具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的pecvd設(shè)備的制作方法
【專利摘要】具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的PECVD設(shè)備，涉及太陽能硅電池片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及制作減少硅片表面反射的SiN薄膜設(shè)備，包括爐管，爐管的一側(cè)設(shè)置舟托裝置，舟托裝置上設(shè)置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟托裝置的上方間隔設(shè)置熱排裝置，熱排裝置包括風(fēng)機(jī)電控柜，所述風(fēng)機(jī)電控柜內(nèi)設(shè)置繼電器，所述舟托裝置上連接感應(yīng)器，感應(yīng)器的信號輸出端與繼電器連接。本發(fā)明利用感應(yīng)器采集信號，在出舟時控制風(fēng)機(jī)開啟，排放熱量。而當(dāng)舟臂在PECVD爐管內(nèi)則不需要排放熱量，自動關(guān)閉風(fēng)機(jī)，節(jié)約能源。
【專利說明】具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的PECVD設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及太陽能硅電池片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及制作減少硅片表面反射的SiN薄膜設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]PECVD即等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備，制作減少硅片表面反射的SiN薄膜。現(xiàn)有的PECVD設(shè)備包括爐管，爐管的一側(cè)設(shè)置舟托裝置，舟托裝置上設(shè)置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟托裝置的上方間隔設(shè)置熱排裝置。這種結(jié)構(gòu)的缺陷是:當(dāng)石墨舟出舟時熱排裝置工作，當(dāng)石墨舟入爐管時熱排裝置一直在工作，排風(fēng)無控制，處于常開狀態(tài)，耗電量大。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明的目的是為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種減少耗電量的具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的PECVD設(shè)備。
[0004]本發(fā)明的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的PECVD設(shè)備，包括爐管，爐管的一側(cè)設(shè)置舟托裝置，舟托裝置上設(shè)置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟托裝置的上方間隔設(shè)置熱排裝置，熱排裝置包括風(fēng)機(jī)電控柜，所述風(fēng)機(jī)電控柜內(nèi)設(shè)置繼電器，所述舟托裝置上連接感應(yīng)器，感應(yīng)器的信號輸出端與繼電器連接。
[0005]本發(fā)明通過在裝有石墨舟的舟托裝置上安裝感應(yīng)器，感應(yīng)器輸出直流電壓信號，控制繼電器通斷，繼電器控制風(fēng)機(jī)電源。當(dāng)石墨舟舟進(jìn)入爐管時，風(fēng)機(jī)電源斷開。當(dāng)舟退出爐管時，風(fēng)機(jī)電源接通，風(fēng)機(jī)工作。
本發(fā)明利用感應(yīng)器采集信號，在出舟時控制風(fēng)機(jī)開啟，排放熱量。而當(dāng)舟臂在PECVD爐管內(nèi)則不需要排放熱量，自動關(guān)閉風(fēng)機(jī)，節(jié)約能源。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0006]圖1為本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0007]如圖1所示，為具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的PECVD設(shè)備，包括爐管1，爐管I的一側(cè)設(shè)置舟托裝置3，舟托裝置3上設(shè)置石墨舟4和推拉裝置5，石墨舟4與推拉裝置5連接，舟托裝置3的上方間隔設(shè)置熱排裝置8，熱排裝置8包括風(fēng)機(jī)電控柜6，風(fēng)機(jī)電控柜6內(nèi)設(shè)置繼電器7，舟托裝置3上連接感應(yīng)器2，感應(yīng)器2的信號輸出端與繼電器7連接。
【權(quán)利要求】
1.具有熱排風(fēng)機(jī)自動控制系統(tǒng)的PECVD設(shè)備，包括爐管，爐管的一側(cè)設(shè)置舟托裝置，舟托裝置上設(shè)置石墨舟和推拉裝置，石墨舟與推拉裝置連接，舟托裝置的上方間隔設(shè)置熱排裝置，熱排裝置包括風(fēng)機(jī)電控柜，其特征在于:所述風(fēng)機(jī)電控柜內(nèi)設(shè)置繼電器，所述舟托裝置上連接感應(yīng)器，感 應(yīng)器的信號輸出端與繼電器連接。
【文檔編號】C23C16/52GK103526188SQ201210233581
【公開日】2014年1月22日 申請日期:2012年7月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月8日
【發(fā)明者】朱守權(quán) 申請人:揚(yáng)州鑫晶光伏科技有限公司