專利名稱：游星輪的制作方法
技術領域：
本發明屬于藍寶石加工技術領域，尤其涉及一種藍寶石切片后研磨的載具。
背景技術：
藍寶石是加工藍光二極管的重要材料，在半導體領域具有舉足輕重的地位。在制作客戶需要的藍寶石片之前，要對藍寶石進行切片后研磨。現有技術中，對藍寶石切片后多采用雙面研磨工藝進行加工。加工時，通過研磨粉顆粒對藍寶石片進行研磨。藍寶石襯片的研磨是藍寶石基板制造中非常重要的一項工藝流程，它決定了藍寶石切片后晶片的總厚度變化，翹曲度，表面粗糙度等相關質量。傳統的載具用于對各類非標件的研磨時候，造成成本高，研磨后缺陷多，且容易破片。
發明內容
針對上述技術問題，本發明提供一種良好研磨各類非標藍寶石切片的游星輪，大大降低了生產成本，有效保證了研磨后晶片的質量。本發明解決上述問題所采用的技術方案是一種游星輪，所述游星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設有與研磨設備匹配的齒，其內開有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內開有容納待加工工件的孔。與現有技術相比，本發明游星輪，研磨作業時子輪在母輪內轉動，從而帶動加工件自轉，使得研磨作業更均勻，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指標均能達到的要求，本發明游星輪，設計巧妙合理，解決了對各類非標件研磨時制作多個載具的問題，大幅度降低研磨成本。
圖I是本發明游星輪的裝配示意圖；圖2是本發明母輪的結構示意圖；圖3是本發明子輪的結構示意圖。
具體實施例方式以下結合附圖對本發明做出進一步說明。如圖所示，本發明一種游星輪，可適用于對各類藍寶石非標片研磨作業。該游星輪包括母輪I和子輪2兩部分。所述母輪I跟同研磨設備轉動，轉動過程中帶動子輪2進行自轉及公轉。作為優選，母輪I采用耐磨性好的藍鋼制作，子輪2則因為加工件種類繁多，作為優選，采用價格相對低廉的塑料纖維制作。研磨作業時候先將母輪I按要求放入到研磨設備內，然后將子輪2放入到母輪I中，最后需加工的LED加工件3放入的子輪2內。研磨過程中加工件3會隨著子輪2的自轉及公轉進行相對應的自轉及公轉，與研磨設備形成相對速度，從而達到對晶片的研磨作業。加工件3的自轉大大提高了研磨的質量，從根本上解決了現有技術中研磨非標片質量不過關的問題。以上實施例的描述較為具體、詳細，但并不能因此而理解為對本專利范圍的限制，應當指出的是，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明構思的前提下，還可以做出若干變形和改進，這些都屬于本發明的保護范圍。
權利要求
1.一種游星輪，其特征在于所述游星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設有與研磨設備匹配的齒，其內開有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內開有容納待加工工件的孔。
2.根據權利要求I所述的游星輪，其特征在于所述母輪材料為藍鋼。
3.根據權利要求I或2所述的游星輪，其特征在于所述子輪材料為塑料纖維。
全文摘要
本發明公開了一種游星輪，屬于藍寶石加工技術領域，所述游星輪由母輪與子輪組成，所述母輪外圓周上設有與研磨設備匹配的齒，其內開有與所述子輪外徑相匹配的孔；所述子輪內開有容納待加工工件的孔。與現有技術相比，本發明游星輪，研磨作業時子輪在母輪內轉動，從而帶動加工件自轉，使得研磨作業更均勻，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指標均能達到的要求，本發明游星輪，設計巧妙合理，解決了對各類非標件研磨時制作多個載具的問題，大幅度降低研磨成本。
文檔編號B24B37/27GK102975114SQ20121051657
公開日2013年3月20日 申請日期2012年12月6日 優先權日2012年12月6日
發明者戴磊, 王祿寶 申請人:江蘇吉星新材料有限公司