專利名稱：鍍膜玻璃實驗線的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及玻璃工業領域，尤其涉及一種鍍膜玻璃實驗線。
背景技術：
在玻璃工業領域，鍍膜玻璃實驗線主要是利用真空磁控濺射的方法研究開發小面積、小產量的鍍膜玻璃產品，其主要應用方式為在玻璃上根據產品工藝要求，鍍制不同的金屬膜或氧化物膜等，以改善其光學性能，將鍍膜玻璃用于顯示器、光學玻璃等產品上。目前， 鍍膜玻璃實驗線主要采用單體磁控濺射鍍膜機進行鍍膜操作，其可實現AR薄膜、半透鏡薄膜以及ITO薄膜等在玻璃襯底上的沉積。發明人在實施本實用新型過程中，發現現有技術至少存在如下技術問題由于單體磁控濺射鍍膜機只能對樣品進行一次鍍膜，所以樣品在一次鍍膜后需要首先轉換到大氣中，再在配備好下一次鍍膜條件的單體磁控濺射鍍膜機中進行下一次真空環境下的鍍膜，因此，樣品在真空與大氣狀態之間的轉換頻繁，轉換時間長且效率低下，延長了研究開發新產品周期，造成了企業成本的增加。
實用新型內容本實用新型實施例所要解決的技術問題在于，提供一種可同時完成多樣片制作或同時進行多層膜樣品制作的鍍膜玻璃實驗線，以提高生產效率，減短制備周期，節約成本。為解決上述技術問題，提供了一種鍍膜玻璃實驗線，包括鍍膜室、設置于所述鍍膜室中的濺射裝置及與所述鍍膜室相連的抽真空裝置，所述濺射裝置包括放置樣品的旋轉基片架、驅動所述旋轉基片架旋轉的動力源，以及至少兩副設置于所述旋轉基片架對應位置的孿生靶。進一步地，所述旋轉基片架呈筒狀設置于所述鍍膜室中部，所述孿生靶放置于所述旋轉基片架外側。進一步地，所述抽真空裝置包括依次級聯的旋片泵、羅茨泵及分子泵，所述分子泵與所述鍍膜室相連。進一步地，所述孿生靶連接有中頻電源進行供電。進一步地，所述動力源為伺服馬達。
上述技術方案至少具有如下有益效果 通過提供一種鍍膜玻璃實驗線，其濺射裝置采用了由動力源驅動旋轉的旋轉基片架以及用于鍍膜濺射的至少兩副孿生靶，因此，在旋轉基片架旋轉之時，采用至少兩副孿生靶進行鍍膜濺射，可同時完成多樣片制作，或者同時進行多層膜樣品制作，大大提高了生產效率，并減短了制備周期，節約了成本；另外，采用旋片泵、羅茨泵及分子泵組成的三級泵可大幅提高鍍膜室內的真空度；采用中頻電源對孿生靶進行供電，可提供穩定的功率，實現靶材的穩定濺射。
圖1是本實用新型實施例的鍍膜玻璃實驗線的結構示意圖。
具體實施方式
參照圖1及圖2，本實用新型實施例提供了一種鍍膜玻璃實驗線，其主要包括鍍膜室1、設置于鍍膜室1中的濺射裝置及與鍍膜室1相連的抽真空裝置，其中，濺射裝置包括放置樣品的旋轉基片架2、驅動旋轉基片架2旋轉的動力源3，以及至少兩副設置于旋轉基片架2對應位置的孿生靶4。旋轉基片架2可呈筒狀并設置于鍍膜室1中部，孿生靶4可對應放置于旋轉基片架2的外側且成包圍狀設置，這樣，在旋轉基片架2旋轉之時，采用至少兩副孿生靶4進行鍍膜濺射，可同時完成多樣片制作，或者同時進行多層膜樣品制作，大大提高了生產效率， 并減短了制備周期，節約了成本。為了進一步提高鍍膜室的真空度，上述抽真空裝置可由依次級聯的旋片泵5、羅茨泵6及分子泵7組成，分子泵7與鍍膜室1相連，一般采用這種抽真空裝置，可實現鍍膜室 1內真空度達到10E-4Pa。為了實現靶材的穩定濺射，孿生靶4可連接有中頻電源進行供電。作為一種實施方式，上述動力源3可以是伺服馬達或電動機或液壓動力機等。以上所述是本實用新型的具體實施方式
，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本實用新型的保護范圍。
權利要求1. 一種鍍膜玻璃實驗線，包括鍍膜室、設置于所述鍍膜室中的濺射裝置及與所述鍍膜室相連的抽真空裝置，其特征在于，所述濺射裝置包括放置樣品的旋轉基片架、驅動所述旋轉基片架旋轉的動力源，以及至少兩副設置于所述旋轉基片架對應位置的孿生靶。
2.如權利要求1所述的鍍膜玻璃實驗線，其特征在于，所述旋轉基片架呈筒狀設置于所述鍍膜室中部，所述孿生靶放置于所述旋轉基片架外側。
3.如權利要求1所述的鍍膜玻璃實驗線，其特征在于，所述抽真空裝置包括依次級聯的旋片泵、羅茨泵及分子泵，所述分子泵與所述鍍膜室相連。
4.如權利要求1所述的鍍膜玻璃實驗線，其特征在于，所述孿生靶連接有中頻電源進行供電。
5.如權利要求1至4中任一項所述的鍍膜玻璃實驗線，其特征在于，所述動力源為伺服馬達。
專利摘要本實用新型實施例涉及一種鍍膜玻璃實驗線，其濺射裝置采用了由動力源驅動旋轉的旋轉基片架以及用于鍍膜濺射的至少兩副孿生靶，因此，在旋轉基片架旋轉之時，采用至少兩副孿生靶進行鍍膜濺射，可同時完成多樣片制作，或者同時進行多層膜樣品制作，大大提高了生產效率，并減短了制備周期，節約了成本。
文檔編號C23C14/35GK201933147SQ201120011638
公開日2011年8月17日 申請日期2011年1月15日 優先權日2011年1月15日
發明者光宣標, 徐天輔, 徐日宏 申請人:深圳市三鑫精美特玻璃有限公司