專利名稱：濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法
技術領域：
本發明涉及濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法，尤其涉及在構成濺鍍用旋轉靶材的背板外周面上粘接靶材時，可利用將市場上容易購買且價廉的成分混合于少量銦制備而成的粘接合成物進行粘接的濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法。
背景技術：
一般而言，濺鍍(Sputtering)是指以膜的形式附著于目標物表面的技術，而上述濺鍍用于為了在陶瓷或半導體材料上形成電子電路，從而通過在高真空狀態下蒸發固體形成薄膜(Thin film)或厚膜(Thick film)的情況。換言之，上述濺鍍(Sputtering)為在真空狀態下充入惰性氣體(主要是氬氣(Ar gas))的同時，在基片和靶材(Target 被附物質Cr、Ti等)之間加上直流電壓，從而通過使離子化的氬與靶材碰撞，在基片上形成靶材物質膜。另外，可通過充入與氬氣一樣微量的 02、N2氣體，進行反應性濺鍍(ITO、TiN等)。上述濺鍍屬于干式鍍金法，在進行鍍金處理時無需將需要涂布的對象物置于液體或高溫氣體之中。因此，在各種基片材料(樹脂、玻璃、陶瓷及其他)的板載物、成型品中用作電極、防護罩(Shield)及蒙板(Masking)。另外，如上所述，在完成涂布或鍍膜等鍍金處理的濺鍍設備上，作為施加高電壓的電極使用旋轉靶材。上述濺鍍用旋轉靶材，包括圓筒形背板和結合于背板外周面的圓筒形靶材，而靶材通過銦(Indium)的熔融結合粘接于背板外周面上成為一體。上述銦(Indium)為屬于元素周期表13組的硼組的稀有金屬元素，1863年由F.賴希和H.T.里希特在鋅礦中發現銀白色光澤的銦，而且因其發出獨特的靛藍色(indigo)光譜線而得名。但是，上述銦(Indium)具有融化之后附著于或弄濕干凈的玻璃及其他表面的獨特的特性，從而用于焊接密封玻璃、金屬、石英、陶瓷、大理石之間的縫隙，而且因可增加耐蝕性并在表面形成粘接性油膜，從而用于涂布飛機用引擎軸承。但是，使圓筒形靶材熔融結合于構成上述濺鍍用旋轉靶材的圓筒形背板外周面上的銦(Indium)，因其屬于稀有金屬，因此價格昂貴，從而增加濺鍍用旋轉靶材的制造成本。而且，使圓筒形靶材熔融結合于構成上述濺鍍用旋轉靶材的圓筒形背板外周面上的銦(Indium)，因其屬于稀有金屬，因此供應量有限，從而導致市場價格非常不穩定，而且難以購得。
發明內容
本發明的目的在于克服現有技術之不足而提供濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法，其在背板外周面上粘接靶材時，利用將市場上容易
4購買且價廉的成分混合于少量銦制備而成的粘接合成物進行粘接，從而節省成本，降低生
產單價。本發明的另一目的在于，提供濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法，其在背板外周面上粘接靶材時，利用將市場上容易購買且價廉的成分混合于少量銦制備而成的粘接合成物進行粘接，從而穩定地購得所需材料。為達到上述目的，本發明所采用的技術方案如下本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物，在可旋轉地設置于濺鍍用真空室并被驅動電機驅動旋轉地同時，施加高電壓的濺鍍用旋轉靶材的呈圓筒形的背板外周面，粘接結合圓筒形靶材，而上述濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物由如下物質混合制備而成5 50重量％的銦(Indium)；及50 95重量％的非磁性體且比重大于銦(Indium)的媒介粉末(Media powder)。另外，在上述本發明的構成中，媒介粉末(Media Powder)由從沙子(Sand)、不銹鋼(S/S)、銅(Cu)、鎢(W)、六羰基鎢(Tungsten hexacarbonyl)氧化鋁(Al2O3)中選擇的一種以上物質構成。此時，若選擇兩種以上物質混合制備媒介粉末(Media powder)，則可以相同的比例混合。另外，在上述本發明的構成中，媒介粉末(Media powder)的大小可為0. 001 Imm0本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經(a)步驟進行加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(c)冷卻經(b)步驟進行表面處理的背板和靶材；(d)在經(c)步驟冷卻的背板的外周面上結合靶材并縱向固定于平板上；(e)將經(d)步驟固定于平板的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在經(e)步驟將背板和靶材加熱至一定溫度以上的同時，使其振動；(g)在經(f)步驟加熱并振動背板和靶材的同時，向背板的外周面和靶材內周面之間的空間，熔融投入銦(Indium) ； (h)經(g)步驟熔融投入銦(Indium)之后，將粒子狀的媒介粉末(Media powder)投入背板的外周面和靶材內周面之間的空間，并通過振動使熔融銦 (Indium)均勻分布至媒介粉末的粒子之間；及(i)經(h)步驟使熔融銦(Indium)分布于媒介粉末的粒子之間之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻。本發明另一濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經(a)步驟進行加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(c)冷卻經(b)步驟進行表面處理的背板和靶材；(d)在經(C)步驟冷卻的背板的外周面上結合靶材并縱向固定于平板上；(e)將經(d)步驟固定于平板的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在經(e)步驟將背板和靶材加熱至一定溫度以上的同時，使其振動；(g)在經(f)步驟加熱并振動背板和靶材的同時，向背板的外周面和靶材內周面之間的空間，按一定比例同時投入熔融銦(Indium)和粒子狀媒介粉末(Media powder)；及(h)經 (g)步驟投入銦(Indium)和媒介粉末(Media powder)之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻。本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經(a)步驟進行加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(c)冷卻經(b)步驟進行表面處理的背板和靶材；(d)在經(c)步驟冷卻的背板的外周面上結合靶材并縱向固定于平板上；(e)將經(d)步驟固定于平板的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在經(e)步驟將背板和靶材加熱至一定溫度以上的同時，使其振動； (g)在經(f)步驟加熱并振動背板和靶材的同時，向背板的外周面和靶材內周面之間的空間，投入一定量的粒子狀媒介粉末(Media powder) ； (h)經(g)步驟投入媒介粉末(Media powder)之后，熔融投入一定量的銦(Indium)，并通過振動使熔融銦(Indium)均勻分布至媒介粉末的粒子之間；及(i)經(h)步驟使熔融銦(Indium)分布于媒介粉末的粒子之間之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻。在上述本發明的構成中，銦(Indium)和媒介粉末(Media powder)的合成比可為 5 50 50 95重量％。另外，在本發明的構成中，媒介粉末(Media Powder)由從沙子(Sand)、不銹鋼(S/ S)、銅(Cu)、鎢(W)、六羰基鎢(Tungsten hexacarbonyl)氧化鋁(Al2O3)中選擇的一種以上物質構成。此時，若選擇兩種以上物質混合制備媒介粉末(Media powder)，則可以相同的比例混合。另外，在本發明的構成中，媒介粉末(Media powder)的大小為0. 001 1mm。本發明的技術，在背板外周面上粘接靶材時，利用將市場上容易購買且價廉的成分混合于少量銦制備而成的粘接合成物進行粘接，從而具有節省成本，降低生產單價的效^ ο而且，本發明的技術，在背板外周面上粘接靶材時，利用將市場上容易購買且價廉的成分混合于少量銦制備而成的粘接合成物進行粘接，從而具有可穩定地購得所需材料的優點。
圖1為利用本發明技術的濺鍍用旋轉靶材的分解示意圖；圖2為利用本發明技術的濺鍍用旋轉靶材的結合示意圖；圖3為投入本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物中的銦(Indium)的剖面結構圖；圖4為投入本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物中的媒介粉末(Mediapowder)的剖面結構圖；圖5為構成本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的銦(Indium)和媒介粉末 (Media powder)的混合狀態剖面結構圖；圖6為本發明濺鍍用旋轉靶材剖面結構圖；圖7為利用本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的旋轉靶材粘接方法框圖；圖8為利用本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的另一旋轉靶材粘接方法框圖；圖9為利用本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的又一旋轉靶材粘接方法框圖； *附圖標記* 10 平板20 波振動器100 旋轉靶材110 背板120 靶材
具體實施方式
下面，詳細說明根據較佳實施例的濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法。圖1為利用本發明技術的濺鍍用旋轉靶材的分解示意圖；圖2為利用本發明技術的濺鍍用旋轉靶材的結合示意圖；圖3為投入本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物中的銦(Indium)的剖面結構圖；圖4為投入本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物中的媒介粉末(Media powder)的剖面結構圖；圖5為構成本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的銦 (Indium)和媒介粉末(Media powder)的混合狀態剖面結構圖；圖6為本發明濺鍍用旋轉靶材剖面結構圖；圖7為利用本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的旋轉靶材粘接方法框圖。如圖1至圖7所示，在構成濺鍍用旋轉靶材100的背板110的外周面，粘接施加高電壓的靶材120的本發明濺鍍用旋轉靶材粘接合成物130，由銦(Indium)和媒介粉末 (Media powder)按一定合成比混合而成。在上述本發明濺鍍用旋轉靶材粘結合成物130的構成中，媒介粉末(Media powder)由非磁性體且比重大于銦(Indium)的元素構成。此時，濺鍍用旋轉靶材粘結合成物130的構成中，銦(Indium)以融融狀態投入，而由非磁性體且比重大于銦(Indium)的元素構成的媒介粉末(Media powder)以粉末狀投入。另外，在上述本發明濺鍍用旋轉靶材粘結合成物130中，銦(Indium)和媒介粉末 (Media powder)的合成比為為5 50重量％ 50 95重量％。以上述5 50重量％的銦(Indium)及50 95重量％的媒介粉末(Media powder)合成的合成物130，在將5 50重量％的熔融銦(Indium)投入背板110外周面和靶材120內周面之間的空間的狀態下，投入50 95重量％的粉末狀媒介粉末(Media powder)，并通過振動或旋轉混合熔融狀態的銦(Indium)和粉末狀的媒介粉末(Media powder)。利用本發明濺鍍用旋轉靶材粘結合成物130在背板110的外周面，粘接施加高電壓的靶材120的過程如下在找好水平的平板10上垂直固定背板110之后，將靶材120結合于背板110的外周面，以在背板110的外周面和靶材120的內周面之間形成一定空間。接著，如上在背板110的外周面結合靶材120并垂直固定于平板10之后，在加熱背板110和靶材120的同時，首先向背板110的外周面和靶材120的內周面之間的一定空間投入熔融銦(Indium)的狀態下，投入粉末狀媒介粉末(Media powder)，并通過背板110 和靶材120的振動或旋轉均勻分布且進行冷卻，從而在背板110的外周面上粘接靶材120。如上所述，構成本發明粘接合成物130的銦(Indium)為屬于元素周期表13組的硼組的稀有金屬元素，而上述銦(Indium)比鉛還柔軟，因此可塑性強，可用指甲刻痕，可變形為各種形狀。另外，與錫相同，在彎曲純金屬時，銦(Indium)發出清脆的聲音。其稀有程度可與銀媲美，平均以地殼重量的0. Ippm左右存在。天然狀態下以結合狀態存在，以礦物， 尤其以鋅和鉛礦物的副產物存在。與此同時，上述銦(Indium)具有融化之后附著于或弄濕干凈的玻璃及其他表面的獨特的特性，從而用于焊接密封玻璃、金屬、石英、陶瓷、大理石之間的縫隙，而且因可增加耐蝕性并在表面形成粘接性油膜，從而用于涂布飛機用引擎軸承。上述銦(Indium)的熔點為 156. 61°C，比重為 7. 31 (200C )。
在上述本發明粘接合成物130的構成中，作為非磁性體且比重大于銦(Indium) 的媒介粉末(Media powder)由從沙子(Sand)、不銹鋼(S/S)、銅(Cu)、鎢(W)、六羰基鎢 (Tungsten hexacarbonyl)氧化鋁(Al2O3)中選擇的一種以上物質構成。另外，若上述媒介粉末(Media Powder)由從沙子(Sand)、不銹鋼(S/S)、銅(Cu)、 鎢(W)、六羰基鎢(Tungsten hexacarbonyl)氧化鋁(Al2O3)中選擇的兩種以上物質構成， 則媒介粉末(Media powder)可以相同的比例混合。此時，媒介粉末(Media powder)的粒子具有0. 001 Imm的大小。下面，說明利用按一定合成比混合銦(Indium)和媒介粉末(Media powder)而成的粘接合成物130，在背板110的外周面上粘接靶材120的方法。如圖1至圖7所示的實施例，在投入粘接合成物130時，首先投入熔融狀態的銦(Indium)之后，再投入粒子狀的媒介粉末(Media powder)。本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材 100的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上S100 ； (b)各在經加熱的背板110的外周面和靶材120的內周面，涂布粉末狀鋼(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理SllO ； (c)冷卻經表面處理的背板110和靶材120S120 ； (d)在經冷卻的背板110的外周面上結合靶材120并縱向固定于平板10上S130 ； (e)將固定于平板10 的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上S140 ； (f)在將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的同時，使其振動S150 ;(g)在加熱并振動背板110和靶材120的同時，向背板 110的外周面和靶材120內周面之間的空間，熔融投入銦(Indium) S160 ;(h)熔融投入銦 (Indium)之后，將粒子狀的媒介粉末(Media powder)投入背板110的外周面和靶材120內周面之間的空間，并通過振動使熔融銦(Indium)均勻分布至媒介粉末的粒子之間S170 ；及 (i)使熔融銦(Indium)分布于媒介粉末的粒子之間之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻S180。在上述本發明的構成中，(a)步驟為將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的步驟S100，而如圖6及圖7所示，上述(a)步驟S100將構成濺鍍用旋轉靶材100的背板 110和靶材120各加熱至一定溫度以上。上述將構成濺鍍用旋轉靶材100的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的 (a)步驟S100，是用于去除形成于背板110和靶材120表面氧化膜的一環，同時也是用于熔融之后的(b)步驟SllO中涂布的粉末狀銦(Indium)的加熱步驟。另外，為使在之后的(b)步驟SllO中涂布的銦(Indium)熔融，通過上述(a)步驟 S100加熱構成濺鍍用旋轉靶材100的背板110和靶材120的溫度，高于銦(Indium)的熔點 156. 61 °C。即，因為銦(Indium)的熔點為156. 61 °C，因此，為熔融粉末狀銦(Indium)，需將背板110和靶材120加熱至156. 61°C以上。接著，通過(a)步驟將背板110和靶材120加熱至銦(Indium)的熔點156. 61 °C以上之后，如圖6及圖7所示，通過(b)步驟，各在經加熱的背板110的外周面和靶材120的內周面，涂布粉末狀銦(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機各對背板 110的外周面和靶材120的外周面進行表面處理Sl 10。在上述各在經加熱的背板110的外周面和靶材120的內周面，涂布粉末狀銦 (Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理SllO的步驟中，熔融銦(Indium)通過刷子或超聲波表面處理機不規則地分布于背板110的外周面和靶材120 的內周面表面，而且刷子或超聲波表面處理機去除背板的外周面和靶材120的內周面表面的氧化膜。換言之，通過上述(b)步驟S110，利用刷子或超聲波表面處理機將熔融銦 (Indium)不規則地涂布于背板110的外周面和靶材120的內周面的步驟中，去除背板110 的外周面和靶材120的內周面表面的氧化膜。因為通過上述(b)步驟Sl 10，利用刷子或超聲波表面處理機將熔融銦(Indium)不規則地涂布于背板Iio的外周面和靶材120的內周面的步驟中，去除背板110的外周面和靶材120的內周面表面的氧化膜，因此，在利用粘接合成物130在背板110的外周面粘接靶材120時，可使其粘接的更牢固。本發明的(c)步驟S120為冷卻背板110和靶材120的步驟S120，而如圖6及圖7 所示，上述(c)步驟S120中，在經(b)步驟SllO對背板110的外周面和靶材120的內周面表面進行表面處理之后，冷卻背板110和靶材120，從而使涂布狀態的熔融銦(Indium)各粘著于背板110的外周面和靶材120的內周面表面。另外，上述(c)步驟S120中，冷卻在(b)步驟SllO中為對背板110的外周面和靶材120的內周面進行表面處理而加熱的冷卻背板110和靶材120，從而在之后的步驟中結合背板110和靶材120時，確保工人的安全，使作業得以順利完成。在上述(c)步驟S120的冷卻步驟中，較佳地，在常溫中進行自然冷卻，以防止熔融涂布的銦(Indium)的急劇變化。接著，(d)步驟為在設置有振動器20的平板10上結合固定背板110和靶材120的步驟S130，而如圖3及圖7所示，在上述(d)步驟S130中，在經(c)步驟S120冷卻的背板 110的外周面上結合靶材120并縱向固定于平板10。在上述經(c)步驟S120冷卻的背板110的外周面上結合靶材120并縱向固定于平板10的步驟中，在背板110的外周面和靶材120的內周面之間，形成投入粘接合成物130 的空間。換言之，構成本發明的靶材120的內徑較之背板110的外徑約大于2mm左右，從而在背板110的外周面上結合固定靶材120時，在背板110的外周面和靶材120的內周面之間，形成約Imm左右的空間。本發明的(e)步驟為加熱固定于平板10的背板110和靶材120的步驟S140，而如圖3及圖7所示，上述(e)步驟S140中，將經(d)步驟S130固定于平板10的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上，以使之后的步驟中投入的熔融粘接合成物130保持熔融狀態。在上述(e)步驟S140中，加熱固定于平板10的背板110和靶材120的溫度，較佳地，高于構成粘接合成物130的銦(Indium)的熔點156. 61°C。而更加為可保持銦(Indium) 熔融狀態的156. 61 160°C范圍的溫度。另外，在上述加熱固定于平板10的背板110和靶材120時，因為媒介粉末(Media powder)以未熔融的狀態投入，從而在未熔融媒介粉末(Media powder)的范圍之內，加熱背板110和靶材120。接著，本發明的(f)步驟為通過平板10的背板110和靶材120的間接振動或通過背板110和靶材120的直接振動完成振動的步驟S150，而如圖3及圖7所示，上述(f)步驟 S150，在經(e)步驟S140將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的同時完成振動。上述通過(f)步驟S150，在將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的同時完成振動的步驟，不僅保持在之后的步驟熔融投入的粘接合成物130的熔融狀態，而且確保熔融粘接合成物130的均勻分布。另外，在將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的同時完成振動的(f)步驟 S 150中，可通過空氣振動器完成振動，也可通過超聲波振動完成振動。此時，在(f)步驟 S150中，可以平板10的旋轉替代振動。本發明的(g)步驟為熔融投入構成粘接合成物130的元素中的銦(Indium)的步驟S160，而如圖3及圖7所示，上述(g)步驟S160中，將構成粘接合成物130的元素中的銦 (Indium)以熔融狀態投入背板110外周面和靶材120內周面之間的空間。通過(g)步驟S160，向通過上述(f)步驟S150加熱和振動(或旋轉)的背板110外周面和靶材120內周面之間的空間以熔融狀態投入銦(Indium)，而熔融投入的銦(Indium) 在保持其熔融狀態的同時被均勻分布。在上述(g)步驟S160中，構成粘接合成物130的銦(Indium)的投入量，占全部粘接合成物130投入量中的5 50重量％。接著，構成本發明的(h)步驟為投入構成粘接合成物130的媒介粉末(Media powder)的步驟S170，而如圖4、圖5及圖7所示，在通過上述(g)步驟S160熔融投入銦 (Indium)之后，在使平板10振動(或旋轉)的同時，將的媒介粉末(Media powder)投入背板110外周面和靶材120內周面之間的空間，從而使熔融銦(Indium)均勻分布于媒介粉末的粒子之間。另外，如上所述，因為構成本發明粘接合成物130的媒介粉末(Media powder)由非磁性體且比重大于銦(Indium)的元素構成，因此，若在利用振動器20振動平板10的同時，將粒子狀媒介粉末(Media powder)投入背板110外周面和靶材120內周面之間的空間，則比重大于銦(Indium)的媒介粉末(Media powder)沉積于下部，而比重小于媒介粉末 (Media powder)且熔融狀態的銦(Indium)向上浮起，從而使熔融銦(Indium)均勻分布于媒介粉末(Media powder)的粒子之間。上述所投入的構成本發明粘接合成物130的媒介粉末(Media powder)的投入量， 占全部粘結合成物130投入量的50 95重量％。此時，媒介粉末(Media Powder)由從沙子(Sand)、不銹鋼(S/S)、銅(Cu)、鎢(W)、六羰基鎢(Tungsten hexacarbonyl)氧化鋁 (Al2O3)中選擇的一種以上物質構成。此時，若選擇兩種以上物質混合制備媒介粉末(Media powder)，則以相同比例混合，而且媒介粉末(Media powder)的粒子具有0. 001 Imm的大另外，如圖7所示，通過上述(h)步驟S170使投入于背板110外周面和靶材120內周面之間的空間的熔融銦(Indium)和粒子狀媒介粉末(Media powder)均勻分布之后，通過(i)步驟S180的冷卻，使粘接合成物130固化。此時，將停止對背板110和靶材120的振動(或旋轉)。換言之，通過上述(h)步驟S170使投入于背板110外周面和靶材120內周面之間的空間的熔融銦(Indium)和粒子狀媒介粉末(Media powder)均勻分布之后，停止對背板
10110和靶材120的加熱和振動(或旋轉)，通過冷卻使粘接合成物130固化。另外，較佳地，通過⑴步驟S180的冷卻，在常溫中進行自然冷卻，以使所投入的粘接合成物130在無急劇變化的情況下冷卻固化。圖8為利用本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的另一旋轉靶材粘接方法框圖。如圖8所示的另一旋轉靶材粘接方法，在投入構成粘接合成物130的銦(Indium) 和媒介粉末(Media powder)時，與如圖7所示的方法不同，不是在投入熔融銦(Indium)之后投入粒子狀的媒介粉末(Media powder)，而是同時投入銦(Indium)和媒介粉末(Media powder)。如圖8所示，本發明另一濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材100的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上S200 ;(b)各在經加熱的背板110的外周面和靶材120的內周面，涂布粉末狀銦(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理S210 ； (c)冷卻經表面處理的背板110和靶材120S220 ； (d)在經冷卻的背板110的外周面上結合靶材120并縱向固定于平板10上S230;(e)將固定于平板10的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上S240 ； (f)在將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的同時，使其振動S250 ； (g)在加熱并振動背板110和靶材120 的同時，向背板110的外周面和靶材120內周面之間的空間，按一定比例同時投入熔融銦 (Indium)和粒子狀媒介粉末(Media powder) S260 ；及(h)同時投入銦(Indium)和媒介粉末(Mediapowder)之后，在停止對背板110和靶材120的加熱及振動的狀態下進行冷卻 S270。上述本發明另一旋轉靶材粘接方法中，S200、S210、S220、S230、S240 &S250的步驟與圖7所示的實施例中的S100、S110、S120、S130、S140及S150的步驟相同，因此，在此不再贅述。另外，本發明另一旋轉靶材粘接方法中S270步驟也與如圖7所示的實施例中的 S180步驟相同，因此，也在此不再贅述。只是，如上所述，在本發明另一旋轉靶材粘接方法中，在通過S250步驟振動(或旋轉)背板110和靶材120的狀態下，通過S260步驟按一定比例同時投入熔融銦(Indium) 和粒子狀媒介粉末(Media powder)。此時，銦(Indium)和媒介粉末(Media powder)的投入比例為5 50 50 95重量％。圖9為利用本發明濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物的又一旋轉靶材粘接方法框圖。如圖9所示的又一旋轉靶材粘接方法，在投入構成粘接合成物130的銦(Indium) 和媒介粉末(Media powder)時，與如圖7所示的方法不同，不是在投入熔融銦(Indium)之后投入粒子狀的媒介粉末(Media powder)，或與如圖8所示的方法不同，不是同時投入銦 (Indium)和媒介粉末(Media powder)，而是首先投入媒介粉末(Media powder)之后投入熔融銦(Indium)。如圖9所示，本發明又一濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材100的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上S300 ;(b)各在經加熱的背板110的外周面和靶材120的內周面，涂布粉末狀銦(Indium)并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理S310 ； (c)冷卻經表面處理的背板110和靶材120S320 ； (d)在經冷卻的背板110的外周面上結合靶材120并縱向固定于平板10上S330 ;(e)將固定于平板10的背板110和靶材120加熱至一定溫度以上S340 ； (f)在將背板110和靶材120加熱至一定溫度以上的同時，使其振動S350 ； (g)在加熱并振動背板110和靶材120 的同時，向背板110的外周面和靶材120內周面之間的空間，投入一定量的粒子狀媒介粉末(Media powder) S360 ； (h)投入媒介粉末(Media powder)之后，熔融投入一定量的銦 (Indium)，并通過振動(或旋轉)背板110和靶材120使熔融銦(Indium)均勻分布至媒介粉末的粒子之間S370 ；及(i)使熔融銦(Indium)分布于媒介粉末的粒子之間之后，在停止加熱及振動背板110和靶材120的狀態下進行冷卻S380。如圖9所示的本發明又一旋轉靶材粘接方法中，S300、S310、S320、S330、S340及 S350的步驟與圖7所示的實施例中的S100、S110、S120、S130、S140及S150的步驟相同，因此，在此不再贅述。另外，本發明又一旋轉靶材粘接方法中S370步驟也與如圖7所示的實施例中的S180步驟相同，因此，也在此不再贅述。只是，如上所述，在本發明又一旋轉靶材粘接方法中，，在通過S350步驟振動(或旋轉)背板Iio和靶材120的狀態下，首先通過S360步驟向背板110和靶材120之間的空間投入粒子狀媒介粉末(Media powder)之后，通過S370步驟投入熔融銦(Indium)。此時， 銦(Indium)和媒介粉末(Media powder)的投入比例為5 50 50 95重量％。如上所述，本發明的技術可最大限度地減少作為稀有金屬且高價的銦(Indium) 的使用量，從而可降低濺鍍用旋轉靶材的制造生產單價，且可穩定地購得所需材料。本發明不受上述實施例的限制，可在不脫離本發明技術思想的范圍之內，進行各種變化。
權利要求
1.一種濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物，在可旋轉地設置于濺鍍用真空室并被驅動電機驅動旋轉地同時，施加高電壓的濺鍍用旋轉靶材的呈圓筒形的背板外周面，粘接結合圓筒形靶材，而上述濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物由如下物質混合制備而成5 50重量％的銦；及50 95重量％的非磁性體且比重大于銦的媒介粉末。
2.根據權利要求1所述的濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物，其特征在于上述媒介粉末由從沙子、不銹鋼(S/S)、銅(Cu)、鎢(W)、六羰基鎢氧化鋁(Al2O3)中選擇的一種以上物質構成。
3.根據權利要求2所述的濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物，其特征在于若選擇兩種以上物質混合制備上述媒介粉末，則以相同的比例混合。
4.根據權利要求1至3中任一權利要求所述的濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物，其特征在于上述媒介粉末的大小為0. 001 1mm。
5.一種明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經(a)步驟進行加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(c)冷卻經(b)步驟進行表面處理的背板和靶材；(d)在經(c)步驟冷卻的背板的外周面上結合靶材并縱向固定于平板上；(e)將經(d)步驟固定于平板的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在經(e)步驟將背板和靶材加熱至一定溫度以上的同時，使其振動；(g)在經(f)步驟加熱并振動背板和靶材的同時，向背板的外周面和靶材內周面之間的空間，熔融投入銦；(h)經(g)步驟熔融投入銦之后，將粒子狀的媒介粉末投入背板的外周面和靶材內周面之間的空間，并通過振動使熔融銦均勻分布至媒介粉末的粒子之間；及(i)經(h)步驟使熔融銦分布于媒介粉末的粒子之間之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻。
6.一種明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經(a)步驟進行加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(c)冷卻經(b)步驟進行表面處理的背板和靶材；(d)在經(c)步驟冷卻的背板的外周面上結合靶材并縱向固定于平板上；(e)將經(d)步驟固定于平板的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在經(e)步驟將背板和靶材加熱至一定溫度以上的同時，使其振動；(g)在經(f)步驟加熱并振動背板和靶材的同時，向背板的外周面和靶材內周面之間的空間，按一定比例同時投入熔融銦和粒子狀媒介粉末；及(h)經(g)步驟投入銦和媒介粉末之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻。
7.一種明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，包括如下步驟(a)將構成濺鍍用旋轉靶材的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經(a)步驟進行加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(C)冷卻經(b)步驟進行表面處理的背板和靶材；(d)在經(c)步驟冷卻的背板的外周面上結合靶材并縱向固定于平板上；(e)將經(d)步驟固定于平板的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在經(e)步驟將背板和靶材加熱至一定溫度以上的同時，使其振動；(g)在經(f)步驟加熱并振動背板和靶材的同時，向背板的外周面和靶材內周面之間的空間，投入一定量的粒子狀媒介粉末；(h)經(g)步驟投入媒介粉末之后，熔融投入一定量的銦，并通過振動使熔融銦均勻分布至媒介粉末的粒子之間；及(i)經(h)步驟使熔融銦分布于媒介粉末的粒子之間之后，在停止加熱及振動的狀態下進行冷卻。
8.根據權利要求5至7中任一權利要求所述的明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，其特征在于上述銦和媒介粉末的合成比為5 50 50 95重量％。
9.根據權利要求8所述的明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，其特征在于上述媒介粉末由從沙子、不銹鋼(S/S)、銅(Cu)、鎢(W)、六羰基鎢氧化鋁(Al2O3)中選擇的一種以上物質構成。
10.根據權利要求9所述的明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，其特征在于若選擇兩種以上物質混合制備上述媒介粉末，則以相同的比例混合。
11.根據權利要求10所述的明濺鍍用旋轉靶材的粘接方法，其特征在于上述媒介粉末的大小為0. 001 1mm。
全文摘要
本發明涉及濺鍍用旋轉靶材的粘接合成物及利用上述合成物的旋轉靶材粘接方法。濺鍍用旋轉靶材的粘接方法包括如下步驟(a)將背板和靶材加熱至一定溫度以上；(b)各在經加熱的背板的外周面和靶材的內周面，涂布粉末狀銦并熔融的同時，利用刷子或超聲波表面處理器機進行表面處理；(c)冷卻經表面處理的背板和靶材；(d)在經冷卻的背板的外周面上結合靶材并固定于平板上；(e)將固定的背板和靶材加熱至一定溫度以上；(f)在加熱背板和靶材的同時，使其振動；(g)在加熱并振動背板和靶材的同時，向背板和靶材的空間投入粉末狀媒介粉末；(h)熔融投入銦并使其均勻分布；及(i)在停止加熱及振動背板和靶材的狀態下進行冷卻。
文檔編號C23C14/34GK102330054SQ20101051796
公開日2012年1月25日 申請日期2010年10月25日 優先權日2010年7月13日
發明者W·R·辛普森, 韓淳錫 申請人:Tcb韓國公司