本發明涉及硅片制造模具技術領域,具體為一種可調節厚度和間距的石墨舟。
背景技術:
現有的對應管徑380的石墨舟都是21片石墨舟頁的石墨舟,為了提升產能,可以在石墨舟兩邊各加一片石墨舟頁組成23片石墨舟頁的石墨舟,此種石墨舟能提升產能10%。
對于上述提出的改造方法,雖然增加了石墨舟頁的片數,增加了硅片放置量,但是為了使23片石墨舟能正常運行放進爐管,必須減薄舟頁厚度和減少舟頁間距。
但是現有技術中,如說明書附圖1所示,現有的兩片石墨舟之間僅僅通過一個圓柱形陶瓷管進行間隔,而且每片石墨舟頁的厚度均為定值,不好調整,所以現有的石墨舟在減薄舟頁厚度和減少舟頁間距時,操作起來十分復雜,非常不方便。
技術實現要素:
本發明的目的在于提供一種可調節厚度和間距的石墨舟,以解決上述背景技術中提出的問題。
為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:
一種可調節厚度和間距的石墨舟,包括若干平行設置的石墨舟頁以及若干垂直插設于石墨舟頁中的石墨棒,每兩片石墨舟頁之間均設置有調節裝置;
所述調節裝置包括依次間隔設置的陶瓷套和石墨片,且陶瓷套和石墨片之間通過連接塊固定,所述陶瓷套中開設有插孔,且調節裝置通過插孔依次對應活動插設于石墨棒上;
所述陶瓷套遠離插孔一端開設有內孔,所述內孔中活動插設有陶瓷管,所述陶瓷管轉動插設于石墨棒上。
優選的,所述內孔為螺紋孔,陶瓷管外壁設置有螺紋,且內孔與陶瓷管之間采用螺紋配合。
優選的,所述陶瓷套和石墨片在石墨棒方向上的長度相同。
優選的,所述陶瓷管外表面刻設有刻度線。
與現有技術相比,本發明的有益效果是:
本發明通過原有的石墨舟頁與石墨片的配合,用石墨片對硅片放置區域的厚度進行控制,從而實現對石墨舟頁厚度的調整;而且通過陶瓷套和陶瓷管的設置,一方面將石墨舟頁間隔開用來放置硅片,另一方面,通過內孔和陶瓷管的螺紋插接配合,使得每兩片石墨舟頁之間的間距可以很方便的進行調整。
本發明在每兩片石墨舟頁之間增加了調節裝置,并且配合著可以活動插接于陶瓷套內的陶瓷管,可以非常簡便的對石墨舟頁的厚度以及石墨舟頁之間的間距進行調整,以方便對石墨舟頁片數進行增加調節,從而提升石墨舟產能,并且操作簡單可以節約大量調節時間,而且不需要更換不同厚度的石墨舟頁,大大節約了材料,非常有效。
附圖說明
圖1為現有技術的石墨舟結構示意圖;
圖2為本發明的結構示意圖;
圖3為本發明實施例中石墨舟頁的結構示意圖;
圖4為本發明的調節裝置與石墨棒安裝示意圖;
圖5為本發明的陶瓷套與陶瓷管連接結構剖視圖;
圖6為本發明的調節裝置結構示意圖。
圖中:1石墨舟頁、2石墨棒、3陶瓷套、4石墨片、5連接塊、6陶瓷管、11圓柱形陶瓷管。
具體實施方式
下面將結合本發明實施例中的附圖,對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發明保護的范圍。
請參閱圖1-6,本發明提供一種技術方案:
一種可調節厚度和間距的石墨舟,包括若干平行設置的石墨舟頁1以及若干垂直插設于石墨舟頁1中的石墨棒2,目前普遍石墨舟采用的石墨舟頁1為21片,通過調節,可以在石墨舟兩邊各加一片石墨舟頁1組成23片石墨舟頁1的石墨舟,改進后的石墨舟能提升產能10%,每兩片石墨舟頁1之間均設置有調節裝置,用來對石墨舟頁1的厚度以及石墨舟頁1間的間距進行調節。
調節裝置包括依次間隔設置的陶瓷套3和石墨片4,兩端均為陶瓷套3,且陶瓷套3和石墨片4之間通過連接塊5固定,形成一個整體的調節裝置,石墨片4設置于兩個陶瓷套3之間,用來對硅片放置區域進行限制調節,從而實現對石墨舟頁1的厚度調節效果,若石墨片4安裝于兩片石墨舟頁1之間時,即等同于增加了石墨舟頁1的厚度,作為一個優選,使得陶瓷套3和石墨片4在石墨棒2方向上的長度相同,使得石墨片4的安裝和卸下不會影響石墨舟頁1之間的間距,且陶瓷套3和石墨片4的一端均與石墨舟頁1側壁活動貼設接觸。
陶瓷套3中開設有插孔31,且調節裝置通過插孔31依次對應活動插設于石墨棒2上,可以將調節裝置整體安裝于兩片石墨舟頁1,方便安裝和拆卸,非常簡便。
陶瓷套3遠離插孔31一端開設有內孔32,內孔32中活動插設有陶瓷管6,內孔32為螺紋孔,陶瓷管6外壁設置有螺紋,且內孔32與陶瓷管6之間采用螺紋配合,陶瓷管6轉動插設于石墨棒2上,通過陶瓷管6在石墨棒2上的轉動,可以將陶瓷管6旋鈕進入陶瓷套3內,從而起到調節石墨舟頁1之間的間距,便于操作。
作為一個優選,陶瓷管6外表面刻設有刻度線,通過陶瓷套3套住的陶瓷管6長度,運用刻度線的讀數,精準的測得每兩片石墨舟頁1之間的間距。
盡管已經示出和描述了本發明的實施例,對于本領域的普通技術人員而言,可以理解在不脫離本發明的原理和精神的情況下可以對這些實施例進行多種變化、修改、替換和變型,本發明的范圍由所附權利要求及其等同物限定。