硬質合金基部外部刀刃切割輪以及制造方法

            文檔序號:3259064閱讀:351來源:國知局
            專利名稱:硬質合金基部外部刀刃切割輪以及制造方法
            技術領域
            本發明涉及一種硬質合金基部外徑刀刃切割輪(砂輪),該外徑刀刃切割輪適合鋸切稀土燒結磁體塊,本發明還涉及一種用于制備該外徑刀刃切割輪的方法。
            背景技術
            本領域中已知的是包括硬質合金基部的OD (外徑)刀刃切割輪,該硬質合金基部有外周,金剛石和/或cBN磨粒顆粒通過酚醛樹脂或金屬鍍而結合到該外周上。使用這種切割輪的鋸切加工工藝由于很多優點而被認為在工業中非常有利,這些優點包括切割工具的低價格、相對較小的切割公差、切割件的良好尺寸精度以及相對較高的機械加工速度。因為切割輪最適合用于稀土磁體塊(或永磁體塊)(該稀土磁體塊或永磁體塊較硬和較脆)的鋸切,因此它們在本領域中廣泛使用。引用文獻列表專利文獻I JP-A H09-174441專利文獻2 JP-A H10-175171專利文獻3 JP-A H10-175172專利文獻4 JP-A 2005-193358專利文獻5 JP-A H07-207254專利文獻6 JP 2942989專利文獻7 JP-A 2005_219169專利文獻8 :W0 96/23630專利文獻9 JP-A 2009-172751(US 20090165768、EP 2075092)專利文獻10 JP-A 2010-260124(US 20100275522、EP 2260963)本發明人在專利文獻9和10中提出了 一種外部刀刃切割輪,該外部刀刃切割輪包括環形盤基部和布置在該基部的外周上的刀刃部分,該刀刃部分包括磁性材料涂覆的金剛石和/或cBN磨料顆粒,該磨料顆粒通過電鍍或無電鍍而結合在基部上,該輪能夠在高精度和減小尺寸公差的情況下將磁體塊切割成零件;以及一種用于制造該外部刀刃切割輪的方法。這種OD刀刃切割輪適用于高精度的切割操作,這部分是因為具有通過酚醛樹脂而結合在基部上的金剛石和/或cBN磨料顆粒的刀刃部分具有較高硬度。已經發現,當磨料顆粒的選擇與刀刃部分選擇的尺寸公差更少兼容時,刀刃部分必須進行打磨,以便使得它的切割刃重新成形,以便非常精確地保持切割件或稀土燒結磁體零件的尺寸公差。當刀刃部分不再保持切割操作的高精度時,可以觀察到磨料顆粒脫落、磨料顆粒斷裂從而形成低于保持顆粒的基體(結合部)表面的空穴、和/或磨料顆粒在它們的尖端處變平從而與保持顆粒的基體表面共同延伸。可以認為,磨料顆粒的脫落和斷裂是由在切割時的碰撞引起的,因為磨料顆粒重重地撞上工件從而磨去工件。磨料顆粒在它們的尖端處變平從而與保持顆粒的基體表面共同延伸不僅是由在切割時的碰撞引起的,還由局部產生的高熱量引起(從而使得顆粒磨損或消耗)。當工件是包含在高溫下有高反應性的金屬元素的稀土燒結磁體時,這種現象也適用于金剛石磨料顆粒。在加工時產生的熱量使得在工件中的金屬元素和顆粒(金剛石)之間產生化學反應,因此顆粒被磨損或消耗。在切割操作過程中,冷卻劑通常供給進行切割的部位,用于冷卻該部位。因此迄今為止并不認為切割熱量對磨料顆粒的磨損有較大影響,特別是金剛石顆粒。對于刀刃部分的、沿厚度方向超過基部凸出的交疊(overlay)部分,當該交疊部分的厚度有較大尺寸公差時(也就是在刀刃部分的整個周邊上的交疊部分的厚度的最大值和最小值之間有較大差異時),且當刀刃部分的外周有較低圓度時,工件切割出的切屑不能平滑排出,并阻塞在切割槽中,從而改變輪的通路、引起工件振動(具有較大的撞擊噪音),并向切割部位提供不連續或不充分的冷卻劑供給,從而導致切割缺陷。當產生這種現象時,切割件的尺寸變得不精確,或者切割表面有顯著的刮痕。由于這些外觀缺陷,生產率降低。
            當刀刃部分損壞或變鈍時,需要進行打磨步驟,即通過磨削工具來磨去顆粒保持基體直到露出新顆粒,這樣,它們可以有助于切割操作。不過,OD刀刃切割輪的刀刃部分的打磨降低了生產效率,因為切割處理被中斷。還有,刀刃部分的刮削降低了切割輪的使用壽命。因此,優選是在可能的情況下避免打磨。

            發明內容
            本發明的目的是提供一種硬質合金基部外徑刀刃切割輪,它能夠在不需要打磨的情況下使用很長時間,并適合高尺寸精度地將工件(通常為稀土燒結磁體塊)切割成零件;以及一種用于制備該硬質合金基部外徑刀刃切割輪的方法。本發明涉及一種外部刀刃切割輪,該外部刀刃切割輪包括成環形薄盤形式的基部和在該盤的外周上的刀刃部分,該刀刃部分包括磨料顆粒和金屬或合金結合部,該金屬或合金結合部通過電鍍或無電鍍而沉積在基部的外周上,用于使得磨料顆粒結合在一起和結合在基部上。本發明人已經發現,當具有45至310 μ m的平均顆粒尺寸和至少150的韌性指數TI的金剛石和/或cBN磨料顆粒用作磨料顆粒,且刀刃部分形成為滿足特定幾何形狀和構形條件時,將獲得更好的結果。即使當使用具有耐熱性和耐沖擊性且韌性指數TI為至少150的磨料顆粒時,外部刀刃切割輪也能夠長時間地繼續進行切割操作,同時保持較高切割精度,因為磨料顆粒在切割操作過程中(其中,外部刀刃切割輪受到嚴重沖擊)折斷、脫落或熱消耗的危險很小。在一個方面,本發明提供了一種外部刀刃切割輪,該外部刀刃切割輪包括基部,該基部成硬質合金的環形薄盤的形式,具有450至700GPa的楊氏模量,具有確定外周的80至200mm外徑、30至80mm的內徑和O. I至I. Omm的厚度;以及刀刃部分,該刀刃部分布置在基部的外周上,并有比該基部更大的厚度,刀刃部分包括磨料顆粒和金屬或合金結合部,該金屬或合金結合部通過電鍍或無電鍍而沉積在基部的外周上,用于使得磨料顆粒結合在一起和結合在基部上。磨料顆粒是具有45至310 μ m的平均顆粒尺寸和至少150的韌性指數TI的金剛石和/或cBN磨料顆粒。刀刃部分包括交疊部分,各交疊部分超過基部的厚度向外凸出,刀刃部分的交疊部分的厚度滿足在范圍(I)中的公差[(T3max-T3min)rnrn]
            O. 001 彡 T3max_T3min 彡 O. I X T2max(I)其中,T3max和T3min是刀刃部分的整個周邊上的交疊部分的厚度的最大值和最小值,T2max是刀刃部分的整個周邊上的刀刃部分厚度的最大值。刀刃部分滿足在范圍(2)中的圓度[(0Dmax/2-0Dmin/2)rnrn]O. 001 ^ 0Dmax/2-0Dmin/2 ^ O. OlXODmax(2)其中,ODmax和ODniin是刀刃部分的外徑的最大值和最小值。在優選實施例中,刀刃部分還包括熔點直到350°C的金屬或合金結合劑。當金屬或合金結合部通過鍍而沉積在基部的外周上,以便使得磨料顆粒結合在一起和結合在基部上之后,金屬或合金結合劑滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間。在另一優選實施例中,刀刃部分還包括熔點直到350°C的熱塑性樹脂或者固化溫度直到350°C的熱固性樹脂。當金屬或合金結合部通過鍍而沉積在基部的外周上,以便使得磨料顆粒結合在一起和結合在基部上之后,熱塑性樹脂滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間,或者液體熱固性樹脂合成物滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間并固化。在另一方面,本發明提供了一種用于制造外部刀刃切割輪的方法,該方法包括以下步驟提供基部,該基部成硬質合金的環形薄盤的形式,具有450至700GPa的楊氏模量,具有確定外周的80至200mm外徑、30至80mm的內徑和O. I至I. Omm的厚度;提供磨料顆粒;以及將金屬或合金電鍍或無電鍍至基部外周上,用于將磨料顆粒結合在一起和結合在基部上,以便將磨料顆粒牢固固定在基部外周上,從而形成厚度比基部更大的刀刃部分。該方法還包括以下步驟使用具有45至310 μ m的平均顆粒尺寸和至少150的韌性指數TI的金剛石和/或cBN磨料顆粒作為磨料顆粒;以及使刀刃部分成形,以使得刀刃部分包括交疊部分,各交疊部分超過基部的厚度向外凸出,刀刃部分的交疊部分的厚度具有在范圍(I)中的公差[(T3max-T3min)rnrn]O. 001 彡 T3max_T3min 彡 O. I X T2max(I)其中,T3max和T3min是刀刃部分的整個周邊上的交疊部分的厚度的最大值和最小值,T2max是刀刃部分的整個周邊上的刀刃部分厚度的最大值;且刀刃部分有在范圍(2)中的圓度[(0Dmax/2-0Dmin/2)rnrn]O. 001 ^ 0Dmax/2-0Dmin/2 ^ O. OlXODmax (2)其中,ODmax和ODniin是刀刃部分的外徑的最大值和最小值。該方法還包括以下步驟在將金屬或合金鍍至基部的外周上,以便將磨料顆粒結合在一起和結合在基部上之后,使得熔點直到350°C的金屬或合金結合劑滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間的任何空隙中,以便形成刀刃部分。該方法還包括以下步驟在將金屬或合金鍍至基部的外周上,以便將磨料顆粒結合在一起和結合在基部上之后,使得熔點直到350°C的熱塑性樹脂滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間的任何空隙中,以便形成刀刃部分,或者使得固化溫度直到350°C的液態熱固性樹脂滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間的任何空隙中并固化,以便形成刀刃部分。發明的有利效果當使用硬質合金基部外徑刀刃切割輪時,能夠高尺寸精度地將物品(通常為稀土燒結磁體塊)切割成零件。因為切割輪能夠在不需要打磨的情況下長時間地用于將物品切割成高精度尺寸的零件,因此能夠基本省略額外步驟(否則需要該額外步驟來保持高精度的切割操作)。在極端情況下,檢查切割零件的尺寸的步驟也可以簡化。具有高尺寸精度的稀土磁體零件以較低成本獲得。


            圖I示意表示了在本發明一個實施例中的外部刀刃切割輪,圖IA是平面圖,圖IB是沿圖IA中的線B-B的剖視圖,而圖IC是圖IB中的圓C (刀刃部分)的放大圖。圖2是在方法中使用的一個示例夾具的分解透視圖。圖3是圖2中夾住基部的保持器的外部部分的放大剖視圖。圖4A至4D是在基部上形成的刀刃部分的不同實施例的剖視圖。 圖5示意表示了怎樣利用合金容器和小球來測量韌性指數。圖6示意表示了怎樣測量刀刃部分的交疊部分的厚度公差,圖6A是測量系統的示意圖,而圖6B是具有與刀刃部分接觸的探針的比較器的視圖。圖7示意表示了怎樣測量刀刃部分的圓度,圖7A是刀刃部分的示例投影圖像,而圖7B表示了利用該圖像來計算圓度。圖8是表示切割精度與零件數目的視圖,該零件將使用實例I至4和對比實例I、2的外部刀刃切割輪而由稀土燒結磁體塊切割而成。
            具體實施例方式參考圖1,在本發明一個實施例中的外部刀刃切割輪表示為包括基部10,該基部10成由硬質合金制造的環形薄盤的形式;以及刀刃部分20,該刀刃部分20布置在基部10的外周上。刀刃部分20包括磨料顆粒,該磨料顆粒通過電鍍或非電鍍而由金屬或金屬合金結合部進行結合。基部10成環形薄盤的形式,也就是具有中心孔12的面包圈形薄板,它的外徑為80至200mm,優選是100至180mm,從而確定了外周,它的內徑為30至80mm,優選是40至70mm,從而確定了孔12,且它的厚度為O. I至I. Omm,優選是O. 2至O. 8mm。應當知道,盤有中心孔和外周,如圖I中所示。因此,術語“徑向”和“軸向”將相對于盤的中心使用,因此,厚度是軸向方向,長度(或高度)是徑向方向。同樣,術語“內部”和“外部”有時也相對于盤的中心或切割輪的旋轉軸來使用。基部的厚度在O. I至I. Omm的范圍內,且外徑在不超過200mm的范圍內,因為這種尺寸的基部能夠以非常高的精度制造,并保證在很長時間中以高尺寸精度對工件(通常為稀土燒結磁體塊)進行一致的切斷機械加工。小于O. Imm的厚度將可能導致明顯的翹曲(而不管外徑如何),并很難非常精確地制造基部。超過I. Omm的厚度表示切割公差增大。考慮到能夠由制造和處理硬質合金的現有技術進行制造的尺寸,外徑達到200mm。孔的直徑設置在30至80mm的范圍內,以便裝配在切斷機械加工工具的軸上。構成基部的硬質合金的實例包括這樣的硬質合金,其中,在周期表的族4、5和6中的粉末金屬碳化物,例如wc、TiC, MoC, NbC, TaC和Cr3C2通過燒結而接合在Fe、Co、Ni、Mo、Cu、Pb、Sn或它們的金屬合金的結合劑基體中。其中,優選是典型的WC-Co、WC-Ti、C-Co和WC-TiC-TaC-Co系統。它們應當有450至700GPa的楊氏模量。還有,優選是這樣的硬質合金,它們有易于電鍍的導電性,或者它們能夠通過鈀催化劑等而具有這樣的導電性。為了通過鈀催化劑等而使得硬質合金具有導電性,可以采用公知試劑,例如在ABS樹脂的金屬化中使用的金屬化試劑。優選是,基部的外周可以進行斜切(斜角或圓角),以便提高在基部和刀刃部分之間的結合強度,該刀刃部分通過由金屬結合部結合磨料顆粒而形成于基部上。基部周邊的斜切的優點在于,即使當刀刃在為了刀刃厚度調節目的而進行的磨削過程中錯誤地過度磨削超過在基部和磨料層之間的邊界時,金屬結合部將離開該邊界,以便防止刀刃部分分離。斜切的角度和量可以根據基部的厚度和磨料顆 粒的平均顆粒尺寸來確定,因為可用于斜切的范圍取決于基部的厚度。對于基部的磁特性,優選是有更大的飽和磁化,用于通過磁吸引力而將磨料顆粒保持在基部上。不過,即使當基部有較低飽和磁化時,磁性材料涂覆磨料顆粒能夠通過控制永磁體的位置和磁場強度而朝著基部磁吸引。因此,飽和磁化為至少40kA/m (O. 05T)的基部能夠令人滿意。基部的飽和磁化這樣確定,即通過從具有給定厚度的基部上切出5mm2的試樣,并在24-25°C的溫度下通過振動試樣磁強計(VSM)來測量試樣的磁化曲線(4 π Ι_Η)。在第一象限中的磁化值上限作為飽和磁化。在刀刃部分中使用的磨料顆粒是金剛石顆粒和/或立方體氮化硼(cBN)顆粒。根據切割操作條件,優選是具有45至310 μ m平均顆粒尺寸的磨料顆粒用于刀刃部分中。這里使用的“平均顆粒尺寸”是指由利用激光衍射和散射的顆粒尺寸分配測量系統來測量的50%直徑或中間直徑。當平均顆粒尺寸小于45 μ m時,可能在磨料顆粒之間留下更小空隙,從而可能引起例如在切割操作過程中產生拋光和加載以及失去切割能力的問題。當平均顆粒尺寸大于310 μ m時,可能引起例如切割的磁體零件具有粗糙表面的問題。考慮到切割效率和使用壽命,在該范圍內的特定尺寸磨料顆粒可以單獨使用,或者用作不同尺寸顆粒的混合物。在刀刃部分中使用的磨料顆粒應當有至少150的韌性指數TI。在一個試驗中,稀土燒結磁體塊通過外部刀刃切割輪而切割成零件,在該外部刀刃切割輪中,刀刃部分通過結合金剛石和cBN磨料顆粒(具有45至310 μ m的平均顆粒尺寸和不同TI值)而形成。然后確定由此切割的磁體零件的尺寸和公差。已經發現,使用TI值為至少150的磨料顆粒的這些切割輪能夠在很長時間中保持高切割精度。TI值被認為是用于實際評估磨料顆粒在伴隨熱產生時的抗沖擊持久性的指數。韌性指數TI通過脆性測試來確定,即,將一個金屬球和預定重量的磨料顆粒布置在柱形合金容器中,密封該容器,在預定頻率和室溫(例如15_25°C)下搖動該容器橫過特定沖程,并確定直到磨料顆粒磨至低于某種水平(達到初始重量的50%,該初始重量即磨料顆粒在測試之前的總重量)而經過的磨制時間(sec)。具體地說,可以米用依照ANSI (American National Standards Institute)B74. 23-2002的方法。如圖5中所示,例如,合金容器71確定了由側壁(該側壁的直徑為
            12.70±0. 02mm,高度為19. 10±0. 01mm)、一端平表面(該平表面的直徑為12. 70±0. 02mm)和另一端半球形表面(該半球形表面的半徑為7. 14mm,深度為3. 84±0. 06mm)界定的空間。該容器充裝有一個鉻合金鋼球72 (該鉻合金鋼球72的直徑為7. 94±0. 02mm,重量為2.040±0.005g)以及通過預定網篩而篩選的預定重量磨料顆粒26。容器關閉,并以
            8.1±1. 5mm的沖程、2400±3循環/min的頻率以及在室溫下進行搖動。制成容器側壁的合金是合成物X100CrMoV51 (AISI Type A2)的合金或者具有58至60的Rockwell C (Re)硬度的合金。制成平表面和半球形表面的合金是合成物X100Cr6(AISI 52100)的合金或者具有58至60的Rockwell C (Re)硬度的合金。對于要測試的磨料顆粒的試樣,根據金剛石或cBN磨料顆粒的標準顆粒尺寸而采用了在表I中列出了預定篩網和試樣量,它覆蓋了從45μπι至310μπι的范圍,這對應于磨料顆粒的平均顆粒尺寸。例如,參考具有80/100標準顆粒尺寸(US篩網尺寸)的金剛石磨料顆粒(對應于 FEPA (Federation of European Producers of Abrasives)磨料粒尺寸牌號D/B181)。磨料顆粒首先使用孔徑為197μπι的上部篩網(在表I中的篩網A)和孔徑為151 μ m的下部篩網(在表I中的篩網B)來篩選。然后,將保持在上部和下部篩網之間的6g 這種磨料顆粒置于合金容器中,搖動該合金容器。磨削的磨料顆粒通過孔徑為127 μ m的破碎后篩網(表I中的篩網C)進行篩選。直到尺寸過小磨料顆粒的重量為初始磨料顆粒總重量(即6g)的50% (即3g)時花費的磨削時間(秒)記錄為韌性指數(TI)。由表I可知,要進行測試的篩網和磨料顆粒重量根據磨料顆粒的尺寸而變化。表I
            權利要求
            1.一種外部刀刃切割輪,包括基部,該基部成硬質合金的環形薄盤的形式,該硬質合金具有450GPa至700GPa的楊氏模量,該基部具有確定外周的80mm至200mm的外徑、30mm至80mm的內徑和O. Imm至I. Omm的厚度;以及刀刃部分,該刀刃部分布置在該基部的外周上,并有比該基部更大的厚度,該刀刃部分包括磨料顆粒和金屬或合金結合部,該金屬或合金結合部通過電鍍或無電鍍而沉積在基部的外周上,用于使得磨料顆粒結合在一起且結合在基部上;其中 所述磨料顆粒是具有45 μ m至310 μ m的平均顆粒尺寸和至少150的韌性指數TI的金剛石和/或cBN磨料顆粒; 所述刀刃部分包括交疊部分,各交疊部分超過所述基部的厚度向外凸出,所述刀刃部分的交疊部分的厚度具有在范圍(I)中的公差[(T3max-T3min)rnrn]O. 001^T3fflax-T3fflin^0. lXT2fflax(I) 其中,T3max和T3min是刀刃部分的整個周邊上交疊部分厚度的最大值和最小值,T2max是刀刃部分的整個周邊上的刀刃部分厚度的最大值;以及 所述刀刃部分具有在范圍(2)中的圓度[(ODmax/2-ODmin/2)rnrn]O. 001 ^ ODmax/2-ODmin/2 ( O. OlXODmax (2) 其中,ODmax和ODniin是刀刃部分的外徑的最大值和最小值。
            2.根據權利要求I所述的切割輪,其中所述刀刃部分還包括熔點直到350°C的金屬或合金結合劑; 當金屬或合金結合部通過電鍍或無電鍍而沉積在基部的外周上,以便使得磨料顆粒結合在一起且結合在基部上之后,金屬或合金結合劑滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間。
            3.根據權利要求I所述的切割輪,其中所述刀刃部分還包括熔點直到350°C的熱塑性樹脂或者固化溫度直到350°C的熱固性樹脂; 當金屬或合金結合部通過鍍而沉積在基部的外周上,以便使得磨料顆粒結合在一起且結合在基部上之后,熱塑性樹脂滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間,或者液態熱固性樹脂合成物滲透至磨料顆粒之間以及磨料顆粒和基部之間并固化。
            4.一種用于制造外部刀刃切割輪的方法,包括以下步驟 提供基部,該基部成硬質合金的環形薄盤的形式,該硬質合金具有450GPa至700GPa的楊氏模量,該基部具有確定外周的80mm至200mm的外徑、30mm至80mm的內徑和O. I至I. Omm的厚度; 提供磨料顆粒;以及 將金屬或合金電鍍或無電鍍至基部外周上,用于將磨料顆粒結合在一起且結合在基部上,以便將磨料顆粒牢固固定在基部外周上,從而形成厚度比基部更大的刀刃部分; 所述方法還包括以下步驟 使用具有45 μ m至310 μ m的平均顆粒尺寸和至少150的韌性指數TI的金剛石和/或cBN磨料顆粒作為所述磨料顆粒;以及 使所述刀刃部分成形,以使得所述刀刃部分包括交疊部分,各交疊部分超過基部的厚度向外凸出,所述刀刃部分的交疊部分的厚度具有在范圍(I)中的公差[(T3max-T3min)rnrn]O.001^T3fflax-T3fflin^0. lXT2fflax (I)其中,T3max和T3min是刀刃部分的整個周邊上交疊部分厚度的最大值和最小值,T2max是刀刃部分的整個周邊上的刀刃部分厚度的最大值;且所述刀刃部分有在范圍(2)中的圓度[(0Dmax/2-0Dmin/2)mrn]O. OOl ^ ODmax/2-ODmin/2 ( O. OlXODmax (2) 其中,ODmax和ODniin是刀刃部分的外徑的最大值和最小值。
            5.根據權利要求4所述的方法,還包括以下步驟在將金屬或合金鍍至基部的外周上,以便將磨料顆粒結合在一起和結合在基部上之后,使得熔點直到350°C的金屬或合金結合劑滲透至磨料顆粒之間的任何空隙中以及磨料顆粒和基部之間的任何空隙中,以便形成刀刃部分。
            6.根據權利要求4所述的方法,還包括以下步驟在將金屬或合金鍍至基部的外周上,以便將磨料顆粒結合在一起且結合在基部上之后,使得熔點直到350°C的熱塑性樹脂滲透至磨料顆粒之間的任何空隙中以及磨料顆粒和基部之間的任何空隙中,以便形成刀刃部分,或者使得固化溫度直到350°C的液態熱固性樹脂滲透至磨料顆粒之間的任何空隙中以及磨料顆粒和基部之間的任何空隙中并固化,以便形成該刀刃部分。
            全文摘要
            這里提供了一種外部刀刃切割輪,該外部刀刃切割輪包括硬質合金的環形薄盤基部以及在該基部的外周上的、金屬或合金結合的磨料顆粒的刀刃部分。磨料顆粒是具有45-310μm的平均顆粒尺寸和至少150的TI的金剛石和/或cBN顆粒。刀刃部分包括交疊部分,該交疊部分有0.001mm至0.1×T2max mm的厚度公差(T3max-T3min)。刀刃部分有0.001至0.01×ODmax mm的圓度(ODmax/2-ODmin/2)。
            文檔編號B24D3/06GK102862129SQ201210229740
            公開日2013年1月9日 申請日期2012年7月4日 優先權日2011年7月4日
            發明者笠島匡樹, 美濃輪武久, 前川治和, 長崎欣史 申請人:信越化學工業株式會社
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