平面靶材固定壓緊裝置的制作方法

本發明涉及磁控濺射真空鍍膜技術領域，特別涉及一種平面靶材固定壓緊裝置。

背景技術：

近年來，隨著科學的發展，技術的進步，表面科學和納米薄膜變的越來越受重視，大到航空航天，小到手機手表，越來越多的薄膜技術被應用，而獲取薄膜的技術也在不斷的發展和進步，現如今，磁控濺射技術已經被廣泛應用，為了獲得各種性能的薄膜，這種技術日新月異。這種技術的關鍵在于可以通過不同種的電源，在基材上進行各種各樣材料的鍍膜，獲得各種不同材料的納米級的薄膜，所以靶材是這項技術的重中之重。

對于鍍膜生產企業來說，時間是生產最重要的一項因素，而靶材的更換和維護嚴重的影響了生產效率，所以提高靶材的更換和維護速度是很關鍵的一個環節。

常規平面靶材需要壓緊板對靶材進行固定，防止靶材移動造成不良后果，然而這種壓板一般都是通過螺栓固定，拆卸靶材時需將把壓板的螺栓全部擰下，把壓緊板全部卸下后才能取出靶材。之后安裝靶材時還需要將所有壓板安裝好，擰好所有螺栓才能完成靶材的更換。通常這種壓緊板需要將靶材牢牢固定住，所以螺絲的數量較多，造成任務量大，更換靶材非常浪費時間，嚴重影響了生產進度。

技術實現要素：

本發明實施例提供了一種平面靶材固定壓緊裝置，以快速對靶材進行安裝壓緊和拆卸，節約時間，降低成本。

為了實現上述目的，本發明實施例提供了一種平面靶材固定壓緊裝置，該平面靶材固定壓緊裝置包括：壓緊裝置主體，至少一彈簧氣脹壓緊組件，至少一安裝維護部件及設置在所述壓緊裝置主體內的壓縮空氣氣路；

所述壓緊裝置主體上設置有用于安裝所述彈簧氣脹壓緊組件的安裝槽，以及壓縮空氣氣嘴；所述壓縮空氣氣嘴安裝在與所述壓縮空氣氣路連接的氣嘴孔上，所述壓縮空氣氣路通過一氣管與所述安裝槽聯通；

所述彈簧氣脹壓緊組件包括壓緊板及彈簧，所述彈簧一端固定在所述壓緊板的底座上，所述壓緊板在壓縮空氣或者彈簧的推動下沿所述安裝槽移動，實現平面靶材的安裝及壓緊；

所述安裝維護部件固定在所述壓緊裝置主體上，位于所述安裝槽的開口處，與所述彈簧的另一端接觸。

一實施例中，所述彈簧氣脹壓緊組件還包括：唇形密封圈，套設在所述壓緊板底座的凹槽中。

一實施例中，所述壓縮空氣氣嘴的個數為2，分別設置在所述壓緊裝置主體側面的上部。

一實施例中，所述安裝維護部件具有一用于對所述壓緊板進行導向的限位部。

一實施例中，所述壓緊板的底座上設有一臺階部，所述安裝槽的開口處設有凸起部，所述凸起部與所述臺階部配合，對所述壓緊板進行限位。

一實施例中，所述壓縮空氣氣嘴尾部設有螺紋，與所述氣嘴孔螺紋連接。

一實施例中，所述平面靶材固定壓緊裝置固定在靶材底座上，當平面靶材安裝完成后，所述彈簧氣脹壓緊組件的壓緊板抵壓在平面靶材上。

一實施例中，當通過所述壓縮空氣氣嘴鼓入壓縮空氣時，壓縮空氣首先進入所述壓縮空氣氣路，然后通過氣管進入所述安裝槽，克服所述彈簧推力，推動所述壓緊板沿所述安裝槽移動，進入所述平面靶材的安裝或更換狀態。

一實施例中，當所述平面靶材的安裝或更換后，通過按壓所述壓縮空氣氣嘴排出所述壓縮空氣，所述壓緊板受所述彈簧推力作用沿安裝槽移動，使得所述壓緊板壓緊所述平面靶材。

本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置，利用彈簧和氣脹的方式壓緊代替常規的螺絲壓緊板壓緊，不僅減少拆卸壓緊板帶來的工作量，而且極大的節約了工作時間。另外，該平面靶材固定壓緊裝置工作時減小了內外的壓強差，大大增加了使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖一；

圖2為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的上視圖；

圖3為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置壓緊平面靶材示意圖；

圖4為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的主視圖；

圖5為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖二；

圖6為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的壓縮空氣氣路的透視圖。

具體實施方式

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發明中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發明保護的范圍。

圖1為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖一。圖2為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的上視圖。如圖1及圖2所示，該平面靶材固定壓緊裝置1包括：壓緊裝置主體11，至少一彈簧氣脹壓緊組件3，至少一安裝維護部件4及設置在壓緊裝置主體11內的壓縮空氣氣路2。

壓緊裝置主體11上經過機械加工，內部設置有用于安裝彈簧氣脹壓緊組件3的安裝槽6，還設置有壓縮空氣氣嘴5以及用于固定與其連接的各個部件的螺栓孔。壓縮空氣氣嘴5安裝在與所述壓縮空氣氣路連接的氣嘴孔9上，壓縮空氣氣路2通過一氣管21與安裝槽6聯通。

一實施例中，壓縮空氣氣嘴5的個數為2，分別設置在壓緊裝置主體11側面的上部，如圖2及圖6所示。壓縮空氣氣嘴5發尾部可以設有螺紋，與之對應的，可以在氣嘴孔9的內表面設有螺紋，壓縮空氣氣嘴5與氣嘴孔9螺紋連接。

彈簧氣脹壓緊組件3包括壓緊板31及彈簧33，彈簧一端固定在壓緊板31的底座34上，壓緊板31可在壓縮空氣或者彈簧的推動下沿安裝槽移動，實現平面靶材的安裝及壓緊。

安裝維護部件4固定在壓緊裝置主體11上，位于安裝槽6的開口處，與彈簧33的另一端接觸，以抵住彈簧33。安裝維護部件4可以通過螺栓41固定在壓緊裝置主體11上。

一實施例中，安裝維護部件4具有一用于對壓緊板31進行導向的限位部42。

壓緊裝置主體11、壓縮空氣氣體管路2及彈簧氣脹壓緊組件3構成了一個密封的氣脹腔室。一實施例中，為了提高密封性，彈簧氣脹壓緊組件上還可以設有唇形密封圈32，唇形密封圈32套設在壓緊板31的底座的凹槽36中。

壓緊板31的底座上設有一臺階部35，安裝槽6的開口處設有凸起12，凸起部12與臺階部35配合，對壓緊板31進行限位。

具體實施時，如圖3所示，平面靶材固定壓緊裝置1固定在靶材底座7上，彈簧氣脹壓緊組件的壓緊板抵壓在平面靶材上。圖3中，平面靶材固定壓緊裝置1的個數為2個，通過平面靶材固定壓緊裝置1，可以壓緊平面靶材8的兩端。

圖4為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的主視圖。如圖4所示，平面靶材固定壓緊裝置1可以通過螺栓6固定在靶材底座7上。

圖5為本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置的剖視圖二，如圖1所示，平面靶材固定壓緊裝置1的狀態為壓緊狀態，如圖5所示，平面靶材固定壓緊裝置1的狀態為松開狀態。圖1中，通過向安裝在壓縮空氣鼓入氣嘴孔9(如圖6)上的壓縮空氣氣嘴5鼓入壓縮空氣(可用壓縮空氣槍沖入氣體，按壓即可排出氣體)，壓縮空氣首先進入壓縮空氣氣路2，然后通過與壓縮空氣氣路2連通的氣管21進入安裝槽6中，密封的安裝槽6膨脹，克服彈簧33的推力，將壓緊板31沿著安裝槽6的路徑推開，直至到達限位位置，平面靶材壓緊裝置1完全到達工作位置(即達到如圖5所示的狀態)，此時彈簧處于壓縮狀態，這時可以進行靶材更換工作。靶材安裝好之后，通過按壓壓縮空氣氣嘴5排出壓縮空氣，壓緊板31受彈簧33推力作用在安裝槽內伸長，彈簧33緊緊抵住壓緊板31，使得壓緊板31壓緊平面靶材8，平面靶材固定壓緊裝置1已經將平面靶材8固定，如圖1所示。

本發明實施例的平面靶材固定壓緊裝置，利用彈簧和氣脹的方式壓緊代替常規的螺絲壓緊板壓緊，不僅減少拆卸壓緊板帶來的工作量，而且極大的節約了工作時間(可以使10分鐘到30分鐘甚至更多的工作時間縮短到幾秒鐘)。另外，該平面靶材固定壓緊裝置工作時減小了內外的壓強差，大大增加了使用壽命。

本發明中應用了具體實施例對本發明的原理及實施方式進行了闡述，以上實施例的說明只是用于幫助理解本發明的方法及其核心思想；同時，對于本領域的一般技術人員，依據本發明的思想，在具體實施方式及應用范圍上均會有改變之處，綜上所述，本說明書內容不應理解為對本發明的限制。