車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法，其裝置包括呈直線式連續(xù)排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機構(gòu)；多個真空室兩端分別設(shè)有通過輸送帶連接的前旋轉(zhuǎn)臺和后旋轉(zhuǎn)臺；其方法是將車燈玻璃工件依次送入各個工藝段相應(yīng)的真空室進行處理，通過前選擇轉(zhuǎn)臺、輸送帶和后旋轉(zhuǎn)臺實現(xiàn)工件架的輸送。本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置呈連續(xù)式的直線結(jié)構(gòu)，將各個工藝段分開在獨立的真空室內(nèi)進行，可使工件在較好的真空氣氛內(nèi)加工，避免因真空氣氛被破壞或真空度達不到要求而引起的產(chǎn)品質(zhì)量問題，有效提高工件質(zhì)量，降低工件加工成本。
【專利說明】車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及車燈玻璃鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置及方法。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)用于車燈玻璃鍍膜的設(shè)備一般為單真空室設(shè)備，工件的整個鍍膜工藝(包括抽氣、離子清洗、鍍膜、鍍保護層等)均在同一真空室內(nèi)完成，由于各工序?qū)φ婵帐业恼婵斩纫蟾鞑幌嗤?，因此，該設(shè)備在實際生產(chǎn)應(yīng)用中存在以下缺陷:
[0003](I)由于工件的整個鍍膜工藝均在同一真空室內(nèi)完成，使得該真空室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，真空室內(nèi)的真空度也必須按最高要求設(shè)備，設(shè)備維護成本相當(dāng)高；
[0004](2)該設(shè)備 只設(shè)有一個真空室，當(dāng)工件加工完成后，必須打開真空室才能更換工件，這就容易破壞整個鍍膜工藝的真空氣氛，影響后續(xù)鍍膜工藝的正常進行，也容易影響產(chǎn)品質(zhì)量；同時，該真空室內(nèi)無法完成工件表面的清潔即沉積等工藝，對工件的表面處理工藝必須采用其它專用設(shè)備完成，這就加大了工藝的復(fù)雜性，工件的表面質(zhì)量也難以得到較好的控制。
[0005](3)傳統(tǒng)的單真空室設(shè)備中普遍采用平面靶作為鍍膜靶材，由于車燈玻璃帶有弧形面，所以經(jīng)常存在工件表面鍍膜不均勻的現(xiàn)象。
[0006]另外，目前常用于鍍膜機真空室的真空插板閥一般為翻板式結(jié)構(gòu)，即通過翻轉(zhuǎn)閥板實現(xiàn)真空室工件通孔的啟閉，但該結(jié)構(gòu)的真空插板閥中，由于閥板采用翻轉(zhuǎn)式，所占的空間較大，真空插板閥關(guān)閉時由于閥板靠自重?fù)踝」ぜ祝瑩醢宓撞繘]有相應(yīng)的固定機構(gòu)，其密封效果不好；另外，真空插板閥必須設(shè)于真空室內(nèi)部，其加工難度大，閥板易變形，日常的維護也相當(dāng)困難。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種原理簡單、工件表面鍍膜效果較好的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置。
[0008]本發(fā)明的另一目的在于提供一種通過上述裝置實現(xiàn)的車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法。
[0009]本發(fā)明的技術(shù)方案為:車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，包括呈直線式連續(xù)排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機構(gòu)；第一個真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺，最后一個真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺，前旋轉(zhuǎn)臺與后旋轉(zhuǎn)臺之間通過輸送帶連接，前旋轉(zhuǎn)臺、多個真空室和后旋轉(zhuǎn)臺之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。
[0010]按照玻璃工件的輸送方向，所述多個真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、如精抽室、王鍛I吳室、保護層鍛I吳室、后精抽室和后粗抽室；
[0011]前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥，保護層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥；
[0012]前粗抽室外接第一抽真空機構(gòu)，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機構(gòu)，前精抽室、主鍍膜室和保護層鍍膜室分別外接第三抽真空機構(gòu)，后粗抽室外接第四抽真空機構(gòu)；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨立的擴散泵，并通過擴散泵外接相應(yīng)的抽真空機構(gòu)。
[0013]所述主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。采用旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶作為鍍膜靶材，可實現(xiàn)工件表面均勻鍍膜，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0014]所述前旋轉(zhuǎn)臺呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺的圓周方向上均勻分布有多個工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺相同；前旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有卸件工位。前旋轉(zhuǎn)臺及后旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)配合多個真空室的分布，可使整個鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)更緊湊，形成的循環(huán)系統(tǒng)可有效提高設(shè)備的機械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。
[0015]所述真空插板閥包括閥板、閥板開關(guān)氣缸和閥板鎖緊機構(gòu)，兩個真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運動通道，閥板運動通道貼緊于其中一個真空室的工件通孔，閥板設(shè)于閥板運動通道內(nèi)。
[0016]所述閥板開關(guān)氣缸設(shè)于閥板運動通道外端，閥板開關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運動通道，且閥板開關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機構(gòu)連接。
[0017]所述閥板鎖緊機構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉(zhuǎn)軸`，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸；
[0018]閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)；
[0019]閥板壓緊氣缸的運動方向與閥板開關(guān)氣缸的運動方向互相垂直。
[0020]其中，鎖緊轉(zhuǎn)軸的主要作用是擠壓閥板，使閥板與真空室的外壁貼緊密封。為了使閥板受力更均勻，閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂。其中，輔助壓緊臂的結(jié)構(gòu)可與閥板壓緊臂相同。此時，鎖緊轉(zhuǎn)軸還起到帶動輔助壓緊臂壓緊閥板的作用。
[0021]各個真空插板閥采用相同的結(jié)構(gòu)設(shè)計，可有效簡化鍍膜裝置結(jié)構(gòu)，降低鍍膜裝置的制造成本。各真空插板閥使用時，其原理是:當(dāng)需要關(guān)閉真空插板閥時，閥板開關(guān)氣缸動作，推動閥板沿著閥板運動通道運動；閥板運動至封住真空室的工件通孔后，閥板鎖緊機構(gòu)中的閥板壓緊氣缸動作，推動相應(yīng)的閥板壓緊臂壓緊閥板頂部，閥板壓緊臂帶動鎖緊轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)并擠壓閥板的板面，使閥板與工件通孔周圍的真空室外壁密封連接，從而起到密封作用。設(shè)置兩組閥板鎖緊機構(gòu)，其目的是使閥板受力平衡，有效提高其密封效果。根據(jù)閥板的實際大小，也可相應(yīng)調(diào)整閥板鎖緊機構(gòu)的數(shù)量。
[0022]本發(fā)明通過上述裝置實現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，包括以下步驟:[0023](I)帶有車燈玻璃工件的工件架進入前旋轉(zhuǎn)臺上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥打開，前旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥；
[0024](2)第一抽真空機構(gòu)對前粗抽室內(nèi)進行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達到50Pa ；
[0025](3)第二真空插板閥打開，工件架進入離子清洗室，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對車燈玻璃工件進行離子清洗；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對離子清洗室內(nèi)進行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達到SXKT1Pa;
[0026](4)離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥打開，工件架進入前精抽室，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對前精抽室內(nèi)進行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達到5 X 10_2Pa ；
[0027](5)第四真空插板閥打開，工件架進入主鍍膜室，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對主鍍膜室內(nèi)進行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達到2 X KT1Pa ；
[0028](6)鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥打開，工件架進入保護層鍍膜室，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時開啟保護層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護層；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對保護層鍍膜室內(nèi)進行抽真空，直至保護層鍍膜室內(nèi)的真空度達到2 X KT1Pa ；
[0029](7)保護層鍍膜 完成后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥打開，工件架進入后精抽室，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對離子后精抽室內(nèi)進行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達到5 X KT2Pa ；
[0030](8)第四抽真空機構(gòu)對后粗抽室進行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達到IOPa ；然后第七真空插板閥打開，工件架進入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥；
[0031 ] (9)對后粗抽室進行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達到大氣平衡；然后打開第八真空插板閥，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜裝置。
[0032]本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果:
[0033]本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置呈連續(xù)式的直線結(jié)構(gòu)，將車燈玻璃鍍膜工藝的各個工序分開，并在獨立密封的真空室內(nèi)進行，可使工件在較好的真空氣氛內(nèi)進行加工，避免因真空氣氛被破壞或真空度達不到要求而引起的產(chǎn)品質(zhì)量問題，有效提高工件質(zhì)量，降低工件加工成本。
[0034]本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置中采用的真空插板閥結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，對鍍膜裝置中各個真空室可起到較好的隔離作用，可保證各個真空室內(nèi)的真空度可達到工藝要求，方便工藝控制、裝置日常維護及清洗等，可較好地保持裝置中各個真空室內(nèi)的真空氣氛，避免因真空氣氛被破壞所引起的產(chǎn)品質(zhì)量問題；相對于傳統(tǒng)的翻板式插板閥，該真空插板閥結(jié)構(gòu)簡單，占用空間小，密封效果也更好，應(yīng)用后可有效簡化整個鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)，也方便其工藝控制。
[0035]另外，本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置采用前旋轉(zhuǎn)臺和后旋轉(zhuǎn)臺配合多個真空室，可使整個鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)更緊湊，形成的循環(huán)系統(tǒng)可有效提高設(shè)備的機械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0036]圖1為本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0037]圖2為本車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置中真空插板閥的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0038]圖3為圖2的A-A方向視圖。
【具體實施方式】
[0039]下面結(jié)合實施例及附圖，對本發(fā)明作進一步的詳細說明，但本發(fā)明的實施方式不限于此。
[0040]實施例
[0041]本實施例一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，如圖1所示，包括呈直線式連續(xù)排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機構(gòu)；第一個真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺10，最后一個真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺11，前旋轉(zhuǎn)臺與后旋轉(zhuǎn)臺之間通過輸送帶12連接，前旋轉(zhuǎn)臺、多個真空室和后旋轉(zhuǎn)臺之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。
[0042]按照玻璃工件的輸送方向，多個真空室包括依次連接的前粗抽室13、離子清洗室14、前精抽室15、主鍍膜室16、保護層鍍膜室17、后精抽室18和后粗抽室19 ；
[0043]前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥20，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥21，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥22，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥23，主鍍膜室與保護層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥24，保護層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥25，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥26，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥27 ；
[0044]前粗抽室外接第一抽真空機構(gòu)28，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機構(gòu)29，前精抽室、主鍍膜室和保護層鍍膜室分別外接第三抽真空機構(gòu)30，后粗抽室外接第四抽真空機構(gòu)31 ;離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨立的擴散泵，并通過擴散泵外接相應(yīng)的抽真空機構(gòu)。
[0045]其中，各抽真空機構(gòu)可采用傳統(tǒng)的抽真空裝置；第一抽真空機構(gòu)、第二抽真空機構(gòu)和第三抽真空機構(gòu)的參數(shù)根據(jù)相應(yīng)真空室的真空度要求進行調(diào)整即可。
[0046]主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。磁控濺射靶可采用市面已有的磁控濺射靶，采用旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶作為鍍膜靶材，可實現(xiàn)工件表面均勻鍍膜，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
[0047]前旋轉(zhuǎn)臺呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺的圓周方向上均勻分布有多個工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺相同；前旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有卸件工位。前旋轉(zhuǎn)臺及后旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)配合多個真空室的分布，可使整個鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)更緊湊，形成的循環(huán)系統(tǒng)可有效提高設(shè)備的機械化程度，控制靈活，減少人工操作，降低誤差率及人工成本。
[0048]真空插板閥包括閥板2、閥板開關(guān)氣缸3和閥板鎖緊機構(gòu)，兩個真空室的工件通孔之間為連接通道4，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運動通道5，閥板運動通道貼緊于其中一個真空室的工件通孔6，閥板設(shè)于閥板運動通道內(nèi)。
[0049]閥板開關(guān)氣缸設(shè)于閥板運動通道外端，閥板開關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運動通道，且閥板開關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機構(gòu)連接。
[0050]閥板鎖緊機構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸7、閥板壓緊臂8和鎖緊轉(zhuǎn)軸9，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸；
[0051]閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)；
[0052]閥板壓緊氣缸的運動方向與閥板開關(guān)氣缸的運動方向互相垂直。
[0053]其中，鎖緊轉(zhuǎn)軸的主要作用是擠壓閥板，使閥板與真空室的外壁貼緊密封。為了使閥板受力更均勻，閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂。其中，輔助壓緊臂的結(jié)構(gòu)可與閥板壓緊臂相同。此時，鎖緊轉(zhuǎn)軸還起到帶動輔助壓緊臂壓緊閥板的作用。
[0054]各個真空插板閥采用相同的結(jié)構(gòu)設(shè)計，可有效簡化鍍膜裝置結(jié)構(gòu)，降低鍍膜裝置的制造成本。各真空插板閥使用時，其原理是:當(dāng)需要關(guān)閉真空插板閥時，閥板開關(guān)氣缸動作，推動閥板沿著閥板運動通道運動；閥板運動至封住真空室的工件通孔后，閥板鎖緊機構(gòu)中的閥板壓緊氣缸動作，推動相應(yīng)的閥板壓緊臂壓緊閥板頂部，閥板壓緊臂帶動鎖緊轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)并擠壓閥板的板面，使閥板與工件通孔周圍的真空室外壁密封連接，從而起到密封作用。設(shè)置兩組閥板鎖緊機構(gòu)，其目的是使閥板受力平衡，有效提高其密封效果。根據(jù)閥板的實際大小，也可相應(yīng)調(diào)整閥板鎖緊機構(gòu)的數(shù)量。
[0055]本實施例通過上述裝置實`現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，包括以下步驟:
[0056](I)帶有車燈玻璃工件的工件架I進入前旋轉(zhuǎn)臺10上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥20打開，前旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室13內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥；
[0057](2)第一抽真空機構(gòu)對前粗抽室內(nèi)進行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達到50Pa ；
[0058](3)第二真空插板閥21打開，工件架進入離子清洗室14，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對車燈玻璃工件進行離子清洗；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對離子清洗室內(nèi)進行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達到5 X KT1Pa ；
[0059](4)離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥22打開，工件架進入前精抽室15，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對前精抽室內(nèi)進行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達到5 X KT2Pa ；
[0060](5)第四真空插板閥23打開，工件架進入主鍍膜室16，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對主鍍膜室內(nèi)進行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達到2 X KT1Pa;
[0061](6)鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥24打開，工件架進入保護層鍍膜室17，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時開啟保護層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護層；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對保護層鍍膜室內(nèi)進行抽真空，直至保護層鍍膜室內(nèi)的真空度達到ZXlO-1Pa ；
[0062](7)保護層鍍膜完成后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥25打開，工件架進入后精抽室18，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對離子后精抽室內(nèi)進行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達到5 X KT2Pa ；
[0063](8)第四抽真空機構(gòu)對后粗抽室19進行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達到IOPa ;然后第七真空插板閥26打開，工件架進入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥；
[0064](9)對后粗抽室進行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達到大氣平衡；然后打開第八真空插板閥27，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺11上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜裝置。
[0065]如上所述，便可較好地實現(xiàn)本發(fā)明，上述實施例僅為本發(fā)明的較佳實施例，并非用來限定本發(fā)明的實施范圍；即凡依本
【發(fā)明內(nèi)容】
所作的均等變化與修飾，都為本發(fā)明權(quán)利要求所要求保護的范圍所涵 蓋。
【權(quán)利要求】
1.車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，包括呈直線式連續(xù)排列的多個真空室，第一個真空室的入口處、最后一個真空室的出口處以及任意相鄰的兩個真空室之間的連接處分別設(shè)有真空插板閥，各個真空室分別外接抽真空機構(gòu)；第一個真空室的入口端設(shè)有前旋轉(zhuǎn)臺，最后一個真空室的出口端設(shè)有后旋轉(zhuǎn)臺，前旋轉(zhuǎn)臺與后旋轉(zhuǎn)臺之間通過輸送帶連接，前旋轉(zhuǎn)臺、多個真空室和后旋轉(zhuǎn)臺之間形成連續(xù)式的循環(huán)系統(tǒng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，按照玻璃工件的輸送方向，所述多個真空室包括依次連接的前粗抽室、離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍛月吳室、后精抽室和后粗抽室； 前粗抽室的入口處設(shè)置第一真空插板閥，前粗抽室與離子清洗室的連接處設(shè)置第二真空插板閥，離子清洗室與前精抽室的連接處設(shè)置第三真空插板閥，前精抽室與主鍍膜室的連接處設(shè)置第四真空插板閥，主鍍膜室與保護層鍍膜室的連接處設(shè)置第五真空插板閥，保護層鍍膜室與后精抽室的連接處設(shè)置第六真空插板閥，后精抽室與后粗抽室的連接處設(shè)置第七真空插板閥，后粗抽室的出口處設(shè)置第八真空插板閥； 前粗抽室外接第一抽真空機構(gòu)，離子清洗室和后精抽室分別外接第二抽真空機構(gòu)，前精抽室、主鍍膜室和保護層鍍膜室分別外接第三抽真空機構(gòu)，后粗抽室外接第四抽真空機構(gòu)；離子清洗室、前精抽室、主鍍膜室、保護層鍍膜室和后精抽室分別設(shè)有獨立的擴散泵，并通過擴散泵外接相應(yīng)的抽真空機構(gòu)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述主鍍膜室內(nèi)設(shè)有旋轉(zhuǎn)式的磁控濺射靶。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述前旋轉(zhuǎn)臺呈圓形結(jié)構(gòu)，前旋轉(zhuǎn)臺的圓周方向上均勻分布有多個工件架工位；后旋轉(zhuǎn)臺的結(jié)構(gòu)與前旋轉(zhuǎn)臺相同；前旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有上件工位，后旋轉(zhuǎn)臺上設(shè)有卸件工位。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述真空插板閥包括閥板、閥板開關(guān)氣缸和閥板鎖緊機構(gòu)，兩個真空室的工件通孔之間為連接通道，閥板設(shè)于連接通道內(nèi)，閥板開關(guān)氣缸與閥板外側(cè)面連接，閥板鎖緊機構(gòu)與閥板板面連接；連接通道內(nèi)設(shè)有閥板運動通道，閥板運動通道貼緊于其中一個真空室的工件通孔，閥板設(shè)于閥板運動通道內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板開關(guān)氣缸設(shè)于閥板運動通道外端，閥板開關(guān)氣缸的活塞末端伸入閥板運動通道，且閥板開關(guān)氣缸的活塞末端與閥板外側(cè)面連接；閥板處于關(guān)閉狀態(tài)時，閥板一側(cè)的板面封住相應(yīng)真空室的工件通孔，閥板另一側(cè)的板面與閥板鎖緊機構(gòu)連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的車燈玻璃連續(xù)鍍膜裝置，其特征在于，所述閥板鎖緊機構(gòu)有兩組，分別設(shè)于閥板板面的左右兩側(cè)；各閥板鎖緊機構(gòu)分別包括閥板壓緊氣缸、閥板壓緊臂和鎖緊轉(zhuǎn)軸，閥板壓緊氣缸的活塞末端與閥板壓緊臂連接，閥板壓緊臂中部設(shè)置鎖緊轉(zhuǎn)軸； 閥板壓緊臂設(shè)于鎖緊轉(zhuǎn)軸上端，鎖緊轉(zhuǎn)軸下端設(shè)有輔助壓緊臂；閥板壓緊臂為滾輪結(jié)構(gòu)； 閥板壓緊氣缸的運動方向與閥板開關(guān)氣缸的運動方向互相垂直。
8.根據(jù)權(quán)利要求2或3任一項所述裝置實現(xiàn)一種車燈玻璃連續(xù)鍍膜方法，其特征在于，包括以下步驟: (1)帶有車燈玻璃工件的工件架進入前旋轉(zhuǎn)臺上相應(yīng)的工件架工位后，第一真空插板閥打開，前旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)將工件架帶入前粗抽室內(nèi)，然后關(guān)閉第一真空插板閥； (2)第一抽真空機構(gòu)對前粗抽室內(nèi)進行抽真空，直至前粗抽室內(nèi)的真空度達到50Pa； (3)第二真空插板閥打開，工件架進入離子清洗室，然后關(guān)閉第二真空插板閥；在離子清洗室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時設(shè)于離子清洗室內(nèi)的線形離子源對車燈玻璃工件進行離子清洗；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對離子清洗室內(nèi)進行抽真空，直至離子清洗室內(nèi)的真空度達到5 X 10? ； (4)離子清洗結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第三真空插板閥打開，工件架進入前精抽室，然后關(guān)閉第三真空插板閥；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對前精抽室內(nèi)進行抽真空，直至前精抽室內(nèi)的真空度達到5 X 10_2Pa ； (5)第四真空插板閥打開，工件架進入主鍍膜室，然后關(guān)閉第四真空插板閥；在主鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時主鍍膜室內(nèi)的磁控濺射靶旋轉(zhuǎn)，將鍍膜材料濺射鍍到車燈玻璃工件上；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對主鍍膜室內(nèi)進行抽真空，直至主鍍膜室內(nèi)的真空度達到 2 X KT1Pa ； (6)鍍膜結(jié)束后，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第五真空插板閥打開，工件架進入保護層鍍膜室，然后關(guān)閉第五真空插板閥；在保護層鍍膜室內(nèi)，工件架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，同時開啟保護層鍍膜源，在車燈玻璃工件表面鍍上保護層；第三抽真空機構(gòu)通過擴散泵對保護層鍍膜室內(nèi)進行抽真空，直至保護層鍍膜室內(nèi)的真空度達到2 X KT1Pa ； (7)保護層鍍膜完成后 ，工件架停止旋轉(zhuǎn)；第六真空插板閥打開，工件架進入后精抽室，然后關(guān)閉第六真空插板閥；第二抽真空機構(gòu)通過擴散泵對離子后精抽室內(nèi)進行抽真空，直至后精抽室內(nèi)的真空度達到5X10_2Pa ； (8)第四抽真空機構(gòu)對后粗抽室進行抽真空，直至后粗抽室內(nèi)的真空度達到IOPa;然后第七真空插板閥打開，工件架進入后粗抽室，再關(guān)閉第七真空插板閥； (9)對后粗抽室進行放氣，直至后粗抽室內(nèi)的氣壓達到大氣平衡；然后打開第八真空插板閥，工件架被送至后旋轉(zhuǎn)臺上，再關(guān)閉第八真空插板閥；工件架在卸件工位上被送出鍍膜>J-U裝直。
【文檔編號】C23C14/56GK103451614SQ201310404050
【公開日】2013年12月18日 申請日期:2013年9月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月6日
【發(fā)明者】朱建明 申請人:肇慶市科潤真空設(shè)備有限公司