專利名稱:一種金剛石膜的超高速復合拋光盤的制作方法
技術領域:
本發明屬于金剛石膜的高速拋光技術,特別涉及金剛石膜高速及超高速精密拋光技術。
背景技術:
目前,金剛石膜熱化學拋光時所使用的拋光盤多為單盤結構,拋光盤磨損后需要整體更換;而且在進行高速及超高速拋光時,需要進行嚴格的動平衡,動平衡調整麻煩。若使用鑄鐵等材料作為拋光盤,由于其質量大,高速旋轉時的慣性力可能會使拋光盤破裂而發生危險。
發明內容
本發明的目的是為了解決金剛石膜超高速拋光時動平衡調整、拋光盤更換及拋光盤破裂的技術問題,提供一種結構簡單、轉動慣量小、動平衡調整方便、拋光盤更換容易的一種金剛石膜超高速復合拋光盤。本發明包括材料可以更換的拋光盤、鋁合金材料的拋光盤座、動平衡調整塊、聯接軸、高速電主軸。拋光盤安裝在拋光盤座的圓槽中并通過螺栓連接,拋光盤座另一面的梯形截面的環形槽內安裝有三個動平衡調整塊,調好動平衡后用螺釘將調整塊頂緊在拋光盤座的環形槽內,拋光盤座通過聯接軸與高速電主軸相連接。所述拋光盤座的一面有用于安裝動平衡調整塊的環形槽,另一面有用于安裝拋光盤的圓槽,中間部位是用于和聯接軸連接的定位孔及螺栓孔。本發明具有結構簡單、重量輕、轉動慣量小,可以更換多種材料的拋光盤,動平衡調整簡單方便等優點。
圖1是本發明的結構示意圖。圖2是拋光盤座的A向視圖。圖中1電主軸、2聯接軸、3動平衡調整塊、4調整螺釘、5拋光盤座、6拋光盤、7聯接螺栓。
具體實施例方式下面結合附圖對本發明的結構原理和工作過程作進一步說明。一種金剛石膜的超高速復合拋光盤,如圖1所示,它包括電主軸1、聯接軸2、動平衡調整塊3、調整螺釘4、拋光盤座5、拋光盤6、聯接螺栓7。聯接軸2通過螺紋與電主軸1 聯接,拋光盤6放置在拋光盤座5上方的圓槽中、它們通過螺栓7與聯接軸2的法蘭聯接,動平衡調整塊3安裝在拋光盤座5下面的環形槽中,通過調整三個動平衡調整塊圓周方向的相對位置達到調整動平衡的目的,動平衡調整好后擰緊調整螺釘4將動平衡調整塊固定。由電主軸1通過聯接軸2帶動拋光盤座及拋光盤一起旋轉。
權利要求
1.一種金剛石膜的超高速復合拋光盤,其特征是,包括拋光盤、鋁合金的拋光盤座、動平衡調整塊、聯接軸、高速電主軸,拋光盤安裝在拋光盤座的圓槽中,動平衡調整塊安裝在拋光盤座的環形槽內,拋光盤座通過聯接軸與高速電主軸相連接。
2.根據權利要求1所述的一種金剛石膜的超高速復合拋光盤,其特征在于所述鋁合金拋光盤座的一面有用于安裝拋光盤的圓槽,另一面有用于安裝動平衡調整塊的環形槽。
3.根據權利要求1所述的一種金剛石膜的超高速復合拋光盤,其特征在于所述拋光盤可以快速更換。
全文摘要
一種用于金剛石膜的超高速復合拋光盤,包括拋光盤、拋光盤座、動平衡調整塊、聯接軸、高速電主軸等。拋光盤通過螺栓固定在拋光盤座的圓槽中,拋光盤座通過聯接軸與高速電主軸相連接,拋光盤座的環形槽內安裝有動平衡調整塊。本發明具有結構簡單、重量輕、拋光盤更換方便,可以實現的拋光速度高、動平衡調整方便、成本低等優點。
文檔編號B24B41/04GK102380822SQ20101026902
公開日2012年3月21日 申請日期2010年9月1日 優先權日2010年9月1日
發明者周麗, 許立福, 黃樹濤 申請人:沈陽理工大學