一種旋轉陰極磁棒裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于真空鍍膜技術領域，特別是一種大面積平板玻璃鍍膜生產系統中的旋轉陰極磁棒裝置。
【背景技術】
[0002]已知磁控濺射鍍膜是指利用磁場與電場交互作用，使電子在靶表面附近成螺旋狀運行，從而增大電子撞擊氬氣產生離子的概率。所產生的離子在電場的作用下撞向靶材表面從而濺射出靶材，沉積在玻璃基片上形成薄膜。
[0003]已知現有的平面陰極有利用率較低，往往只能達到20%_30%。為了提高靶材的利用率，旋轉靶材逐步被市場使用起來。但旋轉靶材鍍膜的均勻性并不好，內部的磁棒起到了決定性的作用。
[0004]已知鍍膜玻璃的均勻性對玻璃的品質起到至關重要的作用。而在生產過程中均勻性的調節一直是困饒生產的一大難題。
【發明內容】
[0005]在本發明中解決的任務是提供一種滿足提供磁控濺射所需要的高強穩定的磁場且磁場強度可簡易調節，符合生產需求的旋轉陰極磁棒裝置。
[0006]為解決上述問題，本發明是按以下方式實現的:一種旋轉陰極磁棒裝置，包括主軸、支撐腳、調節墊片、磁鐵背板、高強磁鐵五個部分;所述高強磁鐵與所述磁鐵背板用膠粘接，所述高強磁鐵均勻分布在所述磁鐵背板上;所述磁鐵背板通過所述支撐腳與所述主軸通過螺栓連接，且連接處設置若干調節墊片調節磁場強度，所述磁鐵背板邊部安裝導向輪支撐磁棒在旋轉陰極內部保持中間位置同時也方便磁棒裝入旋轉陰極時對旋轉陰極接口密封面的保護。
[0007]本發明的積極效果是:在鍍膜玻璃生產過程中，旋轉陰極的選用是市場的發展趨勢，這種陰極對于濺射能更高的提高濺射效率，這種旋轉陰極磁棒裝置為旋轉陰極磁控濺射提供了磁場需求，且可調節磁場強度的裝置更符合目前的生產工藝需求，不但提高了生廣效率更提尚了廣品的質量。
【附圖說明】
[0008]圖1為本發明所述一種旋轉陰極磁棒裝置的主視圖。
[0009]圖2為本發明所述一種旋轉陰極磁棒裝置的原理圖。
【具體實施方式】
[0010]下面結合附圖對本發明的工作原理作進一步詳細的說明。
[0011]如圖1所示的一種旋轉陰極磁棒裝置，包括主軸1、支撐腳2、調節墊片3、磁鐵背板
4、高強磁鐵5五個部分。高強磁鐵5與磁鐵背板4用膠粘接，高強磁鐵5均勻分布在磁鐵背板4上。磁鐵背板4通過支撐腳2與主軸I通過螺栓連接，且連接處可適當加放調節墊片3調節磁場強度，磁鐵背板4邊部安裝導向輪支撐磁棒在旋轉陰極內部保持中間位置同時也方便磁棒裝入旋轉陰極時對旋轉陰極接口密封面的保護。可安放調整墊片機構是整個裝置核心部分，通過增加或減少墊片的數量決定磁場靠近或遠離旋轉陰極靶材表面從而控制該部位磁控濺射的磁場強度。
[0012]如圖2所示，本發明的工作原理:在生產過程中，由于高強磁鐵的磁強存在差異，鍍膜腔體環境差異，供氣不均勻等情況出現時必然對鍍膜玻璃膜沉積的均勻性產生差異，這種情況下我們就可以同過這種旋轉陰極磁棒裝置來調節靶表面的磁場強度。當產品左側沉積速率慢于右側沉積速率產生了左右顏色差異時，我們就可以把磁棒拿出調節左側調整墊片適當增加，右側調整墊片適當減少，然后再恢復生產調試測量左右鍍膜厚度，直至最優。
[0013]本裝置應用于大面積平板玻璃鍍膜設備旋轉陰極中，實現可調節旋轉陰極可調節磁場強度，得到更好鍍膜玻璃均勻性。
【主權項】
1.一種旋轉陰極磁棒裝置，其特征在于，包括主軸、支撐腳、調節墊片、磁鐵背板、高強磁鐵五個部分;所述高強磁鐵與所述磁鐵背板用膠粘接，所述高強磁鐵均勻分布在所述磁鐵背板上;所述磁鐵背板通過所述支撐腳與所述主軸通過螺栓連接，且連接處設置若干調節墊片調節磁場強度，所述磁鐵背板邊部安裝導向輪支撐磁棒在旋轉陰極內部保持中間位置同時也方便磁棒裝入旋轉陰極時對旋轉陰極接口密封面的保護。2.根據權利要求1所述的一種旋轉陰極磁棒裝置，其特征在于，增加或減少所述調節墊片的數量能夠決定磁場靠近或遠離旋轉陰極靶材表面，從而控制該部位磁控濺射的磁場強度。
【專利摘要】本發明公開了一種旋轉陰極磁棒裝置，高強磁鐵與磁鐵背板用膠粘接，高強磁鐵均勻分布在磁鐵背板上；磁鐵背板通過支撐腳與主軸通過螺栓連接，且連接處設置若干調節墊片調節磁場強度，磁鐵背板邊部安裝導向輪支撐磁棒在旋轉陰極內部保持中間位置同時也方便磁棒裝入旋轉陰極時對旋轉陰極接口密封面的保護。
【IPC分類】C23C14/35
【公開號】CN105714261
【申請號】CN201610237800
【發明人】楊宏斌, 冷慶吉
【申請人】河北物華天寶鍍膜科技有限公司