專利名稱：蒸鍍掩膜板對位系統的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種用于有機蒸鍍工藝中的蒸鍍掩膜板對位系統。
背景技術：
過去，用作顯示設備的主要是陰極射線管(CRT)設備，近幾年，諸如等離子顯示面板(PDP)設備、液晶顯示(LCD)設備和有機電致發光顯示(Organic Light EmittingDisplay,以下簡稱0LED)設備的平板顯示設備得到了廣泛研究和使用。在這些平板顯示設備中，由于OLED設備與液晶顯示(IXD)設備不同，為自發光的且不需要額外光源，所以OLED設備具有厚度薄，重量輕，響應速度快，視角廣、色彩飽和度高等優點并引起了人們廣泛關注，越來越多的OLED被應用于顯示和照明領域。OLED設備可以分為無源矩陣型OLED (PMOLED)和有源矩陣型OLED (AMOLED)，無論是那種方式，都需要使用蒸鍍掩膜板(shadow mask)。伴隨著超高分辨率的屏幕出現，蒸鍍掩膜板對位系統精度就要求更高，對位系統的精度直接影響到屏幕質量，提高對位系統的速度可以縮短產品的出貨時間。現有的蒸鍍掩膜板對位系統中，都有兩個圖形:基板上一個圖形，掩膜板上一個圖形。將二者完全中心吻合就證明對位完成，但是這樣會出現一個問題，新的掩膜板到貨后需要進行校驗，這種對位方式必然導致檢驗時需要蒸鍍好多片基板，進行對位后蒸鍍，取出來校正，再更正坐標，再蒸鍍，往復好多次，這樣既浪費時間，又浪費基板和有機材料。
發明內容
本發明的目的在于 提供一種對位方便的蒸鍍掩膜板對位系統。為實現前述目的，本發明采用如下技術方案:一種蒸鍍掩膜板對位系統，其包括設置在掩膜板的四個邊角上的第一對位標識、設置在基板上的四個用以分別和第一對位標識進行相對位的第二對位標識、以及設置在掩膜板正上方的用以判斷第一對位標識和第二對位標識是否對齊吻合的四個攝像頭，該攝像頭分別具有觀察到第一對位標識和第二對位標識的可視范圍。作為本發明的進一步改進，所述第一對位標識上和第二對位標識具有與可視范圍相交的對位標識延長線。作為本發明的進一步改進，所述對位標識延長線與可視范圍相交形成至少兩個相交點。作為本發明的進一步改進，位于掩膜板對角線上的兩個可視范圍內的對位標識延長線上標有刻度。作為本發明的進一步改進，相鄰的兩根對位標識延長線相位于同一條直線上。作為本發明的進一步改進，所述第一對位標識和第二對位標識完全相同。作為本發明的進一步改進，所述第一對位標識和第二對位標識均為“十”字形。本發明通過在掩膜板的四個邊角上設置對位標識，對應的基板上也設置有四個對位標識，只要讓掩膜板上的四個對位標識和基板上四個的對位標識完全吻合，就證明對位完成，如果出現偏差也可以直接進行補償，不需要打開腔室進行測量重新定位，這樣可以節省大量的時間，并且可以節省基板和有機材料。
圖1為現有蒸鍍掩膜板對位系統中掩膜板及其對位標識的示意圖。圖2為本發明蒸鍍掩膜板對位系統中掩膜板及其對位標識的示意圖。圖3為本發明蒸鍍掩膜板對位系統中的掩膜板和基板發生角度偏差時的示意圖。圖4為本發明蒸鍍掩膜板對位系統中的掩膜板和基板發生位移偏差時的示意圖。
具體實施例方式請參見圖1所示的一種現有的蒸鍍掩膜板對位系統中的掩膜板，該掩膜板的對位系統為設置在掩膜板I的兩對角上的一對“十”字形對位標識11，在使用新的蒸鍍掩膜板時，都要對該掩膜板和基板進行初調，確定各坐標的值，這個過程需要幾片到十幾片的薄膜晶體管(Thin FilmTransistor,以下簡稱TFT)基板進行對位,并且每次初調都必須蒸鍍有機材料到TFT基板，然后將基板取出放到顯微鏡下進行測試，既浪費時間也浪費材料。本發明的蒸鍍掩膜板對位系統可適用于有機電致發光器件(Organic LightEmitting Diode，以下簡稱0LED)、有源矩陣有機發光顯示器(AMOLED)以及有機薄膜晶體管(OTFT)等有機蒸鍍時使用。蒸鍍掩膜板對位系統包括設置在掩膜板5的四個邊角上的四個“十”字形第一對位 標識51，并且對應四個第一對位標識51上方均安放有四個CCD(charge-coupled device,電荷稱合器件)攝像頭進行對位，圖2中的圓形區域即為CXD攝像頭的可視范圍52，所述第一對位標識51沿平行于掩膜板5的四個邊緣延伸形成與可視范圍相交的對位標識延長線53，對位標識延長線與可視范圍相交形成至少兩個相交點。蒸鍍掩膜板對位系統包括設置在基板上的四個第二對位標識61，只要讓掩膜板5上的四個第一對位標識51和基板上的四個第二對位標識61完全對齊吻合，就證明其對位完成，如果出現偏差也可以直接進行補償，不需要打開腔室進行測量重新定位。位于掩膜板5和基板對角線上的兩個可視范圍52內的對位標識延長線上標有刻度，當然，所有的對位標識延長線53上都可以標有刻度。相鄰的兩根對位標識延長線相位于同一條直線上。所述第一對位標識51和第二對位標識61完全相同，可以均為“十”字形。請參見圖3所示，所述CCD鏡頭顯示掩膜板5和基板偏差一定角度，此時，掩膜板5的第一對位標識51與基板的第二對位標識61之間形成一角度。請參見圖4所示，CXD鏡頭顯示掩膜板5和基板偏差一定位移時，此時，掩膜板5的對位標識51與基板的對位標識61之間形成一定間距。綜上所述，本發明通過在掩膜板5的四個邊角上設置第一對位標識51，對應的基板上也設置有四個第二對位標識61，只要讓掩膜板5上的四個第一對位標識51和基板上四個的第二對位標識61完全吻合，就證明對位完成，如果出現偏差也可以直接進行補償，不需要打開腔室進行測量重新定位，這樣可以節省大量的時間，并且可以節省基板和有機材料。
盡管為示例目的，已經公開了本發明的優選實施方式，但是本領域的普通技術人員將意識到，在不脫離由所附的權利要求書公開的本發明的范圍和精神的情況下，各種改進、增加以及取代是可 能的。
權利要求
1.一種蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:其包括設置在掩膜板的四個邊角上的第一對位標識、設置在基板上的四個用以分別和第一對位標識進行相對位的第二對位標識、以及設置在掩膜板正上方的用以判斷第一對位標識和第二對位標識是否對齊吻合的四個攝像頭，該攝像頭分別具有觀察到第一對位標識和第二對位標識的可視范圍。
2.根據權利要求1所述的蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:所述第一對位標識上和第二對位標識具有與可視范圍相交的對位標識延長線。
3.根據權利要求2所述的蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:所述對位標識延長線與可視范圍相交形成至少兩個相交點。
4.根據權利要求2所述的蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:位于掩膜板對角線上的兩個可視范圍內的對位標識延長線上標有刻度。
5.根據權利要求2所述的蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:相鄰的兩根對位標識延長線相位于同一條直線上。
6.根據權利要求1所述的蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:所述第一對位標識和第二對位標識完全相同。
7.根據權利要求 1所述的蒸鍍掩膜板對位系統，其特征在于:所述第一對位標識和第二對位標識均為“十”字形。
全文摘要
本發明公開了一種蒸鍍掩膜板對位系統，其包括設置在掩膜板的四個邊角上的第一對位標識、設置在基板上的四個用以分別和第一對位標識進行相對位的第二對位標識、以及設置在掩膜板正上方的用以判斷第一對位標識和第二對位標識是否對齊吻合的四個攝像頭，該攝像頭分別具有觀察到第一對位標識和第二對位標識的可視范圍，如此可以節省對位時間，并且可以節省基板和有機材料。
文檔編號C23C14/04GK103160775SQ201110417068
公開日2013年6月19日 申請日期2011年12月14日 優先權日2011年12月14日
發明者敖偉, 邱勇, 陳紅, 黃秀頎, 何麟 申請人:昆山工研院新型平板顯示技術中心有限公司