專利名稱：運動部件位置檢測系統的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種研磨設備，具體的講是涉及一種用于研磨設備中的運動部件位置檢測系統。
背景技術：
在半導體制程工藝中，化學機械研磨工藝兼具有研磨性物質的機械式研磨與酸堿溶液的化學式研磨兩種作用，可以使晶圓表面達到全面性的平坦化，以便進行薄膜沉積的工藝步驟。化學機械研磨要用到研磨設備，研磨設備中有很多運動部件，為了準確控制這些運動部件的移動位置，在研磨設備中安裝有運動部件位置檢測系統。其結構包括位置傳感器，位置傳感器上設置有能穿過運動部件的開口。當運動部件穿過位置傳感器的開口時，則位置傳感器就可以檢測運動部件的標記位置，使運動部件移動到指定位置。然而，這些運動部件由于松動而產生運動軌跡偏移時，在經過位置傳感器的開口時，就會與位置傳感器的開口產生碰撞，以致位置傳感器損壞或者位置傳感器檢測運動部件的位置不準確，從而不能準確控制這些運動部件的移動位置。而現有技術中，又沒有校準裝置來校準運動部件的位置。
實用新型內容本實用新型所要解決的技術問題是，克服以上不足，提供了一種能校準運動部件的位置、防止位置傳感器被撞壞的運動部件位置檢測系統。為了解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是一種運動部件位置檢測系統， 包括位置傳感器，所述位置傳感器上設置有能穿過運動部件的第一開口，還包括位于位置傳感器前端的保護器，所述保護器上設置有與位置傳感器的第一開口相通的梯形槽。進一步的，所述保護器上的梯形槽與位置傳感器的第一開口通過第二開口相通， 所述第二開口設置在保護器的梯形槽的后端。進一步的，所述梯形槽為直角梯形。進一步的，所述梯形槽為等腰梯形。進一步的，所述梯形槽為不等腰梯形。進一步的，所述運動部件為偵測片。本實用新型的有益效果是本實用新型運動部件位置檢測系統，是在研磨設備中的運動部件穿過位置傳感器之前，設置了保護器。當運動部件移動時，先通過保護器，再通過位置傳感器。使運動部件在移動到位置傳感器時，不會直接碰到位置傳感器上，則位置傳感器就不會被撞壞。保護器上設置有梯形槽，梯形槽的斜邊能對偏移運動軌跡的運動部件進行位置校準，則校準運動軌跡的運動部件就會安全的穿過位置傳感器的第一開口，因此， 運動部件也不會撞壞位置傳感器。其工作原理如下當運動部件由于松動而產生運動軌跡偏移，而使運動部件向上或者向下偏移后，運動部件就會通過保護器的梯形槽的斜邊向保護器的第二開口或者位置傳感器的第一開口移動，減小了運動部件與位置傳感器的直接碰撞。當運動部件移動到保護器的第二開口或者位置傳感器的第一開口時，運動部件就會限定在第二開口或者第一開口的寬度內移動。因此，運動軌跡偏移的運動部件在經過保護器的梯形槽時，得到了位置的校準。
圖1是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例1的結構示意圖；圖2是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例2的結構示意圖；圖3是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例3的結構示意圖；圖4是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例4的結構示意圖；圖5是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例5的結構示意圖；圖6是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例6的結構示意圖；圖7是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例7的結構示意圖；圖8是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例8的結構示意圖；圖9-12是本實用新型運動部件位置檢測系統實施例6校準運動部件的狀態示意圖。圖中所示1、位置傳感器，2、保護器，3、運動部件，11、第一開口，21、梯形槽，22、第
二開口。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型作進一步詳細描述實施例1 如圖1所示，本實用新型運動部件位置檢測系統，包括位置傳感器1，所述位置傳感器1上設置有能穿過運動部件3的第一開口 11，還包括位于位置傳感器1前端的保護器 2，所述保護器2上設置有與位置傳感器1的第一開口 11相通的梯形槽21。所述梯形槽21 為直角梯形。所述直角梯形槽21的斜邊朝下安裝。實施例2 如圖2所示，本實施例是在實施例1的基礎上改進而成，其區別技術特征是所述保護器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設置在保護器2的梯形槽21的后端。實施例3 如圖3所示，本實施例是在實施例1的基礎上改進而成，其區別技術特征是直角梯形槽21的安裝位置。所述直角梯形槽21的斜邊朝上安裝。實施例4 如圖4所示，本實施例是在實施例3的基礎上改進而成，其區別技術特征是所述保護器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設置在保護器2的梯形槽21的后端。實施例5 如圖5所示，本實施例是在實施例1的基礎上改進而成，其區別技術特征是梯形槽21為等腰梯形。[0032]實施例6 如圖6所示，本實施例是在實施例5的基礎上改進而成，其區別技術特征是所述保護器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設置在保護器2的梯形槽21的后端。實施例7 如圖7所示，本實施例是在實施例1的基礎上改進而成，其區別技術特征是梯形槽21為不等腰梯形。實施例8 如圖8所示，本實施例是在實施例7的基礎上改進而成，其區別技術特征是所述保護器2上的梯形槽21與位置傳感器1的第一開口 11通過第二開口 22相通，所述第二開口 22設置在保護器2的梯形槽21的后端。以上實施例1-8中，所述運動部件3均采用偵測片，也可以是其它類別的運動部件。如圖9-12所示，本實用新型運動部件位置檢測系統，是在研磨設備中的運動部件 3穿過位置傳感器1之前，設置了保護器2。當運動部件3移動時，先通過保護器2，再通過位置傳感器3。使運動部件3在移動到位置傳感器1時，不會直接碰到位置傳感器1上，則位置傳感器1就不會被撞壞。保護器2上設置有梯形槽21，梯形槽21的斜邊能對偏移運動軌跡的運動部件3進行位置校準，則校準運動軌跡的運動部件3就會安全的穿過位置傳感器1的第一開口 11，因此，運動部件3也不會撞壞位置傳感器1。其工作原理如下當運動部件3由于松動而產生運動軌跡偏移，而使運動部件3向上或者向下偏移后，運動部件3就會通過保護器2的梯形槽21的斜邊向保護器2的第二開口 22或者位置傳感器1的第一開口 11移動，減小了運動部件3與位置傳感器1的直接碰撞。當運動部件3移動到保護器2 的第二開口 22或者位置傳感器1的第一開口 11時，運動部件3就會限定在第二開口 22或者第一開口 11的寬度內移動。因此，運動軌跡偏移的運動部件3在經過保護器2的梯形槽 21時，得到了位置的校準。因此，本實用新型運動部件位置檢測系統，能夠校準運動部件3的移動位置、防止位置傳感器1被運動部件3撞壞。
權利要求1.一種運動部件位置檢測系統，包括位置傳感器(1)，所述位置傳感器(1)上設置有能穿過運動部件(3)的第一開口(11)，其特征在于還包括位于位置傳感器(1)前端的保護器O)，所述保護器⑵上設置有與位置傳感器⑴的第一開口(11)相通的梯形槽01)。
2.根據權利要求1所述的運動部件位置檢測系統，其特征在于所述保護器(2)上的梯形槽與位置傳感器(1)的第一開口(11)通過第二開口 02)相通，所述第二開口 (22)設置在保護器(2)的梯形槽的后端。
3.根據權利要求1或2所述的運動部件位置檢測系統，其特征在于所述梯形槽為直角梯形。
4.根據權利要求1或2所述的運動部件位置檢測系統，其特征在于所述梯形槽為等腰梯形。
5.根據權利要求1或2所述的運動部件位置檢測系統，其特征在于所述梯形槽為不等腰梯形。
6.根據權利要求1所述的運動部件位置檢測系統，其特征在于所述運動部件(3)為偵測片。
專利摘要本實用新型公開了一種運動部件位置檢測系統，包括位置傳感器(1)，所述位置傳感器(1)上設置有能穿過運動部件(3)的第一開口(11)，還包括位于位置傳感器(1)前端的保護器(2)，所述保護器(2)上設置有與位置傳感器(1)的第一開口(11)相通的梯形槽(21)。本實用新型運動部件位置檢測系統，能校準運動部件的位置、防止位置傳感器被撞壞。
文檔編號B24B37/00GK201960448SQ201020679268
公開日2011年9月7日 申請日期2010年12月24日 優先權日2010年12月24日
發明者宋林飛, 朱海青, 湯露奇 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司