專利名稱：雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及真空鍍膜的技術，特別是涉及一種雙層膜厚均勻性修正板驅動裝 置的技術。
背景技術：
真空鍍膜是將固體材料置于真空室內，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發，使其 吸附在基板的表面上形成一層薄膜。在真空鍍膜中，為得到均勻的膜厚分布，通常應用工件架旋轉和修正板技術來解 決膜厚在圓周上和徑向上的分布問題。現有的膜厚控制裝置在同一蒸發源位置對單一材料 進行蒸發時，通過控制單層修正板對膜厚進行修正，即可有效控制膜厚分布，但是在同一蒸 發源位置對兩種材料進行蒸發時，由于材料的蒸發特性不同，單層修正板就難以兼顧，而且 在鍍膜過程中也不可能打開真空鍍膜機的真空腔體更換修正板，因此現有的膜厚控制裝置 在同一蒸發源位置對兩種材料進行蒸發時，控制膜厚分布的效果較差。
實用新型內容針對上述現有技術中存在的缺陷，本實用新型所要解決的技術問題是提供一種能 在同一蒸發源位置對兩種材料進行蒸發時，有效控制膜厚分布的雙層膜厚均勻性修正板驅
動裝置。為了解決上述技術問題，本實用新型所提供的一種雙層膜厚均勻性修正板驅動裝 置，包括安裝法蘭、修正板和驅動單元，其特征在于所述驅動單元有兩組，分別安裝在安裝 法蘭的上部和下部；每組驅動單元包括安裝底座、驅動氣缸、導軌、軸承座、關節軸承、連接 桿、旋轉臂和修正板安裝桿；所述安裝底座、驅動氣缸和導軌均固定在安裝法蘭上，所述軸承座固定在安裝底 座上，而且驅動氣缸的動力臂、導軌及軸承座均位于安裝法蘭的內側，驅動氣缸的外殼與安 裝法蘭密封接合，所述導軌的軸線平行于驅動氣缸的動力臂；所述關節軸承固定在驅動氣缸的動力臂上；所述連接桿的一端與關節軸承樞接，其樞轉軸線為第一樞轉軸線，另一端與旋轉 臂樞接，其樞轉軸線為第二樞轉軸線，所述旋轉臂與軸承座樞接，其樞轉軸線為第三樞轉軸 線；所述第一、第二、第三樞轉軸線相互平行，且垂直于驅動氣缸的動力臂；所述修正板安裝桿經一角度調整塊固定在旋轉臂上，所述修正板有兩塊，分別固 定在兩組驅動單元的修正板安裝桿上；所述關節軸承上裝有導輪，所述導輪的軸線平行于第一軸線，其輪面與導軌的軌 面相切。進一步的，所述安裝底座上設有用于限定兩組驅動單元的旋轉臂樞轉角度的限位 調整螺釘。進一步的，所述角度調整塊上設有定位槽，所述修正板安裝桿經定位槽與角度調
3整塊固接。進一步的，所述安裝法蘭的內壁，及旋轉臂的正下方、連接桿的正下方、導軌的正 下方均安裝有防污板。本實用新型提供的雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置，通過兩組驅動單元分別控制 兩個修正板的開閉，可根據鍍膜狀況控制兩個修正板同時開啟，或同時關閉，或控制其中一 個修正板開啟，同時控制另一個修正板關閉，因此能在同一蒸發源位置對兩種材料進行蒸 發時，分別修正兩種材料的膜厚均勻性，有效控制膜厚分布。
圖1是本實用新型實施例的雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置的主視立體圖；圖2是本實用新型實施例的雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置的主視圖。
具體實施方式
以下結合附圖說明對本實用新型的實施例作進一步詳細描述，但本實施例并不用 于限制本實用新型，凡是采用本實用新型的相似結構及其相似變化，均應列入本實用新型 的保護范圍。如圖1-圖2所示，本實用新型實施例所提供的一種雙層膜厚均勻性修正板驅動裝 置，包括安裝法蘭2、修正板18和驅動單元，其特征在于所述驅動單元有兩組，分別安裝在 安裝法蘭2的上部和下部；每組驅動單元包括安裝底座13、驅動氣缸1、導軌6、軸承座14、 關節軸承4、連接桿8、旋轉臂9和修正板安裝桿11 ；所述安裝底座13、驅動氣缸1和導軌6均固定在安裝法蘭2上，所述軸承座14固 定在安裝底座13上，而且驅動氣缸1的動力臂、導軌6及軸承座14均位于安裝法蘭2的內 側，驅動氣缸1的外殼經一 0形密封圈與安裝法蘭2接合，所述導軌6的軸線平行于驅動氣 缸1的動力臂；所述關節軸承4螺紋連接驅動氣缸1的動力臂，并通過一鎖緊螺母鎖緊固定在驅 動氣缸1的動力臂上；所述連接桿8的一端與關節軸承4樞接，其樞轉軸線為第一樞轉軸線，另一端與旋 轉臂9樞接，其樞轉軸線為第二樞轉軸線，所述旋轉臂9與軸承座14樞接，其樞轉軸線為第 三樞轉軸線；所述第一、第二、第三樞轉軸線相互平行，且垂直于驅動氣缸1的動力臂；所述修正板安裝桿11經一角度調整塊10固定在旋轉臂9上，所述修正板18有兩 塊，分別固定在兩組驅動單元的修正板安裝桿11上；所述關節軸承4上裝有導輪7，所述導輪7的軸線平行于第一軸線，其輪面與導軌 6的軌面相切；所述安裝底座13上設有用于限定兩組驅動單元的旋轉臂9樞轉角度的限位調整 螺釘12 ；本實用新型實施例中，所述角度調整塊10上設有定位槽，所述修正板安裝桿11經 定位槽與角度調整塊10固接；本實用新型實施例安裝在真空鍍膜機的側面使用，安裝時將安裝法蘭2固定在真 空鍍膜機的真空腔體側面法蘭上即可。[0027]本實用新型實施例使用時，通過控制驅動氣缸1的動力臂伸縮，即可通過關節軸 承4、連接桿8控制旋轉臂9的轉動角度，進而控制修正板18開啟或關閉，從而控制修正板 18對膜厚進行修正，有效控制膜厚分布。本實用新型實施例中，安裝在安裝法蘭2上部的驅動單元為第一驅動單元，安裝 在安裝法蘭2下部的驅動單元為第二驅動單元，固定在第一驅動單元的修正板安裝桿11上 的修正板18為第一修正板，固定在第二驅動單元的修正板安裝桿11上的修正板18為第二 修正板，當真空鍍膜機鍍第一種材料時，由第一驅動單元控制第一修正板開啟或關閉，以控 制第一種材料的膜厚，當真空鍍膜機鍍第二種材料時，由第二驅動單元控制第二修正板開 啟或關閉，以控制第二種材料的膜厚；本實用新型實施例使用時，可以控制第一、第二修正板同時開啟或同時關閉，也可 以控制第一、第二修正板中的一個開啟，另一個關閉。本實用新型實施例的安裝法蘭2上開有定位孔，真空鍍膜機的真空腔體側面法蘭 上裝有與安裝法蘭2上的定位孔相配合的定位銷，以保證本實用新型實施例安裝的重復精 度，進而保證修正板位置的重復精度。本實用新型實施例中，通過調節限位調整螺釘12及關節軸承4的位置可調整修正 板18的啟閉角度。本實用新型實施中，所述安裝法蘭2的內壁，及旋轉臂9的正下方、連接桿8的正 下方、導軌6的正下方均安裝有防污板15，用于在修正板18開啟及關閉狀態下有效防止蒸 發鍍膜材料進入，避免各活動處因污染而咬死，同時也可部分反射來自真空鍍膜機的真空 腔體內部熱源的輻射熱，防止因溫度過高使密封性能降低或活動處咬死。本實用新型實施例中，所述安裝法蘭2的外側設有水冷夾套，在真空鍍膜機成膜 溫度較高時，能有效冷卻驅動氣缸1的外殼與安裝法蘭2之間的0形密封圈，保證良好的密 封性能。
權利要求一種雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置，包括安裝法蘭、修正板和驅動單元，其特征在于所述驅動單元有兩組，分別安裝在安裝法蘭的上部和下部；每組驅動單元包括安裝底座、驅動氣缸、導軌、軸承座、關節軸承、連接桿、旋轉臂和修正板安裝桿；所述安裝底座、驅動氣缸和導軌均固定在安裝法蘭上，所述軸承座固定在安裝底座上，而且驅動氣缸的動力臂、導軌及軸承座均位于安裝法蘭的內側，驅動氣缸的外殼與安裝法蘭密封接合，所述導軌的軸線平行于驅動氣缸的動力臂；所述關節軸承固定在驅動氣缸的動力臂上；所述連接桿的一端與關節軸承樞接，其樞轉軸線為第一樞轉軸線，另一端與旋轉臂樞接，其樞轉軸線為第二樞轉軸線，所述旋轉臂與軸承座樞接，其樞轉軸線為第三樞轉軸線；所述第一、第二、第三樞轉軸線相互平行，且垂直于驅動氣缸的動力臂；所述修正板安裝桿經一角度調整塊固定在旋轉臂上，所述修正板有兩塊，分別固定在兩組驅動單元的修正板安裝桿上；所述關節軸承上裝有導輪，所述導輪的軸線平行于第一軸線，其輪面與導軌的軌面相切。
2.根據權利要求1所述的雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置，其特征在于所述安裝底 座上設有用于限定兩組驅動單元的旋轉臂樞轉角度的限位調整螺釘。
3.根據權利要求1所述的雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置，其特征在于所述角度調 整塊上設有定位槽，所述修正板安裝桿經定位槽與角度調整塊固接。
4.根據權利要求1所述的雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置，其特征在于所述安裝法 蘭的內壁，及旋轉臂的正下方、連接桿的正下方、導軌的正下方均安裝有防污板。
專利摘要一種雙層膜厚均勻性修正板驅動裝置，涉及真空鍍膜技術領域，所解決的是控制兩種材料的膜厚均勻性的技術問題。該裝置包括安裝法蘭、兩塊修正板和兩組驅動單元，每組驅動單元包括安裝底座、驅動氣缸、導軌、軸承座、關節軸承、連接桿、旋轉臂和修正板安裝桿；所述安裝底座、驅動氣缸和導軌均固定在安裝法蘭上，所述軸承座固定在安裝底座上；所述關節軸承固定在驅動氣缸的動力臂上；所述連接桿的兩端分別與關節軸承、旋轉臂樞接，所述旋轉臂與軸承座樞接；所述修正板安裝桿固定在旋轉臂上，所述兩塊修正板分別固定在兩組驅動單元的修正板安裝桿上；所述關節軸承上裝有導輪。本實用新型提供的裝置，能有效控制兩種材料的膜厚均勻分布。
文檔編號C23C14/54GK201713567SQ20102020171
公開日2011年1月19日 申請日期2010年5月21日 優先權日2010年5月21日
發明者戴秀海, 鄭振宇, 龍汝磊 申請人:光馳科技(上海)有限公司