷旋轉機構；

6、所述轉運機構安裝于所述機架內，所述轉運機構包括第二外殼，所述第二外殼與所述第一外殼之間連接有閘閥，所述第二外殼內安裝有存取機構；

7、所述真空泵設于所述機架一側，所述真空泵與所述第二外殼之間連接有第一波紋管，所述第一波紋管與所述主泵相連接。

8、在本發明的一個或多個實施例中，所述水冷旋轉機構包括第一支架，所述第一支架安裝于所述第一外殼上，用于安裝第一電動機；

9、所述第一支架上安裝有第一電動機，用于帶動聯動軸轉動，進而可以帶動安裝板和晶圓固定機構進行轉動，所述第一電動機輸出軸連接有主動齒輪。

10、在本發明的一個或多個實施例中，所述第一外殼上安裝有安裝座，用于安裝聯動軸，所述安裝座上轉動連接有聯動軸，所述聯動軸一端連接有從動齒輪，所述從動齒輪與所述主動齒輪相嚙合，當第一電動機運行時，第一電動機帶動主動齒輪轉動，主動齒輪通過嚙合作用帶動從動齒輪進行轉動，進而可以帶動聯動軸進行轉動。

11、在本發明的一個或多個實施例中，所述第一外殼內設有上板，所述上板上安裝有安裝板，所述安裝板與所述聯動軸另一端相連接，當聯動軸轉動時，上板和安裝板也會進行轉動，上板用于安裝晶圓固定機構；

12、所述上板下側設有晶圓固定機構，晶圓固定機構用于固定晶圓，所述上板與晶圓固定機構之間連接有若干固定桿，用于將上板和晶圓固定機構連接成一體，使得聯動軸在轉動時，晶圓固定機構內的晶圓也能進行轉動。

13、在本發明的一個或多個實施例中，所述晶圓固定機構上連接有一對固定管，用于連接第二波紋管，所述固定管上連接有第二波紋管，所述聯動軸內設有一對輸送管，一對所述輸送管分別與一對固定管相連通，冷卻水通過輸送管、第二波紋管和固定管可以進入到晶圓固定機構中，用于對晶圓固定機構上安裝的晶圓進行冷卻，避免晶圓存在高溫現象。

14、在本發明的一個或多個實施例中，所述存取機構包括一對第二支架，一對所述第二支架均與所述第二外殼內壁相連接，第二支架用于固定第一導軌；

15、一對所述第二支架之間連接有第一導軌，第一導軌用于引導齒條基座和齒條的移動；

16、所述第一導軌的一側設有齒條基座，所述齒條基座上安裝有齒條，齒條與驅動輪相嚙合，當驅動輪轉動時，齒條受到嚙合作用會沿著第一導軌進行移動，進而可以轉運晶圓；

17、所述齒條基座上安裝有若干第一同心輪，所述第一同心輪滑動設于第一導軌內，提高齒條基座在第一導軌上移動時的穩定性，避免出現偏移情況。

18、在本發明的一個或多個實施例中，所述第二外殼外連接有第三支架，所述第三支架上安裝有第二電動機，所述第二電動機輸出軸連接有驅動輪，所述驅動輪與所述齒條相嚙合，當第二電動機運行時，第二電動機能夠帶動驅動輪進行轉動，驅動輪與齒條通過嚙合作用會帶動齒條基座和齒條進行移動。

19、在本發明的一個或多個實施例中，所述第二外殼頂壁安裝有一對氣缸，所述氣缸伸縮端連接有導軌基板，所述導軌基板設于第二外殼內，用于安裝第二導軌；

20、所述導軌基板下側連接有第二導軌，所述第二導軌下側設有觸手基座，所述觸手基座上連接有若干第二同心輪，所述第二同心輪滑動設于第二導軌內，通過若干第二同心輪的設置，可以增加觸手基座在第二導軌上移動時的穩定性。

21、在本發明的一個或多個實施例中，所述第二外殼的一個側壁連接有剪刀基座，所述剪刀基座上活動連接有剪刀伸縮架，剪刀伸縮架用于連接齒條基座和觸手基座，進而可以實現晶圓的往復移動；

22、所述齒條基座上設有凸出部，所述剪刀伸縮架與凸出部通過銷軸連接，當齒條基座移動時，通過銷軸作用會帶動剪刀伸縮架伸展。

23、在本發明的一個或多個實施例中，所述剪刀伸縮架遠離所述剪刀基座的一端連接有驅動塊，所述驅動塊與所述觸手基座之間連接有驅動推板，當剪刀伸縮架伸展時，剪刀伸縮架通過驅動塊和驅動推板的作用可以帶動觸手基座在第二導軌上進行移動，進而可以實現晶圓的轉運；

24、所述觸手基座上安裝有觸手，所述觸手與所述閘閥相對應，觸手用于轉運晶圓。

25、與現有技術相比，本發明的整機，可以在不開啟真空室蓋門的情況下存取晶圓，進而可以有效的避免真空室蓋門頻繁開啟以及真空室再次抽真空的步驟，簡化晶圓的蒸鍍流程，繼而可以大幅提高晶圓的蒸鍍效率，同時也可以大大降低蒸鍍機的整體能耗。

技術特征：

1.整機，其特征在于，包括：

2.根據權利要求1所述的整機，其特征在于，所述水冷旋轉機構包括第一支架，所述第一支架安裝于所述第一外殼上，所述第一支架上安裝有第一電動機，所述第一電動機輸出軸連接有主動齒輪。

3.根據權利要求2所述的整機，其特征在于，所述第一外殼上安裝有安裝座，所述安裝座上轉動連接有聯動軸，所述聯動軸一端連接有從動齒輪，所述從動齒輪與所述主動齒輪相嚙合。

4.根據權利要求3所述的整機，其特征在于，所述第一外殼內設有上板，所述上板上安裝有安裝板，所述安裝板與所述聯動軸另一端相連接，所述上板下側設有晶圓固定機構，所述上板與晶圓固定機構之間連接有若干固定桿。

5.根據權利要求4所述的整機，其特征在于，所述晶圓固定機構上連接有一對固定管，所述固定管上連接有第二波紋管，所述聯動軸內設有一對輸送管，一對所述輸送管分別與一對固定管相連通。

6.根據權利要求1所述的整機，其特征在于，所述存取機構包括一對第二支架，一對所述第二支架均與所述第二外殼內壁相連接，一對所述第二支架之間連接有第一導軌，所述第一導軌的一側設有齒條基座，所述齒條基座上安裝有齒條，所述齒條基座上安裝有若干第一同心輪，所述第一同心輪滑動設于第一導軌內。

7.根據權利要求6所述的整機，其特征在于，所述第二外殼外連接有第三支架，所述第三支架上安裝有第二電動機，所述第二電動機輸出軸連接有驅動輪，所述驅動輪與所述齒條相嚙合。

8.根據權利要求7所述的整機，其特征在于，所述第二外殼頂壁安裝有一對氣缸，所述氣缸伸縮端連接有導軌基板，所述導軌基板設于第二外殼內，所述導軌基板下側連接有第二導軌，所述第二導軌下側設有觸手基座，所述觸手基座上連接有若干第二同心輪，所述第二同心輪滑動設于第二導軌內。

9.根據權利要求8所述的整機，其特征在于，所述第二外殼的一個側壁連接有剪刀基座，所述剪刀基座上活動連接有剪刀伸縮架，所述齒條基座上設有凸出部，所述剪刀伸縮架與凸出部通過銷軸連接。

10.根據權利要求9所述的整機，其特征在于，所述剪刀伸縮架遠離所述剪刀基座的一端連接有驅動塊，所述驅動塊與所述觸手基座之間連接有驅動推板，所述觸手基座上安裝有觸手，所述觸手與所述閘閥相對應。

技術總結
本發明屬于蒸鍍機技術領域，具體涉及整機，包括機架、真空室、轉運機構和真空泵；機架上鉸鏈連接有一對取料門；真空室安裝于機架內，真空室包括第一外殼，第一外殼上鉸鏈連接有密封門，密封門與其中一個取料門相對應，第一外殼上安裝有主泵、檢測機構和水冷旋轉機構；轉運機構安裝于機架內，轉運機構包括第二外殼，第二外殼與第一外殼之間連接有閘閥，第二外殼內安裝有存取機構；真空泵設于機架一側。本發明可以在不開啟真空室蓋門的情況下存取晶圓，進而可以有效的避免真空室蓋門頻繁開啟以及真空室再次抽真空的步驟，簡化晶圓的蒸鍍流程，繼而可以大幅提高晶圓的蒸鍍效率，同時也可以大大降低蒸鍍機的整體能耗。

技術研發人員：杜寶勝,薛蒙曉,顧建強
受保護的技術使用者：蘇州佑倫真空設備科技有限公司
技術研發日：
技術公布日：2024/9/9