專利名稱：鉆石晶圓拋光機加力裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及鉆石晶圓拋光機改進技術，具體涉及一種鉆石晶圓拋光機加力裝置。
背景技術：
對鉆石晶圓加工利用中使用的拋光機，其根據磨削量，主軸在高速旋轉的同時還要沿軸向磨盤ー個推力，以確保磨削力度和磨削補償。同時，還要考慮加力的大小，滿足對不同鉆石進行不同程度的加力要求。現有的鉆石晶圓拋光機主軸雖然采用了弾性加力裝置，但是還存在對所加力的力度調整問題。實用新型內容本實用新型針對目前現有狀況存在的問題和不足，提出一種鉆石晶圓拋光機加力裝置。本實用新型所采用的技術方案一種鉆石晶圓拋光機加力裝置，包括一個套管式的外売，該外殼內腔設置有臺階面，臺階面上側為軸向螺紋孔，臺階面下側為軸向通孔，所述軸向螺紋孔中安裝有調節螺桿，軸向通孔內套裝有彈簧，彈簧下端連接活動桿，該活動桿的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動，活動桿下端與主軸滑動配合。調節螺桿與彈簧之間可以設置墊片。彈簧與活動桿之間可以設置墊片。本實用新型的積極效果在活動桿與彈簧上側設置調節螺桿，通過選擇調節螺桿進行加力，其加力的大小可以隨時調整，滿足加工需求，其結構簡單，容易制造或改造，操作簡便，控制精度高，非常利于推廣實施。
圖I是本實用新型剖面結構示意圖。圖中標號I為外売，2為調節螺桿，3為(外殼內腔的)軸向通孔，4為活動桿，5為彈簧。
具體實施方式
參見圖1，該鉆石晶圓拋光機加力裝置包括一個套管式的外殼1，該外殼I內腔設置有臺階面，臺階面上側為軸向螺紋孔，軸向螺紋孔中安裝有調節螺桿。臺階面下側為軸向通孔3，軸向通孔3內套裝有彈簧5，彈簧5下端連接活動桿4，該活動桿4的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動，活動桿4下端與主軸滑動配合。同時，還可以在調節螺桿與彈簧之間設置墊片，以及在彈簧與活動桿之間設置墊片。
權利要求1.一種鉆石晶圓拋光機加力裝置，其特征是包括一個套管式的外売，該外殼內腔設置有臺階面，臺階面上側為軸向螺紋孔，臺階面下側為軸向通孔，所述軸向螺紋孔中安裝有調節螺桿，軸向通孔內套裝有彈簧，彈簧下端連接活動桿，該活動桿的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動，活動桿下端與主軸滑動配合。
2.根據權利要求I所述的鉆石晶圓拋光機加力裝置，其特征是調節螺桿與彈簧之間設置有墊片。
3.根據權利要求I所述的鉆石晶圓拋光機加力裝置，其特征是彈簧與活動桿之間設置有墊片。
專利摘要本實用新型公開了一種鉆石晶圓拋光機加力裝置，包括一個套管式的外殼，該外殼內腔設置有臺階面，臺階面上側為軸向螺紋孔，臺階面下側為軸向通孔，所述軸向螺紋孔中安裝有調節螺桿，軸向通孔內套裝有彈簧，彈簧下端連接活動桿，該活動桿的一部分套裝于軸向通孔中并能軸向滑動，活動桿下端與主軸滑動配合，本實用新型是在活動桿與彈簧上側設置調節螺桿，通過選擇調節螺桿進行加力，其加力的大小可以隨時調整，滿足加工需求，其結構簡單，容易制造或改造，操作簡便，控制精度高，非常利于推廣實施。
文檔編號B24B9/16GK202399110SQ20112048462
公開日2012年8月29日 申請日期2011年11月29日 優先權日2011年11月29日
發明者廖治國, 溫峰城, 苑執中 申請人:臺鉆科技(鄭州)有限公司