反射膜層疊體的制作方法

專利名稱：反射膜層疊體的制作方法
技術領域：
本發明涉及反射膜層疊體和具備該反射膜層疊體的車輛用燈具、照明器具、光學
背景技術：
純Al膜具有高反射率(88% 90% )，因此，作為車輛用燈具和照明器具、或裝飾 品等的反射膜使用。反射膜所需要的耐久性中包括耐酸性、耐堿性、耐溫水性、耐熱性、耐濕 性、耐硫化性、耐鹽水性等。但是，由于純Al膜是兩性金屬，所以對酸和堿的耐蝕性低。因 此，在將由純Al膜構成的反射膜(純Al反射膜)使用于車輛用燈具等時，存在反射膜短期 劣化，不能長時間維持高反射率的問題。作為長時間維持純Al反射膜的高反射率的方法，有在純Al反射膜的表面形成具 有酸堿耐蝕性的保護膜的方法。但是，該方法在保護膜上存在針孔等缺陷時，經該缺陷部分 純Al反射膜的腐蝕(氧化或溶出)發生，導致反射率降低。該針孔等缺陷引起的反射率的 降低能夠通過加厚保護膜的厚度得到抑制，但是，制品的生產性降低，成本升高，因此，并非 是有效手段。鑒于上述情況，在專利文獻1中公開了在反射膜的表面形成難以發生針孔等缺陷 的保護膜(頂覆層(卜W 二一卜))的方法。具體地說，在真空槽中在等離子體容易產生 的壓力環境下，導入HMDS(六甲基二硅胺)或TEOS(四乙氧基硅烷)等的頂覆材的單體，使 所述單體在等離子體中聚合在反射膜的表面析出，在索素華反射膜的表面設置頂覆材的方 法。但是，在該方法中，由于需要維護(真空槽的清理等)用于形成保護膜(頂覆層)的裝 置，所以制品的生產性下降。另外，上述專利文獻1中公開了在樹脂基材之上順序形成底覆 層、等離子體處理層和頂覆層的層疊體，也存在厚膜化產生的反射率降低的問題。另外，作為長時間維持純Al反射膜的高反射率的方法，還公開了用其他元素將Al 合金化的方法。例如在專利文獻2中公開了添加了周期表的IIIa族、IVa族、Va族、VIa族、 VIIa族、VIII族的轉移金屬元素的Al合金反射膜。但是，該Al合金反射膜雖然在從酸性 到中性的區域中顯示優異的耐蝕性，但是，合金設計思想是形成化學穩定的惰態，完全沒有 考慮惰性皮膜的溶解導致的腐蝕進行的堿性區域的耐蝕性的提高。因此，在存在針孔缺陷 時，經該缺欠部分發生Al合金反射膜的腐蝕(堿導致的溶出)，產生反射率下降的問題。另外，頭等和尾燈等車輛用燈具還存在容易內部結露產生水滴的問題。其原因是 含有濕氣的外部氣體侵入車輛用燈具的內部，并且，被亮燈時光源發出的熱加熱，而在燈滅 時被外部氣體或雨等冷卻，這種加熱冷卻反復的原因。而且，水滴產生時會導致車輛用燈具 所具備的反射膜的透明化(氧化)和反射率的下降。因此，無論是耐酸性還是耐堿性，均強 烈希望耐溫水性優異的反射膜。同樣的問題也發生在照明器具和光學鏡等中。專利文獻1 特開平11-221517號公報專利文獻2 特開平7-301705號公報

發明內容
本發明鑒于上述情況而形成，本發明的目的在于以高生產性、低成本提供具有極 力減少針孔的保護膜，并作為其結果提高具有純Al膜或Al基合金膜(以下，也稱為Al膜) 的反射膜層疊體的耐堿性和耐溫水性，在堿環境和溫水環境中的Al的溶出和氧化引起的 Al膜的反射率的下降難以發生的反射膜層疊體。

能夠解決上述課題的本發明的反射膜層疊體在基體上作為第1層具有純Al膜或 Al基合金膜，在所述第1層上作為第2層具有包括從由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si和 Mo構成的群中選出的一種以上元素的金屬的氧化物膜，所述第2層的厚度為0. 1 lOnm。還有，在本發明說明書中所述“基體上”或“層上”包括第1層和第2層上下設置 的情況，也包括經其他的膜設置的情況。另外，在本發明說明書中，所謂“包括從…選出的一種以上元素的金屬的氧化物” 是指形成第2層的氧化物膜的金屬，包括上述群的元素中的至少一種。具體地說，上述金屬 可以僅由上述群中的元素構成，或者也可以在上述群中的元素之外，在不阻礙上述群中的 元素的使用效果的范圍內含有上述群中不含有的其他元素。上述“其他元素”例如可以例 舉 Al、Fe、Cu 等。本發明的反射膜層疊體的優選形態為，所述第1層是含有0. 05 2. 5原子％的 稀土金屬元素的Al基合金膜，是含有0. 05 3原子％的ττ的Al基合金膜，另外是含有 0. 2 6. 3原子％的Mg的Al基合金膜。還有，在本發明說明書中，所謂“稀土金屬元素”是指鑭系元素，還有Sc和Y元素。另外，本發明中的“純Al膜”是指含有98. 5原子％以上的Al，余量是不可避免的 雜質。還有，不可避免的雜質是稀土金屬元素或&時，其含有率分別低于0.05原子％。另 夕卜，不可避免的雜質是Mg時，Mg含有率低于0. 2原子％。本發明的反射膜層疊體的優選形態為，作為所述第2層具有由從&、Cr、Nb、Ta和 Ti構成的群中選出的一種以上的元素構成的金屬的氧化物膜。在本發明中，所述反射膜層疊體的制造方法包括在基體上形成所述第1層的工 序；使用由所述元素的金屬構成的濺射靶在所述第1層上進行濺射形成濺射金屬薄膜，接 著在含有氧的氣氛中使所述濺射金屬薄膜氧化，形成所述第2層的工序。在本發明說明書中，所謂“氧化”是指不論氧化的意圖，包括將所述濺射金屬薄膜 暴露于含有氧的氣氛下，至少使其一部分氧化的全部形態。例如，包括在含有氧的氣氛中有 意圖地使所述濺射金屬薄膜氧化的情況和將僅在第1層上形成有濺射金屬薄膜的層疊體 放置在含有氧的氣氛中，由此作為結果所述濺射金屬薄膜被氧化的情況。在本發明中，在第1層上形成具有包括規定元素的金屬的氧化物膜的第2層時，使 用由上述金屬元素構成的濺射靶(并非是金屬氧化物的濺射靶)進行濺射形成濺射金屬薄 膜，接著對該濺射金屬薄膜進行氧化處理，因此，能夠得到金屬氧化時的體積膨脹產生的針 孔封孔效果。在本發明中還包括具備所述反射膜層疊體的車輛用燈具、照明器具、光學鏡。本發明的反射膜層疊體通過含有規定元素的金屬的氧化物膜(第2層)來保護第 1層的Al膜，因此，在堿環境和溫水環境下能夠抑制Al膜的溶出和氧化，提高耐堿性和耐溫 水性，長時間維持高反射率。另外，由于能夠長時間維持高反射率，所以將本發明的反射膜層疊體作為車輛用燈具、照明器具、光學鏡使用，能夠提高它們的耐久性。
具體實施例方式本發明的反射膜層疊體在基體上作為第1層具有純Al膜或Al基合金膜，在所述 第1層上作為第2層具有包括從由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si和Mo構成的群中選出的 一種以上元素的金屬的氧化物膜，所述第2層的厚度為0. 1 lOnm。
本發明者們為了提供使用Al膜的反射膜層疊體，即具有車輛用燈具、照明器具、 光學鏡等所要求的高反射率，而且能夠防止由于堿導致的Al的溶出的反射膜層疊體，進行 了銳意研究。作為其結果發現，在Al膜上形成作為第2層的含有ττ等規定元素的金屬的 氧化物膜有效。對于本發明的反射膜層疊體具有優異的耐堿性和耐溫水性的詳細原理尚不清楚， 但進行了如下的推斷。即形成第2層的&等金屬的氧化物膜，水分或堿難以擴散、滲透，另外，其自身具 有優異的耐堿性、耐溫水性。另外，如后所述，本發明中，在第2層的形成時，預先形成含有 Zr等規定元素的金屬膜后，使該金屬膜氧化作為金屬氧化物膜，但&等規定元素由于氧化 體積膨脹，因此，即使金屬氧化物膜(第2層)變薄，也能夠期待抑制針孔的形成的效果。另外，為了實現金屬氧化物膜(第2層)的上述特性，將第2層的厚度減薄為 0. 1 lOnm，因此，即使設置第2層也能夠防止反射膜層疊體的高反射率的下降。以下，詳細說明本發明的反射膜層疊體。(第1 層)首先，對本發明的反射膜層疊體所具備的Al膜(第1層)進行說明。本發明的反 射膜層疊體所具備第1層是用于發揮高反射率的層，由純Al膜或Al基合金膜構成。在此，本發明中的“純Al膜”，含有Al為98. 5原子％以上(更優選為98. 8原子％ 以上，進一步優選為99. O原子％以上)，余量是不可避免的雜質。作為用于Al基合金膜的合金元素能夠例舉不使純Al的高反射率降低，能夠提高 耐堿性的元素(例如Gd、La、Y等的稀土金屬元素，&和Mg等)。如上所述，純Al膜的反射率為88 90%，與其他的一般金屬材料相比具有高反射 率。而純Al膜特別是對堿的耐蝕性低。因此，在將本發明的反射膜層疊體在堿環境下使用 時，例如，優選使用含有稀土金屬元素(REM)的Al基合金膜。本發明的反射膜層疊體只要 通過由金屬氧化物膜構成的第2層實現耐堿性、耐溫水性的提高，但對于第1層通過使用有 助于提高這些特性的Al基合金膜，能夠進一步提高上述特性。REM中更優選為Gd、La、Y。 REM可以單獨使用，也可以組合兩種以上使用。REM具有提高Al膜的耐堿性的作用。為了有效發揮這些作用，提高Al膜的耐堿 性，優選Al基合金膜中的REM含有率的下限為0. 05原子％ (更優選為0. 1原子％，進一 步優選為0. 15原子％ )。其中，REM含有率高時，耐堿性的提高效果保護，而反射率反而下 降，因此，REM含有率的上限優選為2. 5原子％ (更優選為1. 8原子％，進一步優選為1. 5原 子％ )。作為所述Al基合金膜可以例舉含有上述量的REM，余量是Al和不可避免的雜質。本發明作為第1層使用的Al基合金膜例如與上述REM —起，或作為上述REM的替代，可以含有&、Mg。 Zr具有提高Al基合金膜(第1層)和金屬氧化物膜(第2層)的緊密性的作用， 作為其結果能夠提高耐堿性、耐溫水性。為了有效發揮這種作用，優選Al基合金膜中的ττ 含有率的下限為0.05原子％ (更優選為0.1原子％，進一步優選為0.15原子％)。還有， &含有率的上限優選為3原子％ (更優選為2.5原子％，進一步優選為2原子％)。這是 因為，即使超過3原子％含有Zr，上述耐堿性提高效果也飽和，反而引起反射率的下降。作為所述Al基合金膜可以例舉含有上述量的REM和&，余量是Al和不可避免的 雜質；和含有上述量的Zr (不含REM)，余量是Al和不可避免的雜質。Mg與REM同樣具有提高Al的耐堿性的作用。為了有效發揮這種作用，優選Al基 合金膜中的Mg含有率的下限為0. 2原子％ (更優選為0. 25原子％，進一步優選為0. 3原 子％ )。還有，Mg含有率高時，耐堿性的提高效果飽和，反而引起反射率下降，因此，Mg含有 率的上限優選為6. 3原子％ (更優選為6. 0原子％，進一步優選為5. 5原子％ )。作為所述Al基合金膜可以例舉含有上述量的REM和Mg，余量是Al和不可避免的 雜質；和含有上述量的rLx和Mg，余量是Al和不可避免的雜質；含有上述量的REM、Zr、Mg， 余量是Al和不可避免的雜質；含有上述量的Mg (不含REM、&)，余量是Al和不可避免的雜 質。Al基合金膜中的各種添加元素的平均含有率可以通過ICP(Inductively Coupled Plasma 誘導結合等離子體)發光分析法或ICP質量分析法測定。測定方法在后面詳細介 紹。(第2層)本發明的反射膜層疊體所具備第2層是用于發揮對于堿和溫水的耐久性的層，具 有包括從由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si* Mo構成的群中選出的一種以上元素的金屬的 氧化物膜(以下，有時僅稱為“金屬氧化物膜”)。構成第2層的上述元素是作為PB比(Pilling-Bedworth ratio 單位摩爾的金屬 氧化物的體積/單位摩爾的該金屬的體積)大于1且氧化時體積發生膨脹的元素選擇的， 在氧化時能夠期待對針孔的封孔效果。另外，這些金屬氧化物膜自身具有優異的耐久性，因 此，不會發生第2層劣化，也不會由此使Al膜(第1層)劣化。另外，金屬膜狀態下，雖然 有損作為第1層的Al膜的特征的高反射率，但是，通過形成金屬氧化物膜進行透明化，能夠 防止反射膜層疊體的反射率的下降。在本發明中，在上述元素中優選使用從Zr、Cr、Nb、Ta 和Ti中選出的1種以上。在本發明中，第2層的厚度優選為0. Inm以上(更優選為0. 15nm以上，進一步優選 為0. 2nm以上，進一步優選為0. 5nm以上)，IOnm以下(更優選為7nm以下，進一步優選為 5nm以下)。如果第2層的厚度在上述范圍內，則能夠得到在厚度方向整體被氧化的金屬氧 化物膜(第2層)，因此，能夠使第2層透明化，防止本發明的反射膜層疊體的反射率降低。在第2層的厚度低于0. Inm時，有時不能夠充分發揮設置第2層得到的上述耐久 性提高效果。第2層的厚度越厚，針孔尺寸越小，因此，金屬氧化物膜的針孔封孔變得容易， 但是，第2層的厚度方向整體的氧化困難，第2層不能充分透明化，會使本發明的反射膜層 疊體的反射率下降。例如，在提供除了高耐久性還要求高反射率的反射膜層疊體時，上述第2層優選是在厚度方向整體被氧化的金屬氧化物膜，但是，這種情況以外時，第2層如果至少含有包 括規定元素的金屬的氧化物即可，其一部分保持金屬狀態也可。(基體)本發明的反射膜層疊體使用的基體的材質沒有特別限定，如果使具備Al膜的照 明器具和車輛用燈具和光學鏡等領域中常用的即可。例如，可以例舉出樹脂、玻璃等。作 為樹脂例如可以是聚碳酸酯樹脂、丙烯基樹脂、PET (polyethylene terephthalate)或 PBT(polybutylene terephthalate)等的聚酯樹脂、ABS樹脂、環氧樹脂、縮醛樹脂、脂環式 碳化氫樹脂等，這些樹脂的混合物也可以。在本發明中，優選根據光源發出的熱的溫度確定基體的材質。例如，光源的溫度大 約為180°C以上時優選使用玻璃，大約為120 180°C時優選使用PET或PBT等的聚酯樹脂， 大約為120°C以下時優選使用聚碳酸酯樹脂。另外，可以使用根據JISK7209規定的A法(23°C純水中浸漬24小時后測定吸水量 的方法)進行測定時的吸水率低于0. 的樹脂材料。如果使用這種防濕性(防水性)優 異的基體(吸水率小的基板)，可以抑制基體所含水分和從未形成Al膜一側的基體面(背 面)侵入的水分引起的Al膜的反射率的下降，因此，能夠得到耐濕性優異的反射膜層疊體。作為滿足上述要件的樹脂，例如可以例舉PET樹脂(吸水率0. 05 % )、 PPS(polyphenylene sulfide)樹脂(吸水率0.03%)等。基體的優選吸水率為0. 08%以 下，更優選為0. 06%以下。(第3 層)本發明的反射膜層疊體雖然作為代表性的實例是在基體之上順序層疊上述第1 層和第2層，但并不限定于此。例如，也可以在第1層之上經Al氧化膜層疊第2層。即使 Al氧化膜存在，本發明的反射膜層疊體的耐久性和反射率也不會下降。或者，為了進一步提高本發明的反射膜層疊體的耐久性，更長時間地維持高反射 率，也可以在第2層上設置公知的等離子體聚合膜和樹脂膜。例如，可以例舉出使用有機硅形成等離子體聚合膜的方式。作為該有機 硅例如可以例舉出六甲基二硅氧烷(hexamethyldisiloxane)、六甲基二硅氮烷 (hexamethldisilazane)、三乙氧基娃燒(triethoxysilane)等。等離子體聚合膜的厚度優選為5 500nm，更優選為10 400nm。厚度變薄則障 礙性降低，而厚度變厚則膜應力變大，層疊成膜后，在進行耐熱性試驗和耐濕性試驗時有可 能大聲裂紋或剝離。另外，作為形成樹脂膜的樹脂材料，例如可以例舉出丙烯基樹脂和硅樹脂。樹脂膜 的優選厚度為0. 1 20 μ m。厚度在該范圍外時發生的問題與上述相同。(反射膜層疊體的特性和用途)本發明的反射膜層疊體在由Al膜構成的第1層上具有包括ττ等規定元素的金屬 的氧化物膜(第2層)，因此，即使使第2層的厚度變薄(0. 1 lOnm)也能夠得到針孔的封 孔效果，能夠發揮優異的耐堿性和耐溫水性、高反射率。本發明的反射膜層疊體的反射率由于非常高，所以在將本發明的反射膜層疊體用 于車輛用燈具、照明器具或光學鏡等用途時，即使與現有相比降低光源(燈)的消耗電能也 能夠確保與現有同等程度的亮度。另外，在使用多個燈時，能夠減少燈的個數，因此，能夠削減光源的費用和成本。在此，所謂車輛用燈具是指機動車或摩托車的頭燈和尾燈等。本發明的反射膜層 疊體適用于這些燈的反射板或擴展件。所謂照明器具是指下照燈或熒光燈等。照明器具也 包括光源使用LED或有機EL的照明器具。所謂光學鏡是指相機的電子閃光燈的透鏡或利 用光的反射的分析裝置內的透鏡等。(本發明的反射膜層疊體的制造方法)為了使本發明具備的第2層(金屬氧化物膜)厚度為0. 1 IOnm就能夠發揮充 分的針孔封孔效果，優選在本發明的反射膜層疊體的制造中，如上所述，在第1層(Al膜) 上預先形成含有&等規定元素的金屬膜，接著通過對該金屬膜進行氧化形成金屬氧化物 膜(形成第2層)。Zr等的金屬膜形成后進行氧化形成第2層的金屬氧化物膜，由此，能夠有效地發 揮氧化時的體積膨脹產生的針孔封孔的效果。作為本發明的反射膜層疊體的制造方法，包括例如在基體上形成所述第1層的工 序，和使用由所述元素的金屬構成的濺射靶在所述第1層上進行濺射形成濺射金屬薄膜， 接著在含有氧的氣氛中使所述濺射金屬薄膜氧化形成所述第2層的工序。以下，對所述反 射膜層疊體的制造方法進行說明。作為構成第1層的Al膜的形成方法，可以例舉出使用純Al濺射靶或Al基合金濺 射靶，通過濺射法成膜的方法。特別優選通過使用直流負極的DC濺射法成膜。在形成第2層時，作為形成濺射金屬薄膜的方法沒有特別限定，但可以例舉出使 用由上述元素的金屬構成的濺射靶，通過濺射法成膜。特別優選通過使用直流負極的DC濺 射法成膜。由于第2層的形成所使用的元素是易氧化金屬，所以濺射金屬薄膜的氧化能夠在 大氣中保持長時間(通常24小時左右)而進行(即自然氧化)。此時，由于濺射金屬薄膜 的氧化需要長時間，所以為了促進氧化，優選實施高溫(基體的耐熱溫度以下即可)的熱處 理同時進行保持。或者，也可以是在氧濃度比大氣中高的氣氛中進行保持(也可以在高溫 進行熱處理)的方法，或通過半導體制造中所用的O2等離子體處理等進行濺射金屬薄膜的 氧化。還有，從生產成本的觀點出發，最優選在大氣中熱處理使其氧化。在第2層之上還形成等離子體聚合膜時，例如可以例舉出以六甲基二硅氧烷為原 料，通過等離子體CVD法成膜的方法。替代等離子體聚合膜形成樹脂膜時，例如可以例舉出滾涂或噴涂的方法。實施例以下，根據實施例對本發明進行詳細說明。但本發明不受下述實施例的限定，在不 脫離前后所述的宗旨的范圍內可以進行變更實施，這均包含在本發明的技術范圍內。(制造例1 24)基體使用直徑50. SmmX厚度Imm的聚碳酸酯(PC)，濺射靶使用直徑101. 6mmX厚 度5mm的純Al或Al基合金的濺射靶。首先，抽真空使濺射腔內的壓力為IX ICT3Pa以下。 接著，將Ar氣導入濺射腔內，使濺射腔內的壓力為2. 6 X KT1Pa,對電極施加DC (直流)電 力250W，使等離子體產生，對濺射靶進行濺射，由此在PC基體上形成第1層(Al膜)。濺射 靶和PC基體之間的距離為80mm，使PC基體公轉同時形成。
第2層的形成是在第1層的Al膜形成后，不打開濺射腔，將Ar氣導入濺射腔內， 使濺射腔內的壓力為2. 6X ICT1Pa,以DC電力200W對直徑101. 6mmX厚度5mm的金屬(Zr、 Ti、Cr、Nb、Ta、Mg等)濺射靶進行濺射，接著進行氧化，由此進行。氧化方法是在大氣中常 溫保持24小時。第1層和第2層的厚度通過控制濺射時間調整。制造例1 24所得到的反射膜層疊體通過下述方法測定第1層(Al膜)中的各 種添加元素的含有率。另外，以下述條件進行耐堿性試驗、耐溫水試驗。其結果，在表1中表不。(各種添加元素的含有率)Al基合金膜中的各種添加元素的含有率通過ICP(InductiVelyCoupled Plasma 誘導結合等離子體)發光分析法或ICP質量分析法測定。具體地說，使用與Al和各種添 加元素能夠一起溶解的酸，全量溶解Al合金膜，通過ICP發光分析法或ICP質量分析法測 定所得到的溶液中的Al和各種添加元素的量，將其100%規格化，算出Al基合金膜的組成 (原子％ )。(可視光反射率(初期反射率))用JISR3106所示方法通過D65光源的波長范圍為380 780nm的光對反射膜層 疊體的表面(第2層側的面)測定可視光反射率。(耐堿性試驗)在常溫(25°C )的1質量％的氫氧化鉀水溶液中浸漬反射膜層疊體10分鐘。用 JISR3106所示方法通過D65光源的波長范圍為380 780nm的光對浸漬后的反射膜層疊 體的表面(第2層側的面)測定可視光反射率。在耐堿性試驗前求出和用同樣方法測定的 可視光反射率(初期反射率)的差(即實驗前后的反射率的差=初期反射率(％ )_耐堿性 試驗后的可視光反射率(％ ))，通過該反射率的差評價耐堿性。該反射率的值的差在5以 下為◎，超過5在20以下為〇，超過20在30以下為Δ，超過30為X。還有，耐堿性試驗后 的反射率的值的差為30以下的( 、〇、Δ)為合格，耐堿性試驗后的反射率的值的差超過 30的(X)為不合格。(耐溫水性試驗)在40°C的離子交換水中浸漬反射膜層疊體30分鐘。對浸漬后的反射膜層疊體的表面(第2層側的面，表面積25. 4mmX25. 4mmX π ) 用數碼相機進行拍攝，得到試樣照片，對該照片通過圖像加工軟件進行二值化處理使透明 部為黑色，接著，通過圖像分析軟件求出黑色部(透明部)的面積后，根據下式算出膜殘存 率。還有，上述η式圓周率的意思(下同)。膜殘存率(％) = 100Χ (25. 4mmX25. 4mmX π -透明部面積(mm2)/ (25. 4mmX25. 4mmX π))耐溫水性試驗后的膜殘存率為90%以上的為〇，低于90%的為X。表 權利要求
1.一種反射膜層疊體，其特征在于，在基體上作為第1層具有純Al膜或Al基合金膜， 在所述第1層上作為第2層具有金屬的氧化物膜，其中，所述金屬包括從由&、Cr、Y、Nb、Hf、 Ta、W、Ti、Si和Mo構成的群中選出的一種以上的元素，所述第2層的厚度為0. 1 lOnm。
2.根據權利要求1所述的反射膜層疊體，其中，所述第1層的Al基合金膜是含有 0. 05 2. 5原子％的稀土金屬元素的Al基合金膜。
3.根據權利要求1或2所述的反射膜層疊體，其中，所述第1層的Al基合金膜是含有 0. 05 3原子％的ττ的Al基合金膜。
4.根據權利要求1 3中任一項所述的反射膜層疊體，其中，所述第1層的Al基合金 膜是含有0. 2 6. 3原子％的Mg的Al基合金膜。
5.根據權利要求1所述的反射膜層疊體，其中，所述第1層的純Al膜含有98.5原子％ 以上的Al，余量是不可避免的雜質。
6.根據權利要求1 5中任一項所述的反射膜層疊體，其中，所述第2層是由從&、 Cr, Nb, Ta和Ti構成的群中選出的一種以上的元素構成的金屬的氧化物膜。
7.—種權利要求1 6中任一項所述的反射膜層疊體的制造方法，其特征在于，包括 在基體上形成所述第1層的工序，和使用由權利要求1所述的元素的金屬構成的濺射靶在 所述第1層上進行濺射形成濺射金屬薄膜，接著在含有氧的氣氛中使所述濺射金屬薄膜氧 化形成所述第2層的工序。
8.—種車輛用燈具，其特征在于，具備權利要求1 6中任一項所述的反射膜層疊體。
9.一種照明器具，其特征在于，具備權利要求1 6中任一項所述的反射膜層疊體。
10.一種光學鏡，其特征在于，具備權利要求1 6中任一項所述的反射膜層疊體。
全文摘要
本發明涉及反射膜層疊體，是以高生產性、低成本提供具有極力減少針孔的保護膜，并作為其結果提高具有純Al膜或Al基合金膜的反射膜層疊體的耐堿性和耐溫水性，在堿環境和溫水環境中的Al的溶出和氧化引起的Al膜的反射率的下降難以發生的反射膜層疊體。本發明的反射膜層疊體，在基體上作為第1層具有純Al膜或Al基合金膜，在所述第1層上作為第2層具有包括從由Zr、Cr、Y、Nb、Hf、Ta、W、Ti、Si和Mo構成的群中選出的一種以上元素的金屬的氧化物膜，所述第2層的厚度為0.1～10nm。
文檔編號C23C14/34GK102141642SQ201110022270
公開日2011年8月3日 申請日期2011年1月18日 優先權日2010年2月1日
發明者佐藤俊樹, 小林宣裕, 桂翔生, 鈴木順 申請人:株式會社神戶制鋼所