一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法
【專利摘要】本發明公開了一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，該方法為：一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后去除油污，再進行脫水處理；二、將經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極和陰極在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；三、轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，利用陽極和石墨源極以及陽極和陰極在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到復合膜層。采用本發明的方法制備的復合膜層結合強度高、耐磨性能好，可有效的避免鈦及鈦合金咬合鎖死的問題。
【專利說明】一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法
【技術領域】
[0001]本發明屬于鈦及鈦合金表面硬化【技術領域】，具體涉及一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法。
【背景技術】
[0002]隨著航空航天、艦船制造等領域對于強度高、耐磨性好的鈦及鈦合金液壓缸的需求，鈦及鈦合金的傳動件大量使用，通常鈦及鈦合金的比強度高，耐蝕性能優異，因此，對于航空航天零件的減重和使用壽命都有很好的提高。但鈦及鈦合金表面硬度低，耐摩性能差，對黏著磨損較敏感，在大扭矩重載荷等條件下使用會因局部摩擦磨損使得零件失效，隨著黏著現象持續發生以及粘著區域增大時，會導致鈦及鈦合金零件完全咬死而造成構件失效。為此，科研人員研究了包括材料表面改性、多元素硬化復合膜層的方法阻止鈦及鈦合金零件間以及鈦合金與其他金屬零件間發生磨損黏著失效，達到鈦及鈦合金零件在大扭矩重載荷頻繁往復使用條件下中長期服役的目的。
[0003]目前，針對鈦及鈦合金表面硬化提高耐磨性能防咬死的問題，出現了很多方法，比如采用超音速火焰噴涂WC膜層；采用微弧氧化處理生成鈦的氧化物膜層、采用真空條件下滲碳處理制備TiC膜層等，但受鈦合金液壓缸使用環境和零件外型復雜的限制，難以取得滿意的效果。比如超音速火焰噴涂處理難以對深孔內壁鈦及鈦合金零件表面噴涂膜層，微弧氧化膜層使用壽命短光潔度低，重載下易脫落失效；真空條件下滲碳會有氫元素影響鈦及鈦合金力學性能，都限制了鈦合金液壓缸的制造和使用，無法滿足鈦及鈦合金液壓缸更高的使用需求。
【發明內容】
[0004]本發明所要解決的技術問題在于針對上述現有技術的不足，提供一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法。該方法采用雙層輝光等離子表面冶金技術在鈦及鈦合金液壓缸內表面制備一層結合強度高，長壽命耐磨損的復合涂層，達到鈦及鈦合金液壓缸防咬死目的，是一種更有效的方法，制備的復合膜層表面硬度達到100Hv以上，同時具有較好的化學穩定性，與鈦及鈦合金有良好的冶金相容性；可有效的避免鈦及鈦合金咬合鎖死的問題，能延長鈦及鈦合金在大扭矩重載、往復摩擦等惡劣環境下的服役壽命，滿足特殊、惡劣工況條件下液壓缸長壽命可靠使用的要求。
[0005]為解決上述技術問題，本發明采用的技術方案是:一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，該方法包括以下步驟:
[0006]步驟一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后去除經拋光處理后的液壓缸缸筒表面的油污，再對去除油污后的液壓缸缸筒進行脫水處理；所述液壓缸缸筒的材質為鈦或鈦合金；
[0007]步驟二、將步驟一中經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極和陰極在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；所述陰極的加載電壓為200V?400V ;所述雙層輝光離子滲金屬爐爐內的氬氣氣壓為20Pa?40Pa，爐內的溫度為200°C?400°C ;所述轟擊活化的時間為15min?20min ；
[0008]步驟三、步驟二中所述轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，在雙層輝光離子滲金屬爐的爐壓為20Pa?50Pa，爐溫為900°C?1000°C的條件下，利用陽極和石墨源極以及陽極和陰極在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到復合膜層；所述石墨源極的加載電壓為650V?850V，陰極的加載電壓為300V?500V，碳氧共滲的時間為2h?5h。
[0009]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟二中所述石墨源極為空心石墨。
[0010]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟二中所述石墨源極的外壁形狀與液壓缸缸筒的內壁形狀相同。
[0011]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，所述石墨源極外壁與液壓缸缸筒內壁之間的距離為5mm?20mm。
[0012]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述混合氣體中氬氣和氧氣的體積比為1: (I?3)。
[0013]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述雙層輝光離子滲金屬爐采用脈沖離子源電源，所述脈沖離子源電源的占空比為40%?60%，頻率為 45kHz ?60kHz。
[0014]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述石墨源極和陰極的電壓差為200V?400V。
[0015]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述復合膜層的厚度為30 μ m?100 μ m。
[0016]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，所述復合膜層主要由TiC、Ti30和T12組成。
[0017]上述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，所述復合膜層中TiC的質量百分含量為45%?55%，Ti3O的質量百分含量為25%?35%，T12的質量百分含量為15%?25%。
[0018]本發明與現有技術相比具有以下優點:
[0019]1、本發明采用雙層輝光等離子表面冶金技術在鈦及鈦合金液壓缸內表面制備一層結合強度高，長壽命耐磨損的復合涂層，達到鈦及鈦合金液壓缸防咬死目的，是一種更有效的方法。
[0020]2、本發明首先利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在IS氣氣氛的高壓電場下產生輝光效應，對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化，破壞液壓缸缸筒內表面的鈍化層，實現液壓缸缸筒內表面的活化；然后利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和石墨源極以及陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在IS氣和氧氣混合氣氛的高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面形成由Tic、Ti3O和T12組成的復合膜層，制備的復合膜層表面硬度達到100Hv以上，同時具有較好的化學穩定性，與鈦及鈦合金有良好的冶金相容性。
[0021]3、本發明通過控制石墨源極外壁與陰極(液壓缸缸筒)內壁之間的距離，以及石墨源極與陰極(液壓缸缸筒)的電壓差，可以得到不同厚度的耐磨膜層；在制備相同厚度的膜層時，增大電壓差和減小極間距可以有效減少膜層制備時間，提高膜層制備效率。
[0022]4、本發明的石墨源極優選空心石墨，空心石墨在一定電壓下可以廣生等電位空心陰極效應和不等電位空心陰極效應，使氬氣和氧氣離解，離解的氬離子和氧離子不斷轟擊石墨源極，從而濺射出大量的活性碳離子、原子或原子團，在負偏壓的作用下，加速到達試樣表面，使液壓缸筒加快升溫到所需溫度，依靠轟擊與擴散獲得耐磨膜層。
[0023]5、采用本發明的方法制備的復合膜層結合強度高、耐磨性能好，可有效的避免鈦及鈦合金咬合鎖死的問題，能延長鈦及鈦合金在大扭矩重載、往復摩擦等惡劣環境下的服役壽命，滿足特殊、惡劣工況條件下液壓缸長壽命可靠使用的要求。
[0024]下面結合附圖和實施例，對本發明技術方案做進一步的詳細說明。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0025]圖1為本發明實施例1中未經硬化的液壓缸缸筒內表面和硬化后的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數測試曲線。
[0026]圖2為本發明實施例1制備的復合膜層的XRD圖譜。
【具體實施方式】
[0027]實施例1
[0028]步驟一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后將經拋光處理后的液壓缸缸筒浸泡于40°C?60°C工業清洗劑溶液中進行超聲波除油清洗去除液壓缸缸筒表面的油污，再采用乙醇沖洗后熱風干燥的方法對去除油污后的液壓缸缸筒進行脫水處理；所述液壓缸缸筒的材質為TC6鈦合金；所述拋光處理的具體過程為:先采用80目尼龍輪配合Al2O3拋光蠟拋光15min，拋光機轉速1000r/min ;然后采用240目布輪配合Al2O3拋光蠟拋光30min，拋光機轉速1800r/min ;最后采用紡布輪配合鈦拋光蠟拋光30min，設備轉速2200r/min ；
[0029]步驟二、將步驟一中經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；所述陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為400V;所述雙層輝光離子滲金屬爐爐內的氬氣氣壓為25Pa，爐內的溫度為300°C;所述轟擊活化的時間為20min ;所述石墨源極為空心石墨，石墨源極的外壁形狀與液壓缸缸筒的內壁形狀相同，石墨源極外壁與液壓缸缸筒內壁之間的距離為15_ ；
[0030]步驟三、步驟二中所述轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，混合氣體中氬氣和氧氣的體積比為1:2，在雙層輝光離子滲金屬爐的爐壓為45Pa，爐溫為940°C的條件下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和石墨源極以及陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到厚度為80 μ m的復合膜層；所述石墨源極的加載電壓為700V，陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為500V，碳氧共滲的時間為4h ;所述雙層輝光離子滲金屬爐采用脈沖離子源電源，所述脈沖離子源電源的占空比為55%，頻率為 50kHz。
[0031]對未經硬化的液壓缸缸筒內表面和本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面進行摩擦系數測試，結果見圖1。圖中a為未經硬化的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數測試曲線，b為本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數測試曲線，從圖中可以看出，在相同摩擦磨損條件下，經本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數遠低于未經硬化的液壓缸缸筒內表面，液壓缸缸筒內表面的復合膜層能夠長時間保持較低的摩擦系數可以有效的保證液壓缸具有長壽命防咬死的性能。
[0032]對本實施例制備的復合膜層進行X射線衍射分析，結果見圖2，從圖中可以看出，本實施例制備的復合膜層主要由TiC、Ti30和T12組成，復合膜層中TiC的質量百分含量約為50%，Ti3O的質量百分含量約為30%，T12的質量百分含量約為20% (其他雜質含量不計)。
[0033]實施例2
[0034]步驟一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后將經拋光處理后的液壓缸缸筒浸泡于丙酮中進行超聲波除油清洗去除液壓缸缸筒表面的油污，再采用干燥箱干燥的方法對去除油污后的液壓缸缸筒進行脫水處理；所述液壓缸缸筒的材質為TAl純鈦；所述拋光處理的具體過程為:先采用80目尼龍輪配合Al2O3拋光蠟拋光lOmin，拋光機轉速100r/min ;然后采用240目布輪配合Al2O3拋光臘拋光20min,拋光機轉速1800r/min ;最后采用紡布輪配合鈦拋光蠟拋光20min，設備轉速2200r/min ；
[0035]步驟二、將步驟一中經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；所述陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為300V;所述雙層輝光離子滲金屬爐爐內的氬氣氣壓為30Pa，爐內的溫度為200°C;所述轟擊活化的時間為15min ;所述石墨源極為空心石墨，石墨源極的外壁形狀與液壓缸缸筒的內壁形狀相同，石墨源極外壁與液壓缸缸筒內壁之間的距離為10_ ；
[0036]步驟三、步驟二中所述轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，混合氣體中氬氣和氧氣的體積比為1:1，在雙層輝光離子滲金屬爐的爐壓為20Pa，爐溫為1000°C的條件下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和石墨源極以及陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到厚度為30 μ m的復合膜層；所述石墨源極的加載電壓為650V，陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為300V，碳氧共滲的時間為2h ;所述雙層輝光離子滲金屬爐采用脈沖離子源電源，所述脈沖離子源電源的占空比為40%，頻率為45kHz。
[0037]對未經硬化的液壓缸缸筒內表面和本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面進行摩擦系數測試，在相同摩擦磨損條件下，經本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數遠低于未經硬化的液壓缸缸筒內表面，液壓缸缸筒內表面的復合膜層能夠長時間保持較低的摩擦系數可以有效的保證液壓缸具有長壽命防咬死的性能。
[0038]對本實施例制備的復合膜層進行X射線衍射分析，結果顯示，本實施例制備的復合膜層主要由TiC、Ti30和T12組成，復合膜層中TiC的質量百分含量約為55% ,Ti3O的質量百分含量約為25%，T12的質量百分含量約為20% (其他雜質含量不計)。
[0039]實施例3
[0040]步驟一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后將經拋光處理后的液壓缸缸筒浸泡于40°C?60°C工業清洗劑溶液中進行超聲波除油清洗去除液壓缸缸筒表面的油污，再采用乙醇沖洗后熱風干燥的方法對去除油污后的液壓缸缸筒進行脫水處理；所述液壓缸缸筒的材質為TC4鈦合金；所述拋光處理的具體過程為:先采用80目尼龍輪配合Al2O3拋光蠟拋光20min，拋光機轉速1000r/min ;然后采用240目布輪配合Al2O3拋光蠟拋光25min，拋光機轉速1800r/min ;最后采用紡布輪配合鈦拋光蠟拋光30min，設備轉速2200r/min ；
[0041]步驟二、將步驟一中經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；所述陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為350V ;所述雙層輝光離子滲金屬爐爐內的氬氣氣壓為20Pa，爐內的溫度為350°C;所述轟擊活化的時間為18min ;所述石墨源極為空心石墨，石墨源極的外壁形狀與液壓缸缸筒的內壁形狀相同，石墨源極外壁與液壓缸缸筒內壁之間的距離為20_ ；
[0042]步驟三、步驟二中所述轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，混合氣體中氬氣和氧氣的體積比為1:3，在雙層輝光離子滲金屬爐的爐壓為50Pa，爐溫為900°C的條件下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和石墨源極以及陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到厚度為100 μ m的復合膜層；所述石墨源極的加載電壓為850V，陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為400V，碳氧共滲的時間為5h ;所述雙層輝光離子滲金屬爐采用脈沖離子源電源，所述脈沖離子源電源的占空比為60%，頻率為 60kHz。
[0043]對未經硬化的液壓缸缸筒內表面和本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面進行摩擦系數測試，在相同摩擦磨損條件下，經本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數遠低于未經硬化的液壓缸缸筒內表面，液壓缸缸筒內表面的復合膜層能夠長時間保持較低的摩擦系數可以有效的保證液壓缸具有長壽命防咬死的性能。
[0044]對本實施例制備的復合膜層進行X射線衍射分析，結果顯示，本實施例制備的復合膜層主要由TiC、Ti30和T12組成，復合膜層中TiC的質量百分含量約為45% ,Ti3O的質量百分含量約為30%，T12的質量百分含量約為25% (其他雜質含量不計)。
[0045]實施例4
[0046]步驟一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后將經拋光處理后的液壓缸缸筒浸泡于丙酮中進行超聲波除油清洗去除液壓缸缸筒表面的油污，再采用干燥箱干燥的方法對去除油污后的液壓缸缸筒進行脫水處理；所述液壓缸缸筒的材質為TC4鈦合金；所述拋光處理的具體過程為:先采用80目尼龍輪配合Al2O3拋光蠟拋光20min，拋光機轉速100r/min ;然后采用240目布輪配合Al2O3拋光臘拋光20min,拋光機轉速1800r/min ;最后采用紡布輪配合鈦拋光蠟拋光25min，設備轉速2200r/min ；
[0047]步驟二、將步驟一中經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；所述陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為200V ;所述雙層輝光離子滲金屬爐爐內的氬氣氣壓為40Pa，爐內的溫度為400°C;所述轟擊活化的時間為18min ;所述石墨源極為空心石墨，石墨源極的外壁形狀與液壓缸缸筒的內壁形狀相同，石墨源極外壁與液壓缸缸筒內壁之間的距離為5_ ；
[0048]步驟三、步驟二中所述轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，混合氣體中氬氣和氧氣的體積比為1:2.5，在雙層輝光離子滲金屬爐的爐壓為45Pa，爐溫為980°C的條件下，利用陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和石墨源極以及陽極(雙層輝光離子滲金屬爐爐體)和陰極(液壓缸缸筒)在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到厚度為100 μ m的復合膜層；所述石墨源極的加載電壓為800V，陰極(液壓缸缸筒)的加載電壓為400V，碳氧共滲的時間為5h ;所述雙層輝光離子滲金屬爐采用脈沖離子源電源，所述脈沖離子源電源的占空比為60%，頻率為60kHz。
[0049]對未經硬化的液壓缸缸筒內表面和本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面進行摩擦系數測試，在相同摩擦磨損條件下，經本實施例硬化后的液壓缸缸筒內表面的摩擦系數遠低于未經硬化的液壓缸缸筒內表面，液壓缸缸筒內表面的復合膜層能夠長時間保持較低的摩擦系數可以有效的保證液壓缸具有長壽命防咬死的性能。
[0050]對本實施例制備的復合膜層進行X射線衍射分析，結果顯示，本實施例制備的復合膜層主要由TiC、Ti30和T12組成，復合膜層中TiC的質量百分含量約為50% ,Ti3O的質量百分含量約為35%，T12的質量百分含量約為15% (其他雜質含量不計)。
[0051]以上所述，僅是本發明的較佳實施例，并非對本發明做任何限制，凡是根據發明技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、變更以及等效結構變化，均仍屬于本發明技術方案的保護范圍內。
【權利要求】
1.一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，該方法包括以下步驟: 步驟一、對液壓缸缸筒內表面進行拋光處理，然后去除經拋光處理后的液壓缸缸筒表面的油污，再對去除油污后的液壓缸缸筒進行脫水處理；所述液壓缸缸筒的材質為鈦或鈦合金； 步驟二、將步驟一中經脫水處理后的液壓缸缸筒作為陰極置于雙層輝光離子滲金屬爐中，將石墨源極置于液壓缸缸筒內，在氬氣氣氛下，利用陽極和陰極在高壓電場下產生輝光對液壓缸缸筒內表面進行轟擊活化；所述陰極的加載電壓為2007?4007 ；所述雙層輝光離子滲金屬爐爐內的氬氣氣壓為20？3?40？3，爐內的溫度為2001?4001 ；所述轟擊活化的時間為 15111111 ?20111111 ； 步驟三、步驟二中所述轟擊活化結束后，向雙層輝光離子滲金屬爐中通入氬氣和氧氣的混合氣體，在雙層輝光離子滲金屬爐的爐壓為20？3?50？3，爐溫為9001?10001的條件下，利用陽極和石墨源極以及陽極和陰極在高壓電場下產生雙層輝光對液壓缸缸筒內表面進行碳氧共滲，在液壓缸缸筒內表面得到復合膜層；所述石墨源極的加載電壓為650乂?8507,陰極的加載電壓為3007?5007，碳氧共滲的時間為2卜?5匕。
2.根據權利要求1所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟二中所述石墨源極為空心石墨。
3.根據權利要求1所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟二中所述石墨源極的外壁形狀與液壓缸缸筒的內壁形狀相同。
4.根據權利要求3所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，所述石墨源極外壁與液壓缸缸筒內壁之間的距離為5皿?20皿。
5.根據權利要求1所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述混合氣體中氬氣和氧氣的體積比為1: (1?3)。
6.根據權利要求1所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述雙層輝光離子滲金屬爐采用脈沖離子源電源，所述脈沖離子源電源的占空比為40 %?60 %，頻率為45詘2?60詘2。
7.根據權利要求1所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述石墨源極和陰極的電壓差為2007?400乂。
8.根據權利要求1所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，步驟三中所述復合膜層的厚度為30 4 III?100 4 III。
9.根據權利要求8所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，所述復合膜層主要由打匕!！#和！'102組成。
10.根據權利要求9所述的一種鈦及鈦合金液壓缸缸筒內表面的硬化方法，其特征在于，所述復合膜層中IX的質量百分含量為45%?55%，1130的質量百分含量為25%?35%，1102的質量百分含量為15%?25%。
【文檔編號】C23C8/36GK104388891SQ201410736880
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2014年12月5日 優先權日:2014年12月5日
【發明者】羅小峰, 王寶云, 高廣睿, 李爭顯, 屈靜 申請人:西安賽福斯材料防護有限責任公司