專利名稱：Pecvd設備翻蓋機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及PECVD設備領域，具體為一種PECVD設備翻蓋機構。
背景技術：
等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)技術的原理是利用低溫等離子體作能量源， 樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預定的溫度，然后通入 適量的反應氣體，氣體經一系列化學反應和等離子體反應，在樣品表面形成固態薄膜。與翻蓋機構相關的中國專利申請(申請號00222142. X、03258946. 8、 200520062051.3,200420088781. 6,200520061424. 5,200520125544. 7,200620057185. 0、 200620063422. 4,200620026058. 4,200720049074. X)等，存在以下的不足之處1)以上專利用于PECVD設備很重的蓋板條件下，無法實現翻蓋功能；2)要想完成PECVD設備的翻蓋功能，成本高，可靠性差，結構復雜。
實用新型內容本實用新型的目的在于提供一種PECVD設備翻蓋機構，其主要解決的技術問題是 在低成本、高可靠性、結構簡單的條件下完成PECVD設備重蓋的開啟，并可以在不加附屬設 備的條件下完成蓋板翻轉90度的定位功能，為設備維護提供的可靠的保證。本實用新型的技術方案是一種PECVD設備翻蓋機構，該翻蓋機構設有雙孔限位鉸鏈、氣彈簧、鉸鏈旋轉軸、 限位銷，雙孔限位鉸鏈包括鉸鏈上半部分、鉸鏈下半部分，鉸鏈上半部分與蓋板連接，鉸鏈 下半部分與機體連接；鉸鏈上半部分設有兩個孔，鉸鏈下半部分設有兩個孔，鉸鏈旋轉軸分 別穿過鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的一個孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分鉸接；氣 彈簧的一端連接于機體上，氣彈簧的另一端連接于蓋板上。所述的PECVD設備翻蓋機構，鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的另一孔在蓋板旋轉 開啟時相對，限位銷分別穿過所述鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的另一孔，使鉸鏈上半部 分和鉸鏈下半部分連接。所述的PECVD設備翻蓋機構，蓋板旋轉開啟的角度為0 90度，當上蓋板翻轉到 90度時，由于鉸鏈下半部分帶有限位塊，使得翻轉停止，這時插入限位銷鎖死。 所述的PECVD設備翻蓋機構，蓋板的一端設有把手。所述的PECVD設備翻蓋機構，鉸鏈下半部分帶有限位塊，限位塊與鉸鏈下半部分 一體結構，限位塊設在與鉸鏈上半部分旋轉方向相對應的位置。本實用新型的有益效果是1、本實用新型采用獨特的雙孔限位鉸鏈與氣彈簧配合使用，鉸鏈上半部分與蓋板 連接，下半部分與機體連接，中間雙孔結構其中一個孔插入旋轉軸用于鉸鏈的連接和旋轉 作用，使鉸鏈上半部分能繞軸旋轉。另一個孔用于蓋板旋轉90度時，將一根限位銷插入鉸 鏈上半部分和鉸鏈下半部分的另一孔，將鉸鏈限位。氣彈簧在整個機構中起到助推作用使開蓋更加省力，在關蓋時起到緩沖作用，使蓋板不會立刻與機體相撞導致機體或蓋板損傷。2、本實用新型翻蓋旋轉機構的結構簡單、成本低、可靠性高、可以翻蓋90度自鎖、 強度大、使用壽命長，減少生產用材料和生產成本、旋轉軸的旋轉順暢、穩定，很好的實現 PECVD設備腔體重蓋的開啟功能。
圖1為本實用新型結構示意圖(合蓋狀態)。圖2為本實用新型結構示意圖(開蓋90°狀態)。圖中，1、把手；2、蓋板；3、氣彈簧；4、鉸鏈上半部分；5、鉸鏈旋轉軸；6、鉸鏈下半部 分；7、機體；8、限位銷；9、限位塊。
具體實施方式
如圖1-2所示，本實用新型PECVD設備翻蓋機構主要包括把手1、蓋板2、氣彈簧 3、鉸鏈上半部分4、鉸鏈旋轉軸5、鉸鏈下半部分6、機體7、限位銷8等，具體結構如下鉸鏈上半部分4與蓋板2連接，鉸鏈下半部分6與機體7連接。鉸鏈上半部分4 設有兩個孔(鉸接孔和限位孔)，鉸鏈下半部分6設有兩個孔(鉸接孔和限位孔)，鉸鏈旋 轉軸5分別穿過鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的一個孔(鉸接孔)，使鉸鏈上半部分4 和鉸鏈下半部分6鉸接，旋轉軸用于鉸鏈的連接和旋轉作用，使鉸鏈上半部分能繞軸旋轉； 鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的另一孔在蓋板2旋轉到達90度時相對，限位銷8分別 穿過所述鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的另一孔(限位孔)，使使鉸鏈上半部分4和鉸 鏈下半部分6連接，將鉸鏈限位。從而，形成獨特的雙孔限位鉸鏈。氣彈簧3的一端連接于 機體7上，氣彈簧3的另一端連接于蓋板2上，蓋板的一端設有把手1，在開蓋時，需要人手 施加初始的作用力在把手上。在合蓋時，也需要人手施加初始的作用力在把手1上。本實用新型的工作過程如下在需要開蓋時，通過把手1和氣彈簧3的配合，使蓋板2繞鉸鏈旋轉軸5轉動開啟， 當蓋板2旋轉到達90度時，由于鉸鏈下半部分6帶有限位塊9，限位塊9與鉸鏈下半部分6 一體結構，限位塊9設在與鉸鏈上半部分4旋轉方向相對應的位置，可將鉸鏈上半部分4卡 住，使得蓋板2翻轉停止，鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6的另一孔相對，限位銷8插入 所述孔，將鉸鏈上半部分4和鉸鏈下半部分6限位，蓋子保持90度狀態固定不動，方便設備 的維護(圖2)；在需要關蓋時，將限位銷8取出，通過把手1和氣彈簧3的配合，使蓋板2繞 鉸鏈旋轉軸5轉動關閉。氣彈簧在整個機構中起到助推作用使開蓋更加省力，在關蓋時起 到緩沖作用，使蓋板不會立刻與機體相撞導致機體或蓋板損傷。
權利要求1.一種PECVD設備翻蓋機構，其特征在于該翻蓋機構設有雙孔限位鉸鏈、氣彈簧、鉸 鏈旋轉軸、限位銷，雙孔限位鉸鏈包括鉸鏈上半部分、鉸鏈下半部分，鉸鏈上半部分與蓋板 連接，鉸鏈下半部分與機體連接；鉸鏈上半部分設有兩個孔，鉸鏈下半部分設有兩個孔，鉸 鏈旋轉軸分別穿過鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的一個孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部 分鉸接；氣彈簧的一端連接于機體上，氣彈簧的另一端連接于蓋板上。
2.按照權利要求1所述的PECVD設備翻蓋機構，其特征在于鉸鏈上半部分和鉸鏈下 半部分的另一孔在蓋板旋轉開啟時相對，限位銷分別穿過所述鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部 分的另一孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分連接。
3.按照權利要求2所述的PECVD設備翻蓋機構，其特征在于蓋板旋轉開啟的角度為 0 90度。
4.按照權利要求1所述的PECVD設備翻蓋機構，其特征在于蓋板的一端設有把手。
5.按照權利要求1所述的PECVD設備翻蓋機構，其特征在于鉸鏈下半部分帶有限位 塊，限位塊與鉸鏈下半部分一體結構，限位塊設在與鉸鏈上半部分旋轉方向相對應的位置。
專利摘要本實用新型涉及PECVD設備領域，具體為一種PECVD設備翻蓋機構。該翻蓋機構設有雙孔限位鉸鏈、氣彈簧、鉸鏈旋轉軸、限位銷，雙孔限位鉸鏈包括鉸鏈上半部分、鉸鏈下半部分，鉸鏈上半部分與蓋板連接，鉸鏈下半部分與機體連接；鉸鏈上半部分設有兩個孔，鉸鏈下半部分設有兩個孔，鉸鏈旋轉軸分別穿過鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分的一個孔，使鉸鏈上半部分和鉸鏈下半部分鉸接；氣彈簧的一端連接于機體上，氣彈簧的另一端連接于蓋板上。本實用新型主要解決的技術問題是在低成本、高可靠性、結構簡單的條件下完成PECVD設備重蓋的開啟，并可以在不加附屬設備的條件下完成蓋板翻轉90度的定位功能，為設備維護提供的可靠的保證。
文檔編號C23C16/44GK201785487SQ20102051247
公開日2011年4月6日 申請日期2010年9月1日 優先權日2010年9月1日
發明者梁學敏 申請人:沈陽拓荊科技有限公司