專利名稱：一種高純鎵氧化渣刮板裝置的制作方法
技術領域：
一種高純鎵氧化渣刮板裝置技術領域[0001]本實用新型涉及一種高純鎵氧化渣刮板裝置。
背景技術：
[0002]高純鎵的提純生產中，盡管采取了措施隔絕空氣，但仍然不可避免的要接觸空氣 中的氧氣，就會有一定量的鎵被氧化，生成一種氧化物。此種氧化物顏色為銀白色，有的會 呈現黃色或者是黑色。這種高純鎵的氧化物，其中夾富集著高純鎵中的雜質，金屬和非金屬 類別的雜質會較多的富集在氧化物中，此外，氧化物中的氧元素，對于高純鎵應用與半導體 器件的性能有影響，必須可靠的去除。氧化渣相對于高純鎵，由于體積酥松，密度比高純鎵 小，因此容易漂浮在液態鎵表面。這給氧化渣的去除提供了一個很好的條件。目前氧化渣的 去除，會通過過濾等方式，使用過濾材料分離相對酥松的氧化物。此方法耗費能量和時間， 且容易造成二次污染。不適合高純度鎵氧化渣的去除。實用新型內容[0003]本實用新型所要解決的技術問題是提供一種高純鎵氧化渣刮板裝置，解決了上述 問題。[0004]本實用新型所要解決的技術問題是通過以下技術方案來實現的[0005]一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機械機構、正刮板、反刮板和氧化 渣收集容器；所述機械機構連接并帶動正刮板垂直上下運動、圓周運動或水平移動，所述機 械機構連接并帶動反刮板水平方向往復運動；所述氧化渣收集容器設在正刮板和反刮板相 切時的正下方。[0006]所述機械結構由伺服電機和其帶動的同步齒形帶組成。[0007]所述機械結構手控運動或者通過自控程序控制運動。[0008]所述正刮板和反刮板的材質選用硬塑料。[0009]所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。[0010]本實用新型相對于現有技術的有益效果是[0011]本實用新型采用可靠的往復循環機械運動，可以連續的將高純鎵表面的氧化渣刮 除，取代了過濾等復雜操作，高效可靠；本裝置可以減輕氧化渣去除的繁重體力勞動，提高 效率；本裝置可設置在潔凈的手套箱內，杜絕污染；本裝置采用的材質均可使用耐化學品 的塑料，不會污染高純鎵；本裝置可以通過與自控裝置對接，設置在流水線等連續操作線 上，批量工業化生產。
[0012]圖1本實用新型結構示意圖[0013]圖中，1-伺服電機，2-同步齒形帶，3-正刮板，4-反刮板，5-氧化渣收集容器， 6-高純鎵液體容器具體實施方式
[0014]圖1所示，一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機械機構、正刮板3、反 刮板4和氧化渣收集容器5 ;所述機械機構連接并帶動正刮板3垂直上下運動、圓周運動或 水平移動，所述機械機構連接并帶動反刮板4水平方向往復運動；所述氧化渣收集容器5設 在正刮板3和反刮板4相切時的正下方。[0015]所述機械結構由伺服電機I和其帶動的同步齒形帶2組成。[0016]所述機械結構手控運動或者通過自控程序控制運動。[0017]所述正刮板3和反刮板4的材質選用硬塑料。[0018]所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。[0019]使用實例1:將盛有高純鎵液體的容器固定在該裝置下方，手控機械機構帶動正 刮板向下運動，目視當正刮板接觸高純鎵液體表面時停止，再手控機械機構帶動正刮板水 平圓周運動，將氧化渣刮除，此時氧化渣由于表面張力的作用會粘附在刮板上，然后機械機 構帶動正刮板向上運動，脫離液態鎵，再水平運動至正反刮板的切線處停止，此時手控反刮 板與正刮板相切運動，將粘附在正刮板上的氧化渣去除，掉落在氧化渣收集器中。[0020]使用實例2 :將盛有高純鎵液體的容器固定在裝置下方，由設定的程序自動控制 機械機構運動，帶動正刮板向下運動，當正刮板接觸高純鎵液體表面時停止，再帶動正刮板 水平圓周運動，將氧化渣刮除，然后再向上運動，脫離液態鎵，再水平運動至正反刮板的切 線處停止，此時反刮板運動，將粘附在正刮板上的氧化渣去除，掉落在氧化渣收集器中。
權利要求1.一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機械機構、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器；所述機械機構連接并帶動正刮板垂直上下運動、圓周運動或水平移動，所述機械機構連接并帶動反刮板水平方向往復運動；所述氧化渣收集容器設在正刮板和反刮板相切時的正下方。
2.如權利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述機械結構由伺服電機和其帶動的同步齒形帶組成。
3.如權利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述機械結構手控運動或者通過自控程序控制運動。
4.如權利要求1所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述正刮板和反刮板的材質選用硬塑料。
5.如權利要求4所述的高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于所述硬塑料為聚乙烯、聚丙烯或聚四氟乙烯。
專利摘要本實用新型公開了一種高純鎵氧化渣刮板裝置，其特征在于包括機械機構、正刮板、反刮板和氧化渣收集容器；所述機械機構連接并帶動正刮板垂直上下運動、圓周運動和水平移動，所述機械機構連接并帶動反刮板水平方向往復運動；所述氧化渣收集容器設在正刮板和反刮板相切時的正下方。本實用新型采用可靠的往復循環機械運動，可以連續的將高純鎵表面的氧化渣刮除，取代了過濾等復雜操作，高效可靠；本裝置可以減輕氧化渣去除的繁重體力勞動，提高效率；本裝置可設置在潔凈的手套箱內，杜絕污染；本裝置采用的材質均可使用耐化學品的塑料，不會污染高純鎵；本裝置可以通過與自控裝置對接，設置在流水線等連續操作線上，批量工業化生產。
文檔編號B22D43/00GK202861391SQ201220527320
公開日2013年4月10日 申請日期2012年10月15日 優先權日2012年10月15日
發明者康云飛, 喬文, 鐘曉露 申請人:南京隆潤半導體材料有限公司