具有防崩膜功能的pvd沉積室的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種具有防崩膜功能的PVD沉積室，包括陰極、陽極框、主氣管道、側遮板、基板和金屬網罩，陰極、陽極框和基板從上到下平行設置，側遮板水平設置在陽極框內側的兩長邊端，主氣管道設置在側遮板的上方，金屬網罩包括第一網板、第二網板和第三網板，第一網板與主氣管道的上弧相切，且第一網板的第一長邊端與陽極框連接，第三網板附著在側遮板的上側面，第二網板與基板垂直設置，且第二網板的第一長邊端與第一網板的第二長邊端連接，第二網板的第二長邊端與第三網板的第一長邊端連接。本實用新型通過增加Z字型的金屬網罩，可以對側遮板和主氣管道產生的崩渣的活動范圍進行有效的束縛，大大降低崩渣掉落的概率，進而提高產品良率。
【專利說明】具有防崩膜功能的PVD沉積室
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及一種鍍膜設備，尤其涉及一種具有防崩膜功能的PVD沉積室。
【背景技術】
[0002]常見的磁控濺射設備沉積腔室主要由陰極(靶材)，陽極框，主氣管道和側遮板組成，側遮板和主氣管道在生產過程中會沉積膜層，隨著時間的推移逐漸變厚。由于陽極框和所鍍膜層材質的熱膨脹系數不同，所鍍膜層積累到一定程度會從腔室的側遮板和主氣管會發生膜層崩落的情況，落在產品上造成不良。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種具有防崩膜功能的PVD
沉積室。
[0004]本實用新型通過以下技術方案來實現上述目的:
[0005]一種具有防崩膜功能的PVD沉積室，包括陰極、陽極框、主氣管道、側遮板、基板和金屬網罩，所述陰極、所述陽極框和所述基板從上到下依次平行設置，所述側遮板水平設置在所述陽極框內側的兩長邊端，所述主氣管道設置在所述側遮板的上方，所述金屬網罩包括第一網板、第二網板和第三網板，所述第一網板與所述主氣管道的上弧相切，且所述第一網板的第一長邊端與所述陽極框連接，所述第三網板附著在所述所述側遮板的上側面，所述第二網板與所述基板垂直設置，且所述第二網板的第一長邊端與所述第一網板的第二長邊端連接，所述第二網板的第二長邊端與所述第三網板的第一長邊端連接。
[0006]當主氣管道和側遮板發生崩渣時，會被金屬網罩所限制，而不會脫落在基板上。
[0007]具體地，所述金屬網罩的個數為兩個，且分別設置在兩個所述側遮板的上方。
[0008]優選地，所述第二網板的寬度與所述主氣管道的直徑相等，所述第一網板的寬度與所述第三網板的寬度之和小于所述側遮板的寬度。
[0009]具體地，所述第一網板、所述第二網板和所述第三網板的短邊端均與所述陽極框的短邊端固定連接。
[0010]本實用新型的有益效果在于:
[0011]本實用新型具有防崩膜功能的PVD沉積室通過增加Z字型的金屬網罩，可以對側遮板和主氣管道產生的崩渣的活動范圍進行有效的束縛，大大降低崩渣掉落的概率，進而提聞廣品良率。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型所述具有防崩膜功能的PVD沉積室的結構示意圖；
[0013]圖2是本實用新型所述陽極框的俯視圖；
[0014]圖3是本實用新型所述金屬網罩的結構示意圖。
【具體實施方式】
[0015]下面結合附圖對本實用新型作進一步說明:
[0016]如圖1、圖2和圖3所示，本實用新型具有防崩膜功能的PVD沉積室，包括陰極1、陽極框2、主氣管道3、側遮板4、基板5和金屬網罩6，陰極1、陽極框2和基板5從上到下依次平行設置，側遮板4水平設置在陽極框2內側的兩長邊端，主氣管道3設置在側遮板4的上方，金屬網罩6包括第一網板7、第二網板8和第三網板9，第一網板7與主氣管道3的上弧相切，且第一網板7的第一長邊端與陽極框2連接，第三網板9附著在側遮板4的上側面，第二網板8與基板5垂直設置，且第二網板8的第一長邊端與第一網板7的第二長邊端連接，第二網板8的第二長邊端與第三網板9的第一長邊端連接，金屬網罩6的個數為兩個，且分別設置在兩個側遮板4的上方，第二網板8的寬度與主氣管道3的直徑相等，第一網板7的寬度與第三網板9的寬度之和小于側遮板4的寬度,第一網板7、第二網板8和第三網板9的短邊端均與陽極框2的短邊端固定連接。
[0017]本實用新型具有防崩膜功能的PVD沉積室的工作原理如下:
[0018]其中第一網板7、第二網板8和第三網板9采用的金屬網網孔大小適中，能保證主氣管道3內的氣體能夠順暢流通，當由于陽極框2和所鍍膜層材質的熱膨脹系數不同，所鍍膜層積累到一定程度會從腔室的側遮板4和主氣管道3發生膜層崩落，此時崩落的膜層會被金屬網罩6阻擋，不會掉落至基板5上。
[0019]本實用新型的技術方案不限于上述具體實施例的限制，凡是根據本實用新型的技術方案做出的技術變形，均落入本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種具有防崩膜功能的PVD沉積室，包括陰極、陽極框、主氣管道、側遮板和基板，所述陰極、所述陽極框和所述基板從上到下依次平行設置，所述側遮板水平設置在所述陽極框內側的兩長邊端，所述主氣管道設置在所述側遮板的上方，其特征在于:還包括金屬網罩，所述金屬網罩包括第一網板、第二網板和第三網板，所述第一網板與所述主氣管道的上弧相切，且所述第一網板的第一長邊端與所述陽極框連接，所述第三網板附著在所述所述側遮板的上側面，所述第二網板與所述基板垂直設置，且所述第二網板的第一長邊端與所述第一網板的第二長邊端連接，所述第二網板的第二長邊端與所述第三網板的第一長邊端連接。
2.根據權利要求1所述的具有防崩膜功能的PVD沉積室，其特征在于:所述金屬網罩的個數為兩個，且分別設置在兩個所述側遮板的上方。
3.根據權利要求1所述的具有防崩膜功能的PVD沉積室，其特征在于:所述第二網板的寬度與所述主氣管道的直徑相等，所述第一網板的寬度與所述第三網板的寬度之和小于所述側遮板的寬度。
4.根據權利要求1所述的具有防崩膜功能的PVD沉積室，其特征在于:所述第一網板、所述第二網板和所述第三網板的短邊端均與所述陽極框的短邊端固定連接。
【文檔編號】C23C14/35GK204138755SQ201420568113
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2014年9月29日 優先權日:2014年9月29日
【發明者】范曉鵬, 張慶豐, 李貴成, 周冬, 汪濤, 胡尚智 申請人:四川漢能光伏有限公司