專利名稱：整體式觀察窗機構的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種光學部件制造設備，特別是涉及一種用于物理氣相沉積和化 學氣相沉積設備中的整體式觀察窗機構。
背景技術：
在物理氣相沉積(Physical Vapour D印osition，PVD)和化學氣相沉積(Chemical Vapour Deposition,CVD)設備中，觀察窗機構是必不可少的組成部分。觀察窗機構一般包 括觀察窗和觀察窗擋板兩部分，觀察窗擋板是為了防止觀察窗玻璃被鍍制上薄膜而影響其 透光性所加的一塊可旋轉的遮擋板。需要使用觀察窗時打開擋板，不使用時將擋板關上。觀察窗機構有分離式和整體式兩種。分離式觀察窗機構需要在真空室上開兩個 孔，一個安裝觀察窗，一個安裝觀察窗擋板的傳動軸，此種結構開孔多，占用體積大，而且在 真空室上有兩個密封點(觀察窗玻璃和擋板)，真空室設計和加工成本高。傳統的整體式 觀察窗機構(如圖1所示)是將觀察窗和觀察窗擋板整合到一個大法蘭上，安裝時整體固 定在真空室上，雖然便于安裝，但是存在以下缺點1.整體有三個密封點(法蘭、觀察窗玻 璃、擋板)，不利于維持真空環境；2.體積龐大，由于需要讓出擋板旋轉空間，需要在真空室 上開相當于觀察窗面積2-3倍的孔；3.傳統的動密封式擋板存在密封性能差，耐熱能力低， 易老化等缺點。
實用新型內容(一 )要解決的技術問題本實用新型要解決的技術問題是提高整體式觀察窗機構的結構緊湊性和密封 性，提高其耐熱能力，延長其壽命，降低整個機構對零部件精度的要求以及裝配的復雜度。( 二 )技術方案為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種整體式觀察窗機構，包括觀察窗和 觀察窗擋板，其特征在于，所述觀察窗擋板通過擋板軸安裝在所述觀察窗內部，所述擋板軸 穿過所述觀察窗上開設的孔與所述觀察窗相垂直。其中，所述擋板軸外部設有導向套，所述導向套與所述觀察窗上開設的孔貼合，所 述導向套采用不銹鋼材料。其中，所述導向套內部安裝有一十字形截面的純鐵環，所述純鐵環固定在所述擋 板軸上。其中，所述導向套末端由蓋板蓋合。其中，所述導向套和所述蓋板以焊接的方式連接。其中，所述導向套外側安裝有手輪。其中，所述手輪內固定有四塊磁鐵，所述四塊磁鐵與所述純鐵環的十字形的四個 凸柱相對應，以使手輪內的四塊磁鐵吸附導向套內的純鐵環。其中，所述真空室上開設的孔的直徑等于所述觀察窗的直徑。[0015](三)有益效果上述技術方案具有如下優點(1)整體式結構，僅需要在真空室上開一個孔就可 以安裝；(2)占用空間小，真空室所開孔大小相當于觀察窗直徑；(3)密封點少，整套觀察窗 僅有觀察窗玻璃一處密封點；(4)不存在動密封點，整個轉動部分全部焊接在真空側，理論 上漏率為0(實際上焊縫和不銹鋼導向套存在極微小滲漏)，可以應用于超高真空系統；(5) 耐熱能力強，由于不使用碗型密封圈，耐熱能力大大提高；(6)無復雜定位零件，對零件的 加工精度要求不高，裝配也相對簡單；(7)不存在密封圈磨損，使用壽命極長，即使磁鐵退 磁更換也僅僅需要拆除外部的手輪，無需檢漏，簡單方便。
圖1是傳統整體式觀察窗機構的剖面圖；圖2是本實用新型實施例的整體式觀察窗機構的側視圖；圖3是本實用新型實施例的整體式觀察窗機構的俯視圖；圖4是本實用新型實施例的整體式觀察窗機構中的磁鐵的A-A剖面圖。其中，1 觀察窗；2 觀察窗擋板；3 擋板手輪；4 擋板動密封裝置；5 擋板軸；6 導向套；7 :純鐵環；8 手輪；9 磁鐵；10 蓋板；11 :觀察窗；12 觀察窗擋板；13 :真空室； 14 孔。
具體實施方式
以下結合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式
作進一步詳細描述。以下 實施例用于說明本實用新型，但不用來限制本實用新型的范圍。本實用新型提供的整體式觀察窗機構是一種新型的磁耦合傳動機構，圖2是該機 構的側視圖，圖3是該機構的俯視圖，圖4是該機構中磁鐵的A-A剖面圖。在本實施例中，觀察窗擋板機構安裝在真空室13內。將觀察窗擋板12安裝在觀 察窗11內部，擋板軸5與觀察窗11相垂直，觀察窗擋板12轉動時僅占用觀察窗11內部空 間。觀察窗擋板12傳動采用磁耦合傳動，不使用動密封。在擋板軸5上固定一十字形截面 的純鐵環7將此部分裝入導向套6內，用蓋板10蓋住，之后將蓋板10和導向套6焊接起來， 擋板軸5整體在真空室13內側。在手輪8內部固定與純鐵環7相應的四塊磁鐵9，將手輪 8安裝在導向套6的外側，手輪8內的磁鐵9能夠吸住導向套6內的純鐵環7，轉動手輪8 時內部的磁鐵9先后帶動純鐵環7和擋板軸5轉動以達到傳動效果。以上所述僅是本實用新型的優選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技 術人員來說，在不脫離本實用新型技術原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改 進和替換也應視為本實用新型的保護范圍。
權利要求一種整體式觀察窗機構，包括觀察窗(11)和觀察窗擋板(12)，其特征在于，所述觀察窗擋板(12)通過擋板軸(5)安裝在所述觀察窗(11)內部，所述擋板軸(5)穿過所述觀察窗(11)上開設的孔(14)與所述觀察窗(11)相垂直。
2.如權利要求1所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述擋板軸(5)外部設有導向 套(6)，所述導向套(6)與所述觀察窗(11)上開設的孔(14)貼合，所述導向套(6)采用不 銹鋼材料。
3.如權利要求2所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述導向套(6)內部安裝有 一十字形截面的純鐵環(7)，所述純鐵環(7)固定在所述擋板軸(5)上。
4.如權利要求3所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述導向套(6)末端由蓋板 (10)蓋合。
5.如權利要求4所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述導向套(6)和所述蓋板 (10)以焊接的方式連接。
6.如權利要求3所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述導向套(6)外側安裝有手 輪⑶。
7.如權利要求6所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述手輪(8)內固定有四塊磁 鐵(9)，所述四塊磁鐵(9)與所述純鐵環(7)的十字形的四個凸柱相對應，以使手輪(8)內 的四塊磁鐵(9)吸附導向套(6)內的純鐵環(7)。
8.如權利要求1所述的整體式觀察窗機構，其特征在于，所述真空室(13)上開設的孔 (14)的直徑等于所述觀察窗(11)的直徑。
專利摘要本實用新型公開了一種整體式觀察窗機構，包括觀察窗和觀察窗擋板，所述觀察窗擋板通過擋板軸安裝在所述觀察窗內部，所述擋板軸穿過所述觀察窗上開設的孔與所述觀察窗相垂直。本實用新型的整體式觀察窗機構占用空間小，真空室所開孔大小相當于觀察窗直徑；密封點少，整套機構只有觀察窗玻璃一處靜密封點；不存在動密封點，整個擋板轉動部分全部焊接封裝在真空側，利用磁耦合原理，通過旋轉磁場驅動擋板轉動部分旋轉，可以應用于超高真空系統；耐熱能力強；無復雜定位零件，對零件的加工精度要求不高，裝配簡單；不存在密封圈磨損，使用壽命極長，磁鐵退磁更換只需要拆除外部的手輪，無需檢漏，簡單方便。
文檔編號C23C14/52GK201729873SQ20102021418
公開日2011年2月2日 申請日期2010年5月25日 優先權日2010年5月25日
發明者安其, 崔文博, 董玢越, 黃芃 申請人:北京北儀創新真空技術有限責任公司