專利名稱：用于供應材料的設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于供應材料的設備，更特定來說，涉及一種可蒸發和供應將要以薄膜形式沉積在襯底上的有機物質的用于供應材料的設備。
背景技術：
有機發光裝置為下一代顯示裝置，下一代顯示裝置可在自身內發射光，與液晶顯示器(LCD)裝置的視角、對比度、響應速度、功率消耗等相比，下一代顯示裝置的視角、對比度、響應速度、功率消耗等都非常好。有機發光裝置包括有機發光二極管，有機發光二極管以矩陣類型連接在掃描線和數據線之間并形成像素。有機發光二極管包括陽極、陰極和形成在陽極和陰極之間并具有 空穴傳輸層、有機發光層和電子傳輸層的有機薄膜層。當預定電壓施加在陽極和陰極之間時，從陽極注入的空穴和從陰極注入的電子在發光層中重新組合，同時基于能差發射光。用在用于有機薄膜層的沉積工序中的有機物質不需要高蒸汽壓力，而是有機物質在高溫下容易分解和變性為無機物質。由于這些材料特性，因此由鎢材料制成的源容器填有有機物質，且源容器被加熱以蒸發有機物質，從而將常規的有機薄膜沉積在襯底上。有機發光二極管的常規制造已在與外界條件隔絕的真空條件下執行，且因而，當再次填充用于制造有機發光二極管的源材料時，必須不可避免地使設備暫停。另外，如果使用大容量源容器增加了填充量而延長了暫停周期，那么，源材料可能變質和變性，并且每次更換源容器時還需要維護設備。此外，在常規設備中，蒸發量依據源材料的消耗而改變，且因此，歸因于沉積在襯底上的膜的厚度的改變，所制造的裝置并不可靠。
發明內容
因此，構想出本發明來解決前述問題，且本發明的一方面是提供用于供應材料的設備，在所述設備中，源材料和用于將熱供應給源材料以蒸發源材料的加熱器提供在一個空間內，且根據源材料的蒸發量來調節源材料和加熱器之間的距離，從而維持沉積在襯底上的有機發光二極管的恒定厚度并制造可靠的有機發光二極管。根據本發明的示范性實施例，提供用于供應材料的設備，所述設備蒸發將要作為薄膜沉積在襯底上的源材料，且所述設備將經蒸發源材料供應到面向襯底的噴射孔，所述設備包括源容器，將要沉積在襯底上的源材料以固態或液態容納在源容器中；蒸發室，蒸發室包括用于將源容器安裝在其中的內部空間，且來自源容器的經蒸發源材料通過蒸發室；第一加熱器，第一加熱器提供在位于蒸發室內的源容器上方，且第一加熱器將熱供應到源容器，以蒸發容納在源容器中的源材料；以及傳遞單元，傳遞單元使第一加熱器和源容器中的一者在與另一者接近或與另一者遠離的方向上往復運動。設備可進一步包括擋板，擋板提供在位于蒸發室內的第一加熱器上方，且擋板攔截從所述蒸發室的外側傳遞到內側的熱。設備可進一步包括冷卻器，冷卻器安裝在蒸發室的下部中，以便鄰近于液體或固體源材料，且冷卻器冷卻容納在源容器中的源材料；以及第二加熱器，第二加熱器安裝在蒸發室的上部中并與液體或固體源材料隔開，且第二加熱器將熱供應到蒸發室，以便防止通過蒸發室的經蒸發源材料相變為液態或固態。傳遞單元可包括桿單元，桿單元穿透蒸發室的頂部，桿單元耦合到第一加熱器，且桿單元和第一加熱器一起在蒸發室內上下往復運動；驅動源，驅動源供應用于使桿單元往復運動的驅動力；以及控制器，控制器連接到驅動源且控制桿單元的傳遞方向和速度。傳遞單元可包括桿單元，桿單元穿透蒸發室的底部，桿單元耦合到源容器，且桿 單元和源容器一起在蒸發室內上下往復運動；驅動源，驅動源供應用于使桿單元往復運動的驅動力；以及控制器，控制器連接到驅動源且控制桿單元的傳遞方向和速度。根據本發明的示范性實施例，提供用于供應材料的設備，所述設備蒸發將要作為薄膜沉積在襯底上的源材料，且所述設備將經蒸發源材料供應到面向襯底的噴射孔，所述設備包括源容器，將要沉積在襯底上的源材料以固態或液態容納在源容器的下部中，且經蒸發源材料在源容器的上部通過源容器；第一加熱器，第一加熱器安裝在位于源容器內的固體或液體源材料上方，且第一加熱器將熱供應到固體或液體源材料，以蒸發源材料；以及傳遞單元，傳遞單元使第一加熱器和源材料中的一者在與另一者接近或與另一者遠離的方向上往復運動。設備可進一步包含擋板，擋板提供在位于源容器內的第一加熱器上方，且擋板攔截從所述源容器的外側傳遞到內側的熱。設備可進一步包括冷卻器，冷卻器安裝在源容器的下部中，以便鄰近于液體或固體源材料，且冷卻器冷卻容納在源容器中的源材料；以及第二加熱器，第二加熱器安裝在源容器的上部中并與液體或固體源材料隔開，且第二加熱器將熱供應到源容器，以便防止通過源容器的經蒸發源材料相變為液態或固態。傳遞單元可包括桿單元，桿單元穿透源容器的頂部，桿單元耦合到第一加熱器，且桿單元和第一加熱器一起在源容器內上下往復運動；驅動源，驅動源供應用于使桿單元往復運動的驅動力；以及控制器，控制器連接到驅動源且控制桿單元的傳遞方向和速度。傳遞單元可包括桿單元，桿單元穿透源容器的底部，桿單元接觸源材料，且桿單元和源材料一起在源容器內上下往復運動；驅動源，驅動源供應用于使桿單元往復運動的驅動力；以及控制器，控制器連接到驅動源且控制桿單元的傳遞方向和速度。如上所述，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，源材料和用于將熱供應到源材料以蒸發源材料的加熱器提供在一個空間內，且根據源材料的蒸發量來調節源材料和加熱器之間的距離，從而，維持沉積在襯底上的有機發光二極管的恒定厚度而不管源材料的消耗如何，并制造出可靠的有機發光二極管。而且，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，在沒有媒介的情況下，熱直接從第一加熱器傳遞到源容器，以使得可通過對第一加熱器的溫度控制快速實現源容器中的源材料的升溫反應；源材料可穩定地蒸發，以實現均勻沉積和大面積沉積；且可防止大量源材料變性。此外，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，擋板用以完全攔截從蒸發室的外側傳遞到內側的熱，從而消除可影響蒸發源材料的量的外部因素。
根據結合附圖進行的對示范性實施例的以下描述，本發明的以上和/或其它方面將變得顯而易見且更容易理解，附圖中圖I為根據本發明的第一示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖；圖2為展示第一加熱器移動以接近圖I的用于供應材料的設備中的源容器的視圖。
圖3為根據本發明的第二示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖；圖4為根據本發明的第三示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖；以及圖5為根據本發明的第四示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖。
具體實施例方式下文中將參看
根據本發明的用于供應材料的設備的示范性實施例。圖I為根據本發明的第一示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖，且圖2為展示第一加熱器移動以接近圖I的用于供應材料的設備中的源容器的視圖。參看圖I和圖2，此示范性實施例中的用于供應材料的設備為能蒸發和供應將要以薄膜形式沉積在襯底上的有機物質的設備，所述設備包括源容器110、蒸發室120、第一加熱器130、傳遞單元140、擋板150、冷卻器160和第二加熱器170。本發明提供用于制造有機發光裝置(OLED)的設備，舉例來說，在所述設備中，用于示范性實施例中的源材料可為有機物質。圖I中所示的注射器10是與通道一起在內部形成，通道與連接管20連通，且注射器10具有噴射孔11，在注射器的末端處通過噴射孔11噴射經蒸發源材料I。此時，注射器10線性地形成，以使得噴射孔11經對準以面向襯底。此外，噴射孔11可以噴嘴的形式制成分離部分并耦合到注射器10的末端，或噴射孔11可以通孔的形式在注射器10的末端處一體模制而成。連接管20連接蒸發室120和注射器10，以使得通過稍后描述的第一加熱器130蒸發的源材料I可流向注射器10。連接管20可拆卸地連接到注射器10和蒸發室120。將要沉積在襯底10上的源材料I以固態或液態容納在源容器110中，源容器110的形狀像一側開啟的氣缸。舉例來說，源容器110由鎢材料制成，且源容器110設置在蒸發室120之下。源容器110在內部填有有機物質以作為將要沉積在襯底上的源材料I。蒸發室120具有內部空間，源容器110安裝在內部空間內。在蒸發室120的內部空間之下，源容器110被設置成與蒸發室120連通。在蒸發室120的內部空間上方，形成經蒸發源材料I通過的空間。以固態或液態容納在源容器110中的源材料I經第一加熱器130加熱，且經加熱源材料I在蒸發室120的內部空間中被向上氣化和蒸發。經蒸發源材料I通過蒸發室120且經由噴射孔11噴向襯底。源容器110可拆卸地耦合到蒸發室120。當將要沉積在襯底10上的源材料I (即，有機物質)填充在源容器110中時，暫停沉積工序，且源容器110與蒸發室120分離。此后，如果源材料I完全填充在源容器110中，那么，源容器110再次設置在蒸發室120的內部空間中，且重新開始沉積工序。向源容器110供應熱以便蒸發容納在源容器110中的源材料I的第一加熱器130安裝在蒸發室120內的源容器110上方。只要第一加熱器130可供應蒸發源材料I的熱能，第一加熱器130便可具有各種形狀。舉例來說，可使用磁心加熱器、燈加熱器等等。在此示范性實施例中，磁心加熱器用作第一加熱器130。此時，電阻性熱絲可包括Ta、W、Mo或以上物質的合金。然而，在此示范性實施例中，第一加熱器130安裝在與源容器110容納源材料I的空間相同的空間中，以使得來自第一加熱器130的熱可在無媒介的情況下直接傳遞到源容器1101。因此，可通過對第一加熱器130的溫度控制快速實現源容器110中的源材料I的·升溫反應。傳遞單元140在相互靠近或相互遠離的方向上使第一加熱器130和源容器110中的一者往復運動。在此示范性實施例中，使第一加熱器130往復運動。通過傳遞單元140，調節源容器110與第一加熱器130之間的距離，且因此有可能控制源容器110中蒸發的源材料I的量。舉例來說，如果經蒸發源材料I的量較小，那么在靠近源材料I的方向上傳遞第一加熱器130，且向源容器110供應更多的熱，從而增加源容器110中蒸發的源材料I的量。另一方面，如果經蒸發源材料I的量較多，那么在遠離源材料I的方向上傳遞第一加熱器130，且向源容器110供應更少熱，從而減少源容器110中蒸發的源材料I的量。根據源容器110中剩余的源材料I的量，有可能調節源容器110與第一加熱器130之間的距離。如果消耗掉源材料1，且因此源容器110中剩余的源材料I的體積減小了，那么只需向源容器110供應較少的熱以保持均勻的蒸發量。在這種情況下，在遠離源材料I的方向上傳遞第一加熱器130。另一方面，如果源容器110重新填有新源材料1，且源容器110中剩余的源材料I的體積增加，那么需向源容器110供應更多的熱以保持均勻的蒸發量。在這種情況下，在靠近源材料I的方向上傳遞第一加熱器130。在此示范性實施例中，傳遞單元140包括桿單元141、驅動源142及控制器143。桿單元141穿透蒸發室120的頂部，且耦合到第一加熱器130，以使得桿單元141可連同第一加熱器130 —起在蒸發室120內上下往復運動。此時，在蒸發室120中的桿單元141周圍提供波紋管144，且因此防止經蒸發源材料I附著到桿單元141上。當桿單元141經安裝以穿透蒸發室120的頂部時，有可能減小設備的整體尺寸。也就是說，蒸發且通過源材料I的區域與安裝桿單元141的區域部分重疊，以使得可相應減小用于固定桿單元141的全沖程而額外所需的空間。驅動源142提供用于使桿單元141往復運動的驅動力。只要驅動源142可做線性往復運動，驅動源142便可配置為各種形式。舉例來說，可使用所屬領域的技術人員眾所周知的氣動缸、線性電機、回轉電機與滾珠螺桿的組合及相似配置，且因此將省略對以上裝置的詳細描述。
控制器143連接到驅動源142且控制桿單元141的傳遞方向和速度。擋板150將攔截從蒸發室120外側傳遞到內側的熱，擋板150安裝在蒸發室120的內部空間中的第一加熱器130上方。
從容納在注射器10或連接管20中的經蒸發源材料I發射的熱可經由連通過程傳遞到蒸發室120的內部空間。在這種情況下，可視預料之外的外部因素改變蒸發源材料I的量，對量的控制是基于第一加熱器130與源材料I之間的距離或第一加熱器130的溫度。蒸發源材料I的量的改變直接影響有機發光二極管的厚度，并且導致有缺陷的產品。因此，擋板150用于完全攔截從蒸發室120外側傳遞到內側的熱，從而消除可影響蒸發源材料I的量的外部因素。擋板150的形狀像平板且與蒸發室120的內壁以預定距離間隔開。經蒸發源材料I可通過擋板150與蒸發室120的內壁之間的空間移動。冷卻器160冷卻容納在源容器110中的源材料1，以防止容納在源容器110中的源材料I由于來自第一加熱器130的熱而變性。冷卻器160安裝在源容器110的外側以便鄰近于液體或固體源材料1，且可配置為在蒸發室120下方環繞蒸發室120的外壁。冷卻器160可以是能夠冷卻填有源材料I的源容器110的內側的各種形式。在此示范性實施例中，使用冷卻套為例。通過用流動著冷卻劑的冷卻通道環繞蒸發室120的外壁來配置冷卻器160。第二加熱器170安裝在蒸發室120的上部以與液體或固體源材料I隔開，第二加熱器170向蒸發室120供應熱以防止通過蒸發室120的經蒸發源材料I相變到液態或固態。舉例來說，第二加熱器170可使用磁心加熱器、燈加熱器等等，且以此方式形成使得蒸發室120的上部外壁由電阻性熱絲環繞。此時使用的電阻性熱絲可包含Ta、W、Mo或以上物質的合金。如上所述，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，源材料及用于向源材料供應熱以蒸發源材料的加熱器提供在一個空間中，且根據源材料的蒸發量來調節源材料與加熱器之間的距離，從而保持沉積在襯底上的有機發光二極管的恒定厚度而不管源材料的消耗如何，并制造出可靠有機發光二極管。此外，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，熱在無媒介的情況下直接從第一加熱器傳遞到源容器，以使得可通過對第一加熱器的溫度控制快速實現源容器中的源材料的升溫反應；源材料可被穩定蒸發以實現均勻沉積和大面積沉積；且可防止大量源材料變性。進一步地，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，擋板用于完全攔截從蒸發室外側傳遞到內側的熱，從而減小可影響蒸發源材料的量的外部因素。此外，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，使第一加熱器而不是容納源材料的較重源容器往復運動，以避免過度負荷的傳遞運動，且使具有恒定質量的第一加熱器而不是質量視源材料的消耗而改變的源容器往復運動，以容易地控制傳遞運動。此外，在根據本發明的示范性實施例的用于供應材料的設備中，桿單元經安裝成穿透蒸發室的頂部，以使得蒸發且通過源材料的區域可與安裝桿單元的區域部分重疊，從而相應地減小用于固定全沖程而額外所需的空間且減小設備的整體尺寸。
圖3是根據本發明的第二示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖。參看圖3，根據本實施例的用于供應材料的設備200的特征在于，與其中使第一加熱器130往復運動的第一示范性實施例的設備不同，設備200使源容器110往復運動。在圖3中，元件具有與由圖I和圖2中所示的相同數字參考的元件的配置和功能相同的配置與功能，且因此將省略對這些元件的詳細描述。此示范性實施例中的傳遞單元240使源容器110往復運動，以在相互靠近或相互遠離的方向上往復地傳遞第一加熱器130及源容器110。通過傳遞單元240調節源容器110與第一加熱器130之間的距離而引起的影響與第一示范性實施例的影響相同，且因此將省略對此影響的詳細描述。在此示范性實施例中，傳遞單元240包括桿單元241、驅動源242及控制器243。桿單元241穿透蒸發室120的底部，且耦合到源容器110，以使得桿單元241可連 同源容器110 —起在蒸發室120內上下往復運動。驅動源242供應用于使桿單元241往復運動的驅動力，且控制器243連接到驅動源242且控制桿單元241的傳遞方向和速度。圖4是根據本發明的第三示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖。參看圖4，根據本實施例的用于供應材料的設備300的特征在于，源容器和蒸發室不是單獨提供，且源容器不僅僅容納源材料，而是還使經蒸發源材料從中通過。此外，根據此示范性實施例的用于供應材料的設備300包括源容器310、第一加熱器330、傳遞單元340、擋板350、冷卻器360及第二加熱器370。 源容器310容納將在源容器310下部中以固態或液態沉積在襯底上的源材料I，且在源容器310上部中使經蒸發源材料I從中通過。源容器310的下部填有有機物質以作為將沉積在襯底上的源材料I。由第一加熱器330加熱容納在源容器310的下部中的固體或液體源材料1，且朝向源容器310的上部氣化并蒸發經加熱源材料I。經蒸發源材料I通過源容器310且隨后經由噴射孔11朝向襯底噴射。向源容器310供應熱以便蒸發容納在源容器310中的源材料I的第一加熱器330安裝在源容器310內的源材料I上方。第一加熱器330的材料及功能與第一示范性實施例的第一加熱器130的材料及功能相同，且因此將省略對第一加熱器330的材料及功能的詳細描述。傳遞單元340在靠近源材料I或遠離源材料I的方向上使第一加熱器330往復運動。通過傳遞單元340調節第一加熱器330與源材料I之間的距離而引起的影響與第一示范性實施例的影響相同，且因此將省略對此影響的詳細描述。在此示范性實施例中，傳遞單元340包括桿單元341、驅動源342及控制器343。桿單元341穿透源容器310的頂部，且耦合到第一加熱器330，因此桿單元341可連同第一加熱器330 —起在源容器310內上下往復運動。此時，在源容器310內側的桿單元341周圍提供波紋管344，且因此防止經蒸發源材料I附著到桿單元341上。驅動源342供應用于使桿單元341往復運動的驅動力，且控制器343連接到驅動源342且控制桿單元341的傳遞方向和速度。擋板350將攔截從源容器310外側傳遞到內側的熱，擋板350安裝在源容器310的內部空間中的第一加熱器330上方。擋板350的功能和形狀與第一示范性實施例的擋板150的功能和形狀相同，且因此將省略對擋板350的功能和形狀的詳細描述。冷卻器160冷卻容納在源容器310中的源材料1，以防止容納在源容器110中的源材料I由于來自第一加熱器330的熱而變性。冷卻器360經安裝成環繞源容器310的下部中的源容器310的外壁，以便鄰近于液體或固體源材料I。冷卻器360的功能和形狀與第一示范性實施例的冷卻器160的功能和形狀相同，且因此將省略對冷卻器360的功能和形狀的詳細描述。第二加熱器370向源容器310供應熱，以防止通過源容器310的經蒸發源材料I相變到液態或固態，第二加熱器370安裝在源容器310的上部中，且與液體或固體源材料I隔開。第二加熱器370的功能和形狀與第一示范性實施例的第二加熱器170的功能和形 狀相同，且因此將省略對第二加熱器370的功能和形狀的詳細描述。圖5是根據本發明的第四示范性實施例的用于供應材料的設備的示意圖。參看圖5，根據此示范性實施例的用于供應材料的設備400的特征在于，往復地傳遞源材料I，這與其中往復地傳遞第一加熱器330的第三示范性實施例形成對比。在圖5中，元件具有與由圖4中所示的相同數字參考的元件的配置和功能相同的配置與功能，且因此將省略對這些元件的詳細描述。此示范性實施例中的傳遞單元440使源材料I往復運動，以在相互靠近I或相互遠離的方向上往復地傳遞第一加熱器330及源材料I。通過傳遞單元440調節第一加熱器330與源材料I之間的距離而引起的影響與第一示范性實施例的影響相同，且因此將省略對此影響的詳細描述。在此示范性實施例中，傳遞單元440包括桿單元441、驅動源442及控制器443。桿單元441穿透源容器310的底部且接觸源材料I。桿單元441連同源材料I 一起在源容器310內被上下往復地傳遞。驅動源442供應用于使桿單元441往復運動的驅動力，且控制器443連接到驅動源442且控制桿單元441的傳遞方向和速度。盡管已展示和描述了本發明的一些示范性實施例，但是所屬領域的技術人員應了解，可在這些實施例中進行改變，而不脫離本發明的原理及精神，在所附權利要求書及所附權利要求書的等效物中界定了本發明的范圍。
權利要求
1.ー種用于供應材料的設備，所述設備蒸發將要作為薄膜沉積在襯底上的源材料，且所述設備將經蒸發源材料供應給面向所述襯底的噴射孔，所述設備包含 源容器，將要沉積在襯底上的源材料以固態或液態容納在所述源容器中； 蒸發室，所述蒸發室包含用于將所述源容器安裝在其中的內部空間，且來自所述源容器的所述經蒸發源材料通過所述蒸發室； 第一加熱器，所述第一加熱器提供在位于所述蒸發室內的所述源容器上方，且所述第一加熱器將熱供應到所述源容器，以蒸發容納在所述源容器中的所述源材料；以及 傳遞單元，所述傳遞単元使所述第一加熱器和所述源容器中的一者在與另ー者接近或與另ー者遠離的方向上往復運動。
2.根據權利要求I所述的設備，其特征在于，所述設備進ー步包含擋板，所述擋板提供在位于所述蒸發室內的所述第一加熱器上方，且所述擋板攔截從所述蒸發室的外側傳遞到 內側的熱。
3.根據權利要求I所述的設備，其特征在于，所述設備進ー步包含 冷卻器，所述冷卻器安裝在所述蒸發室的下部中，以便鄰近于液體或固體源材料，且所述冷卻器冷卻容納在所述源容器中的源材料；以及 第二加熱器，所述第二加熱器安裝在所述蒸發室的上部中并與所述液體或固體源材料隔開，且所述第二加熱器將熱供應到所述蒸發室，以便防止通過所述蒸發室的所述經蒸發源材料相變為液態或固態。
4.根據權利要求I所述的設備，其特征在于，所述傳遞単元包含 桿單元，所述桿單元穿透所述蒸發室的頂部，所述桿單元耦合到所述第一加熱器，且所述桿單元和所述第一加熱器一起在所述蒸發室內上下往復運動； 驅動源，所述驅動源供應用于使所述桿單元往復運動的驅動カ；以及 控制器，所述控制器連接到所述驅動源且控制所述桿單元的傳遞方向和速度。
5.根據權利要求I所述的設備，其特征在于，所述傳遞単元包含 桿單元，所述桿單元穿透所述蒸發室的底部，所述桿單元耦合到所述源容器，且所述桿単元和所述源容器一起在所述蒸發室內上下往復運動； 驅動源，所述驅動源供應用于使所述桿單元往復運動的驅動カ；以及 控制器，所述控制器連接到所述驅動源且控制所述桿單元的傳遞方向和速度。
6.ー種用于供應材料的設備，所述設備蒸發將要作為薄膜沉積在襯底上的源材料，且所述設備將經蒸發源材料供應給面向所述襯底的噴射孔，所述設備包含 源容器，將要沉積在襯底上的所述源材料以固態或液態容納在所述源容器的下部中，且所述經蒸發源材料在所述源容器的上部中通過所述源容器； 第一加熱器，所述第一加熱器安裝在位于所述源容器內的所述固體或液體源材料上方，且所述第一加熱器將熱供應到所述固體或液體源材料，以蒸發所述源材料；以及 轉移單元，所述轉移単元使所述第一加熱器和所述源材料中的一者在與另ー者接近或與另ー者遠離的方向上往復運動。
7.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述設備進ー步包含擋板，所述擋板提供在位于所述源容器內的所述第一加熱器上方，且所述擋板攔截從所述源容器的外側傳遞到內側的熱。
8.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述設備進ー步包含 冷卻器，所述冷卻器安裝在所述源容器的下部中，以便鄰近于液體或固體源材料，且所述冷卻器冷卻容納在所述源容器中的源材料；以及 第二加熱器，所述第二加熱器安裝在所述源容器的上部中并與所述液體或固體源材料隔開，且所述第二加熱器將熱供應到所述源容器，以便防止通過所述源容器的所述經蒸發源材料相變為液態或固態。
9.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述傳遞単元包含 桿單元，所述桿單元穿透所述源容器的頂部，所述桿單元耦合到所述第一加熱器，且所述桿單元和所述第一加熱器一起在所述源容器內上下往復運動； 驅動源，所述驅動源供應用于使所述桿單元往復運動的驅動カ；以及 控制器，所述控制器連接到所述驅動源且控制所述桿單元的傳遞方向和速度。
10.根據權利要求6所述的設備，其特征在于，所述傳遞単元包含 桿單元，所述桿單元穿透所述源容器的底部，所述桿單元接觸所述源材料，且所述桿單元和所述源材料一起在所述源容器內上下往復運動； 驅動源，所述驅動源供應用于使所述桿單元往復運動的驅動カ；以及 控制器，所述控制器連接到所述驅動源且控制所述桿單元的傳遞方向和速度。
全文摘要
本發明揭示一種用于供應材料的設備，所述設備蒸發將要作為薄膜沉積在襯底上的源材料，且所述設備將經蒸發源材料供應到面向襯底的噴射孔，所述設備包括源容器，將要沉積在襯底上的源材料以固態或液態容納在源容器中；蒸發室，蒸發室包括用于將源容器安裝在其中的內部空間，且來自源容器的經蒸發源材料通過蒸發室；第一加熱器，第一加熱器提供在位于蒸發室內的源容器上方，且第一加熱器將熱供應到源容器，以蒸發容納在源容器中的源材料；以及傳遞單元，傳遞單元使第一加熱器和源容器中的一者在與另一者接近或與另一者遠離的方向上往復運動。
文檔編號C23C14/24GK102732841SQ20121012033
公開日2012年10月17日 申請日期2012年4月13日 優先權日2011年4月13日
發明者安祐正, 宋基哲, 趙晃新, 鄭勝哲 申請人:韓商Snu精密股份有限公司