本技術屬于化學機械拋光,具體而言,涉及一種用于化學機械拋光的承載頭和拋光裝置。
背景技術:
1、集成電路產業是信息技術產業的核心,在助推制造業向數字化、智能化轉型升級的過程中發揮著關鍵作用。芯片是集成電路的載體,芯片制造涉及集成電路設計、晶圓制造、晶圓加工、電性測量、切割封裝和測試等工藝流程。其中,化學機械拋光(chemicalmechanical?polishing,cmp)屬于晶圓制造工序中的五大核心制程之一。
2、化學機械拋光時,通常將晶圓吸合于承載頭的底面,晶圓具有沉積層的一面抵接拋光墊上表面,承載頭在驅動組件的致動下與拋光墊同向旋轉并給予晶圓向下的載荷;拋光液供給于拋光墊的上表面并分布在晶圓與拋光墊之間,使得晶圓在化學和機械的共同作用下完成晶圓的化學機械拋光。
3、第三代半導體材料諸如以氮化鎵(gan)、碳化硅(sic)、氧化鋅(zno)和金剛石等,具有更寬的禁帶寬度、高導熱率、高擊穿場強等優越等特性,使得第三代半導體材料得到了廣泛應用。但第三代半導體材料具有硬度極高、拋光難度大的特點。
4、在一些特殊需求下,需要將晶圓的邊緣薄化,以形成trim?wafer。使用常規承載頭對晶圓分區加壓拋光時,晶圓的邊緣的拋光速率容易發生陡增,致使晶圓邊緣出現過拋的情況,而拋光速率陡增的趨勢難以通過彈性膜的多區壓力調控來改善。
5、為解決上述技術問題,通常需要為trim?wafer單獨配置承載頭,并設計特定規格的彈性膜,這會增加晶圓加工成本。
技術實現思路
1、本實用新型實施例提供了一種用于化學機械拋光的彈性膜組件、承載頭和拋光裝置,旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。
2、本實用新型實施例的第一方面提供了一種用于化學機械拋光的彈性膜組件,包括:
3、彈性膜,包括底板部和直立部,所述底板部為盤狀結構,以吸合待拋光晶圓,所述直立部沿底板部的外緣豎直向上延伸;
4、夾緊裝置,設置于所述直立部的內側和/或外側,所述夾緊裝置能夠調節彈性膜的周向尺寸,以改變拋光晶圓的邊緣受力。
5、在一些實施例中,所述夾緊裝置包括:至少一個調節結構和至少一個弧形板體,所述至少一個調節結構連接于所述至少一個弧形板體上,所述至少一個弧形板體通過至少一個調節結構連接成環形結構。
6、在一些實施例中,所述弧形板體包括兩個用于固連的交疊部分,其位于弧形板體的兩端,所述交疊部分開設有多個鎖孔。
7、在一些實施例中,所述調節結構包括弧形鎖扣,其能夠卡入兩個交疊部分的鎖孔,以將至少一個弧形板體連接成環形結構;通過調節所述弧形鎖扣卡入不同的鎖孔,以調節所述環形結構的周向尺寸。
8、在一些實施例中,所述弧形板體還包括主體部分,其位于所述交疊部分之間,其中,所述交疊部分的厚度小于或等于所述主體部分的厚度的一半。
9、在一些實施例中,所述弧形鎖扣包括鎖片、設置孔、以及沿所述弧形鎖扣的厚度方向上分別位于所述設置孔兩側的第一弧壁和第二弧壁,所述第一弧壁的厚度大于所述第二弧壁的厚度。
10、在一些實施例中,所述兩個交疊部分交疊穿設于所述設置孔中,以使所述第一弧壁和第二弧壁分別位于兩個交疊部分的兩側。
11、在一些實施例中,所述弧形鎖扣的鎖片扣入穿設于所述設置孔的兩個交疊部分的鎖孔,以將所述至少一個弧形板體連接成環形結構。
12、本實用新型實施例的第二方面提供了一種承載頭,其包括:
13、承載盤;
14、和上面所述的彈性膜組件,其設置于承載盤的下方,以裝載待拋光的晶圓。
15、本實用新型實施例的第三方面提供了一種拋光裝置,其包括拋光盤、修整器、供液臂和上面所述的承載頭,所述承載頭能夠通過配置的夾緊裝置調整彈性膜的周向尺寸,以改變拋光晶圓的邊緣受力。
16、本實用新型的有益效果包括:
17、a.提供的彈性膜組件配置有夾緊裝置,其能夠相互配合以夾緊彈性膜的直立部,進而改變彈性膜的周向尺寸,調整經由直立部向下傳遞載荷的作用范圍,改變晶圓邊緣的受力情況,調整晶圓邊緣區域的拋光去除速率;
18、b.夾緊裝置可以通過配置的調節結構調整形成的環形結構的周向尺寸,以適應不同尺寸規格的trim?wafer的拋光。
1.一種用于化學機械拋光的彈性膜組件,其特征在于,包括:
2.如權利要求1所述的彈性膜組件,其特征在于,所述弧形板體包括兩個用于固連的交疊部分,其位于弧形板體的兩端,所述交疊部分開設有多個鎖孔。
3.如權利要求2所述的彈性膜組件,其特征在于,所述調節結構包括弧形鎖扣,其能夠卡入兩個交疊部分的鎖孔,以將至少一個弧形板體連接成環形結構;通過調節所述弧形鎖扣卡入不同的鎖孔,以調節所述環形結構的周向尺寸。
4.如權利要求3所述的彈性膜組件,其特征在于,所述弧形板體還包括主體部分,其位于所述交疊部分之間,其中,所述交疊部分的厚度小于或等于所述主體部分的厚度的一半。
5.根據權利要求4所述的彈性膜組件,其特征在于,所述弧形鎖扣包括鎖片、設置孔、以及沿所述弧形鎖扣的厚度方向上分別位于所述設置孔兩側的第一弧壁和第二弧壁,所述第一弧壁的厚度大于所述第二弧壁的厚度。
6.根據權利要求5所述的彈性膜組件,其特征在于,所述兩個交疊部分交疊穿設于所述設置孔中,以使所述第一弧壁和第二弧壁分別位于兩個交疊部分的兩側。
7.根據權利要求6所述的彈性膜組件,其特征在于,所述弧形鎖扣的鎖片扣入穿設于所述設置孔的兩個交疊部分的鎖孔,以將所述至少一個弧形板體連接成環形結構。
8.一種承載頭,其特征在于,包括:
9.一種拋光裝置,其特征在于,包括拋光盤、修整器、供液臂和權利要求8所述的承載頭,所述承載頭能夠通過配置的夾緊裝置調整彈性膜的周向尺寸,以改變拋光晶圓的邊緣受力。