專利名稱：旋轉濺射電弧柱靶裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及旋轉電弧柱靶裝置，特別涉及旋轉濺射電弧柱靶裝置，屬 于表面處理設備，主要用于在柱形靶材表面噴涂薄層。
背景技術：
在給靶材表面噴涂薄層時，常采用的是利用電極進行噴涂，對于一些柱形 靶材的表面噴涂，常采用的是旋轉電弧柱靶裝置，圖1是現有的旋轉電弧柱靶
裝置，它包括底部的柱靶下蓋，固定在柱靶下蓋上的磁心磁鋼20，與磁心磁鋼 連接并由陰極法蘭固定的柱靶陰極13，套置于柱靶陰極外的陰極水套ll，安裝 于陰極水套上并與柱靶陰極內腔相通的出水口 9，安裝于陰極水套外的真空室頂 板，位于柱靶陰極頂部的進水口9，位于真空室頂板一側的電機支架2及電機支 架上的電機l，電機通過齒輪3與柱靶陰極頂端相連。這種旋轉電弧柱靶裝置在 使用時，將靶材放于磁心磁鋼外，鍍層常常會沉積于陰極法蘭上，影響柱靶與 真空機殼的絕緣性能，同時，由于電機支架位于真空室頂板一側，電機在轉動 過程中會產生較大的晃動，從而使磁心旋轉不穩定，無法保證柱靶的密封性能。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種能防止鍍層沉積于陰極法蘭上，保證柱靶 與真空機殼的絕緣性能，磁心旋轉穩定，保證柱靶的密封性能的旋轉電弧柱靶 裝置。
本實用新型的目的是通過如下技術方案來實現的旋轉電弧柱耙裝置，包 括柱靶下蓋、磁心磁鋼、柱靶上蓋、柱靶陰極、真空室頂板、柱靶固定法蘭、 陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法蘭、陰極水套、水套絕緣法蘭、安裝于陰極水套上 并與柱靶陰極內腔相通的出水口和位于柱靶陰極頂部的進水口，柱靶下蓋、磁心磁鋼、柱靶上蓋、真空室頂板、柱靶固定法蘭、陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法 蘭、陰極水套、水套絕緣法蘭由下向上依次相連，其特征在于電機支架的中心 截面為方形，電機支架下底面固定在柱靶陰極法蘭上，上表面固定在水套絕緣 法蘭上，電機固定在電機支架上表面，電機支架上的電機通過齒輪與柱靶陰極 頂端相連。
在柱耙上蓋與柱靶固定法蘭之間設置屏蔽筒，屏蔽筒套于柱靶陰極外并固 定在柱靶固定法蘭上。
本實用新型由于采用了上述結構，電機固定在中心截面為方形的電機支架 上，磁心旋轉穩定，不易產生晃動保證的柱靶的密封性能，同時，在柱靶上蓋 與柱靶固定法蘭之間設置屏蔽筒，防止了鍍層沉積于陰極法蘭上，保證柱靶與 真空機殼的絕緣性能。
圖1為現有旋轉電弧柱靶裝置結構示意圖2為本實用新型旋轉電弧柱靶裝置結構示意圖。
具體實施方式
以下結合附圖對本實用新型做進一步闡述
參見圖2，本實用新型的旋轉電弧柱靶裝置，包括柱靶下蓋21、磁心磁鋼
20、柱靶上蓋18、柱靶陰極、真空室頂板5、柱靶固定法蘭6、陰極絕緣法蘭 17、柱靶陰極法蘭16、陰極水套ll、水套絕緣法蘭12、安裝于陰極水套上并與 柱靶陰極內腔相通的出水口 8和位于柱靶陰極頂部的進水口 9，柱靶下蓋、磁心 磁鋼、柱靶上蓋、真空室頂板、柱靶固定法蘭、陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法蘭、 陰極水套、水套絕緣法蘭由下向上依次相連，電機支架2的中心截面為方形， 電機支架下底面固定在柱靶陰極法蘭上，上表面固定在水套絕緣法蘭上，電機1 固定在電機支架上表面，電機支架上的電機通過齒輪3與柱靶陰極頂端相連，在柱耙上蓋與柱耙固定法蘭之間設置屏蔽筒7，屏蔽筒套于柱靶陰極外并固定在 柱耙固定法蘭上，在陰極絕緣法蘭17與柱靶固定法蘭6之間設有陰極密封膠圈 4。
以上所述僅為實用新型的較佳實施例而已，并不僅以上限制實用新型，凡 在本實用新型的精神和原則之內所作的任何修改、等同替換和改進等，均應包
括在本實用新型的保護范圍內。
權利要求1、旋轉電弧柱靶裝置，包括柱靶下蓋、磁心磁鋼、柱靶上蓋、柱靶陰極、真空室頂板、柱靶固定法蘭、陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法蘭、陰極水套、水套絕緣法蘭、安裝于陰極水套上并與柱靶陰極內腔相通的出水口和位于柱靶陰極頂部的進水口，柱靶下蓋、磁心磁鋼、柱靶上蓋、真空室頂板、柱靶固定法蘭、陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法蘭、陰極水套、水套絕緣法蘭由下向上依次相連，其特征在于電機支架的中心截面為方形，電機支架下底面固定在柱靶陰極法蘭上，上表面固定在水套絕緣法蘭上，電機固定在電機支架上表面，電機支架上的電機通過齒輪與柱靶陰極頂端相連。
2、 如權利要求1所述的旋轉電弧柱靶裝置，其特征在于在柱靶上蓋與柱靶固定 法蘭之間設置屏蔽筒，屏蔽筒套于柱靶陰極外并固定在柱靶固定法蘭上。
3、 如權利要求1或2所述的旋轉電弧柱靶裝置，其特征在于在陰極絕緣法蘭與
專利摘要本實用新型公開旋轉電弧柱靶裝置，包括柱靶下蓋、磁心磁鋼、柱靶上蓋、柱靶陰極、真空室頂板、柱靶固定法蘭、陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法蘭、陰極水套、水套絕緣法蘭、安裝于陰極水套上并與柱靶陰極內腔相通的出水口和位于柱靶陰極頂部的進水口，柱靶下蓋、磁心磁鋼、柱靶上蓋、真空室頂板、柱靶固定法蘭、陰極絕緣法蘭、柱靶陰極法蘭、陰極水套、水套絕緣法蘭由下向上依次相連，其特征在于電機支架的中心截面為方形，電機支架下底面固定在柱靶陰極法蘭上，上表面固定在水套絕緣法蘭上，電機固定在電機支架上表面，電機支架上的電機通過齒輪與柱靶陰極頂端相連。本實用新型由于采用了上述結構，磁心旋轉穩定，不易產生晃動保證的柱靶的密封性能。
文檔編號C23C14/34GK201424502SQ200920056379
公開日2010年3月17日 申請日期2009年5月12日 優先權日2009年5月12日
發明者蘇東藝 申請人:廣州今泰科技有限公司