一種區熔料棒多功能加工的制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種區熔料棒多功能加工機,包括機床、工作臺、料棒固定裝置和料棒加工裝置,工作臺通過機床導軌裝配在機床上并可在機床上做水平方向的往復運動,料棒固定裝置裝配在工作臺的軸向工作臺導軌上,料棒加工裝置裝配在機床徑向的一側,所述的料棒加工裝置包括磨削部件和徑向進給平臺,徑向進給平臺的上表面設有徑向進給導軌,其特征在于:所述的料棒加工裝置還包括開槽部件、斜向進給平臺和加工平臺,斜向進給平臺的上表面設有斜向進給導軌,斜向進給導軌與徑向進給導軌在水平面上形成45°的夾角,所述的磨削部件和開槽部件固定在加工平臺上。本實用新型的有益效果:可精確、快速實現長度不等的區熔料棒的磨圓、磨錐和開槽的加工操作。
【專利說明】—種區熔料棒多功能加工機
【技術領域】
[0001]本實用新型涉及半導體行業的高純硅區熔料棒加工裝置,尤其是一種區熔料棒多功能加工機。
【背景技術】
[0002]目前,市場上并無區熔料棒專用的加工機床,一般都是傳統的外圓磨床,靠橫向導軌的雙層工作臺實現區熔料棒的加工,當工作臺與導軌運行方向一致時,區熔料棒滾磨為圓柱形,當轉動上層工作臺與導軌成一定角度時,區熔料棒加工為錐度,錐角即為工作臺與導軌夾角2倍,但是操作中需反復進行調整,并且區熔料棒滾圓部分易產生錐度偏差,使加工效率較低,而傳統的磨錐定心方式采用表面靜摩擦方式,不適宜潔凈要求的料棒加工。
實用新型內容
[0003]本實用新型的目的是提供一種專用的可進行磨圓、磨錐、開槽的區熔料棒多功能加工機。
[0004]為了完成上述目的,本實用新型采用的技術方案是:
[0005]一種區熔料棒多功能加工機,包括機床、工作臺、料棒固定裝置和料棒加工裝置,工作臺通過機床導軌裝配在機床上并可在機床上做水平方向的往復運動,料棒固定裝置裝配在工作臺的軸向工作臺導軌上,料棒加工裝置裝配在機床徑向的一側,所述的料棒加工裝置包括磨削部件和徑向進給平臺,徑向進給平臺的上表面設有徑向進給導軌,所述的料棒加工裝置還包括開槽部件、斜向進給平臺和加工平臺,斜向進給平臺的上表面設有斜向進給導軌,斜向進給導軌與徑向進給導軌在水平面上形成45°的夾角,所述的磨削部件和開槽部件固定在加工平臺上。
[0006]所述的料棒加工裝置為多層平臺結構,所述的徑向進給平臺設置在下層,所述的斜向進給平臺設置在中間層,斜向進給平臺的底部與徑向進給平臺上的徑向進給導軌相配合,所述的加工平臺設置在上層,加工平臺的底部與斜向進給平臺上的斜向進給導軌相配
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[0007]所述的料棒固定裝置包括主動固定座、從動調整座和料棒旋轉電機,料棒旋轉電機與主動固定座相連并驅動主動固定座帶動料棒工件轉動,主動固定座通過固定螺栓固定在工作臺導軌的一端,從動調整座可在工作臺導軌上做軸向移動并通過固定螺栓固定。
[0008]所述的主動固定座和從動調整座都設有卡固料棒工件的料棒固定部件,主動固定座和從動調整座的料棒固定部件的軸心都位于同一個水平軸線上,所述的料棒固定部件為自定心三爪卡盤。
[0009]所述的自定心三爪卡盤的盤面圓心部位設有大孔徑的通孔,通孔的直徑大于等于料棒工件的直徑。
[0010]所述的工作臺導軌為滾珠式導軌。
[0011]本實用新型的有益效果是:可以精確、快速實現長度不等的區熔料棒的磨圓、磨錐 和開槽的加工操作。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0012]圖1是本實用新型的俯視圖。
[0013]圖2是本實用新型中機床、工作臺和料棒固定裝置的結構示意圖。
[0014]圖中,1、機床,2、工作臺,3、磨削部件,4、徑向進給平臺,5、開槽部件,6、斜向進給平臺,7、加工平臺,8、主動固定座,9、從動調整座,10、料棒旋轉電機,11、料棒工件,12、料棒固定部件。
【具體實施方式】
[0015]本實用新型為一種區熔料棒多功能加工機,可以精確、快速實現長度不等的區熔料棒的磨圓、磨錐和開槽的加工操作。
[0016]下面結合附圖對本實用新型做進一步說明。
[0017]具體實施例,如圖1、圖2所示,一種區熔料棒多功能加工機,包括機床1、工作臺2、料棒固定裝置和料棒加工裝置,工作臺2通過機床導軌裝配在機床I上并可在機床I上做水平方向的往復運動,料棒固定裝置裝配在工作臺2的軸向工作臺導軌上,所述的工作臺導軌為滾珠式導軌,料棒加工裝置裝配在機床I徑向的一側,所述的料棒加工裝置包括磨削部件3和徑向進給平臺4,徑向進給平臺4的上表面設有徑向進給導軌,所述的料棒加工裝置還包括開槽部件5、斜向進給平臺6和加工平臺7,斜向進給平臺6的上表面設有斜向進給導軌,斜向進給導軌與徑向進給導軌在水平面上形成45°的夾角,所述的磨削部件3和開槽部件5固定在加工平臺7上。
[0018]所述的料棒加工裝置為多層平臺結構,所述的徑向進給平臺4設置在下層,所述的斜向進給平臺6設置在中間層,斜向進給平臺6的底部與徑向進給平臺4上的徑向進給導軌相配合,所述的加工平臺7設置在上層,加工平臺7的底部與斜向進給平臺6上的斜向進給導軌相配合。
[0019]所述的料棒固定裝置包括主動固定座8、從動調整座9和料棒旋轉電機10,料棒旋轉電機10與主動固定座8相連并驅動主動固定座8帶動料棒工件11轉動,主動固定座8通過固定螺栓固定在工作臺導軌的一端,從動調整座9可在工作臺導軌上做軸向移動并通過固定螺栓固定;所述的主動固定座8和從動調整座9都設有卡固料棒工件11的料棒固定部件12,主動固定座8和從動調整座9的料棒固定部件12的軸心都位于同一個水平軸線上,所述的料棒固定部件12為自定心三爪卡盤;所述的自定心三爪卡盤的盤面圓心部位設有大孔徑的通孔,通孔的直徑大于等于料棒工件11的直徑。
[0020]當需要對料棒工件11進行磨圓加工時,將主動固定座8和從動調整座9在需要加工的長度固定,將料棒工件11穿過自定心三爪卡盤盤面圓心的通孔,然后將主動固定座8和從動調整座9的料棒固定部件12進行定心操作并將料棒工件11固定,啟動料棒旋轉電機10使主動固定座8轉動并帶動從動調整座9進行轉動,將加工平臺7進行調整使其沿徑向進給平臺4上的徑向進給導軌移動,當加工平臺7移動到適當位置時,工作臺2做往復運動使磨削部件3對料棒工件11進行磨圓加工。
[0021]當需要對料棒工件11進行磨錐加工時,將加工平臺7進行調整使其沿斜向進給平臺6上的斜向進給導軌移動,當加工平臺7移動到適當位置時,加工平臺7上固定的削部件3對料棒工件11進行磨錐加工。
[0022]當需要對料棒工件11進行開槽加工時,將加工平臺7進行調整使其沿徑向進給平臺4上的徑向進給導軌移動,當開槽部件5移動到適當位置時,料棒工件11進行軸向轉動即可完成開槽加工。
[0023]將料棒固定裝置的料棒固定部件12進行改進,使用盤面圓心帶有通孔的自定心三爪卡盤,可以方便的對長度較長的料棒進行加工;將料棒加工裝置設為多層平臺結構,徑向進給平臺4、斜向進給平臺6可以自如的調整,使加工時避免了很多重復操作,提高了工作效率;加裝了開槽部件5,可以使本實用新型精確、快速實現長度不等的區熔料棒的磨圓、磨錐和開槽的加工操作。
【權利要求】
1.一種區熔料棒多功能加工機,包括機床(I)、工作臺(2)、料棒固定裝置和料棒加工裝置,工作臺(2)通過機床導軌裝配在機床(I)上并可在機床(I)上做水平方向的往復運動,料棒固定裝置裝配在工作臺(2 )的軸向工作臺導軌上,料棒加工裝置裝配在機床(I)徑向的一側,所述的料棒加工裝置包括磨削部件(3)和徑向進給平臺(4),徑向進給平臺(4)的上表面設有徑向進給導軌,其特征在于:所述的料棒加工裝置還包括開槽部件(5)、斜向進給平臺(6)和加工平臺(7),斜向進給平臺(6)的上表面設有斜向進給導軌,斜向進給導軌與徑向進給導軌在水平面上形成45°的夾角,所述的磨削部件(3)和開槽部件(5)固定在加工平臺(7)上。
2.根據權利要求1所述的一種區熔料棒多功能加工機,其特征在于:所述的料棒加工裝置為多層平臺結構,所述的徑向進給平臺(4)設置在下層,所述的斜向進給平臺(6)設置在中間層,斜向進給平臺(6)的底部與徑向進給平臺(4)上的徑向進給導軌相配合,所述的加工平臺(7)設置在上層,加工平臺(7)的底部與斜向進給平臺(6)上的斜向進給導軌相配口 ο
3.根據權利要求1所述的一種區熔料棒多功能加工機,其特征在于:所述的料棒固定裝置包括主動固定座(8 )、從動調整座(9 )和料棒旋轉電機(10 ),料棒旋轉電機(10 )與主動固定座(8)相連并驅動主動固定座(8)帶動料棒工件(11)轉動,主動固定座(8)通過固定螺栓固定在工作臺導軌的一端,從動調整座(9)可在工作臺導軌上做軸向移動并通過固定螺栓固定。
4.根據權利要求3所述的一種區熔料棒多功能加工機,其特征在于:所述的主動固定座(8)和從動調整座(9)都設有卡固料棒工件(11)的料棒固定部件(12),主動固定座(8)和從動調整座(9)的料棒固定部件(12)的軸心都位于同一個水平軸線上,所述的料棒固定部件(12)為自定心三爪卡盤。
5.根據權利要求4所述的一種區熔料棒多功能加工機,其特征在于:所述的自定心三爪卡盤的盤面圓心部位設有大孔徑的通孔,通孔的直徑大于等于料棒工件(11)的直徑。
6.根據權利要求1所述的一種區熔料棒多功能加工機,其特征在于:所述的工作臺導軌為滾珠式導軌。
【文檔編號】B24B5/36GK203390668SQ201320466987
【公開日】2014年1月15日 申請日期:2013年8月1日 優先權日:2013年8月1日
【發明者】曹中謙, 范玉紅, 趙世鋒, 李寧, 荊新杰, 范進江 申請人:陽光硅峰電子科技有限公司