專利名稱：熱絲cvd鎢絲固定拉直張緊機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及ー種鎢絲固定拉直張緊機構，特別涉及ー種熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構。
背景技術：
人造鉆石是ー種由直徑10到30納米的鉆石結晶聚合而成的多結晶鉆石，在上世紀五十年代ー種叫化學氣相沉淀(CVD)的制造合成鉆石的方法被成功研發出來，熱絲CVD 系統中化學反應的能量是靠鎢絲發熱提供的，襯底也是靠鎢絲的熱輻射而加熱到一定的生長溫度的，因而鎢絲的形狀影響著鎢絲與襯底的距離。在人造鉆石沉淀積聚時，鎢絲由于發熱溫度較高會不斷的發生形變，從而導致鎢絲與襯底的水平距離不一致，造成產出的鉆石品質下降。
實用新型內容本實用新型的目的是為了克服現有技術的不足，從而提供ー種使用方便的熱絲 CVD鎢絲固定拉直張緊機構。本實用新型的技術方案—種熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構，包含有左支撐架、右支撐架、鎢絲、正極鑰棒、負極鑰棒，所述正、負極目棒固定在左、右支撐架的相對端，鶴絲一端固定在正極鑰棒上，另一端安放在負極鑰棒上，并與ー個角鋼形狀的拉直張緊機構的豎端固緊，角鋼形狀的拉直張緊機構的豎直端和水平端固接處設有ー鉸鏈，所述鉸鏈固定在右支撐架厚度中，在角鋼形拉直張緊機構可圍繞該鉸鏈旋轉，角鋼形拉直張緊機構的水平端連接有ー個配重。角鋼形狀的拉直張緊機構的水平端與豎直端的夾角為15° 165°。熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構被包含于CVD反應室中，在鎢絲正下面設置有沉積臺。本實用新型的有益效果是本實用新型的熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構，結構簡單，易于推廣，巧妙的利用了杠桿原理，采用ー個張直拉緊機構使加熱鎢絲一直保持張緊拉直的狀態，從而有效的保持了鎢絲與襯底的水平距離的一致，極大的保證了所生產鉆石的品質。
圖I是本實用新型的熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構的剖視結構示意圖。圖中標號I為CVD反應室,標號2為負極鑰棒,標號3為拉直張緊機構,標號4為鉸鏈，標號5為右支撐架,標號6為配重,標號7為沉積臺,標號8為左支撐架,標號9為正極鑰棒，標號10為鎢絲。
具體實施方式
參見圖1，一種熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構被包含于CVD反應室I里，[0015]CVD反應室I內固定有左、右支撐架8和5，在左、右支撐架上分別設有正極鑰棒9 和負極鑰棒2，鎢絲10的一端固定在正極鑰棒9上，另一端安放在負極鑰棒2上并與直角的角鋼形狀的拉直張緊機構3的豎端固緊，角鋼形狀的拉直張緊機構3的豎直端和水平端固接處設有ー鉸鏈4，鉸鏈4固定在右支撐架5厚度中，在角鋼形拉直張緊機構3可圍繞鉸鏈4旋轉，角鋼形拉直張緊機構的水平端連接有一個配重6，由于配重的重力作用，使得角鋼形拉直張緊機構3 —直拉直鎢絲10，使得鎢絲10與其正下方的沉積臺7的距離保持一致，從而保證了生長出來的鉆石的品質。
權利要求1.一種熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構，包含有左支撐架、右支撐架、鎢絲、正極鑰棒、 負極鑰棒，其特征是所述正、負極目棒固定在左、右支撐架的相對端，鎢絲一端固定在正極鑰棒上，另一端安放在負極鑰棒上，并與ー個角鋼形狀的拉直張緊機構的豎端固紫，角鋼形狀的拉直張緊機構的豎直端和水平端固接處設有ー鉸鏈，所述鉸鏈固定在右支撐架厚度中，在角鋼形拉直張緊機構可圍繞該鉸鏈旋轉，角鋼形拉直張緊機構的水平端連接有ー個配重。
2.根據權利要求I所述的熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構，其特征是所述角鋼形狀的拉直張緊機構的水平端與豎直端的夾角為15° 165°。
3.根據權利要求I所述的熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構，其特征是所述熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構被包含于CVD反應室中，在鎢絲正下面設置有沉積臺。
專利摘要一種熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構，包含有左支撐架、右支撐架、鎢絲、正極鉬棒、負極鉬棒，所述正、負極目棒固定在左、右支撐架的相對端，鎢絲一端固定在正極鉬棒上，另一端安放在負極鉬棒上，并與一個角鋼形狀的拉直張緊機構的豎端固緊，角鋼形狀的拉直張緊機構的豎直端和水平端固接處設有一鉸鏈，所述鉸鏈固定在右支撐架厚度中，在角鋼形拉直張緊機構可圍繞該鉸鏈旋轉，角鋼形拉直張緊機構的水平端連接有一個配重，本實用新型的熱絲CVD鎢絲固定拉直張緊機構有效的保持了鎢絲與襯底的水平距離的一致，極大的保證了所生產鉆石的品質。
文檔編號C23C16/48GK202337820SQ20112048460
公開日2012年7月18日 申請日期2011年11月29日 優先權日2011年11月29日
發明者溫峰城, 苑執中 申請人:臺鉆科技(鄭州)有限公司