專利名稱：光電感應式腔體觀察窗的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種腔體觀察窗，尤其涉及一種能實時觀測及監控用于鍍膜用的腔體
內器件鍍膜狀況的光電感應式腔體觀察窗。
背景技術：
隨著經濟迅速發展，技術水平的不斷提高，加速了工業化的前進步伐，使得工業化 正朝大型化、復雜化、智能化及精密化等方向邁進，從而更好地為人們生活服務，為經濟發 展提供源源不斷的動力。其中，OLED制造行業屬于諸多精密行業中之一種。
OLED，即有機發光二極管(Organic Light-Emitting Diode)，又稱為有機電激光 顯示(Organic Electroluminesence Display,OELD)。因為具備輕薄、省電等特性，因此在 數碼產品的顯示屏上得到了廣泛應用，并且具有較大的市場潛力，目前世界上對OLED的應 用都聚焦在平板顯示器上，因為OLED是唯一在應用上能和TFT-LCD相提并論的技術，OLED 是目前所有顯示技術中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率軟屏的顯示技術，可以做成 和紙張一樣的厚度。其中，在OLED的制作過程中，氧化銦錫(ITO)基板前處理、陰極工藝 及封裝是OLED制造中最關鍵的三大工藝，它們最大限度地關乎到OLED品質的高低及OLED 正常的使用壽命。為了提升OLED品質及正常的使用壽命，相應地，應用于OLED制造的三大 工藝中各種設備必須能滿足OLED對真空度要求極高的工作環境。其中，觀察窗就是應用于 OLED三大工藝中的一種設備。 觀察窗用于監控氧化銦錫(ITO)基板前處理中器件的真空鍍膜流程，監測真空鍍 膜器件表面的鍍膜層是否均勻、致密且沒針孔，以及監測在鍍膜設備出現不確定微小故障 時能夠在保證不關閉整條設備是否能正常工作以提高效率，其質量好壞極大程度上關系到 真空鍍膜器件表面的鍍膜層品質的高低，從而影響到OLED后續的制造流程及OLED最終的 品質及精度。但是，現有的觀察窗普遍存在以下不足。 目前，市面上安裝在真空鍍膜腔體上的觀察窗主要包括觀察窗座、玻璃及傳感器，
觀察窗座安裝在腔體上，觀察窗座開設有觀察收容通道，腔體具有與觀察收容通道相對應
的觀察孔，玻璃抵觸于觀察窗座與腔體之間且收容于觀察收容通道內，分別于觀察窗座與
玻璃之間、玻璃與腔體之間設有密封膠，傳感器安裝于靠近腔體的觀察孔的開口處的玻璃
上。由于觀察窗座與玻璃之間、玻璃與腔體之間用密封膠使它們固定在一起以滿足器件在
鍍膜時對真空度的要求，使得觀察窗座裝拆不便、清洗困難，增加了維護的難度。同時，由于
傳感器安裝于靠近腔體的觀察孔的開口處的玻璃上，在器件鍍膜時傳感器極易地被涂料粘
附，使得其不能精準地監控用于真空鍍膜用的腔體內器件鍍膜的工作狀況，從而影響到器
件鍍膜層的均勻性及致密性，進而縮短器件的正常使用壽命，且安裝于靠近腔體的觀窗孔
的開口處的傳感器調試及安裝極不方便。 因此，急需要一種裝拆方便、清洗極易、調試簡單且具有優異的密封性能并能精準 地監控用于真空鍍膜用的腔體內器件鍍膜狀況的光電感應式腔體觀察窗。
發明內容
本發明的目的在于提供一種裝拆方便、清洗極易、調試簡單且具有優異的密封性能并能精準地監控用于真空鍍膜用的腔體內器件鍍膜狀況的光電感應式腔體觀察窗。
為實現上述目的，本發明的技術方案為提供一種光電感應式腔體觀察窗，適應于安裝在對真空度要求極高的用于鍍膜用的腔體上，所述光電感應式腔體觀察窗包括法蘭座、傳感器裝置及玻璃板，所述法蘭座安裝于所述腔體上，所述法蘭座呈中空結構，所述中空結構形成收容腔，所述腔體開設有與所述收容腔相對應的觀察通道，所述玻璃板收容于所述收容腔內且密封所述觀察通道，其中，所述光電感應式腔體觀察窗還包括密封部件，所述密封部件包括壓環及密封圈，所述壓環抵觸于所述玻璃板與所述腔體之間且收容于所述收容腔內，所述壓環開設有與所述觀察通道相對應的觀察口 ，所述壓環的外側具有與所述密封圈相匹配的壓環槽，所述密封圈的一端與所述壓環槽抵觸，所述密封圈的另一端與所述收容腔的內壁抵觸，所述傳感器裝置安裝于所述法蘭座上且延伸至所述收容腔正上方。
較佳地，所述光電感應式腔體觀察窗對稱且成對的安裝于所述腔體上，所述傳感器裝置包括光傳感器及光傳感器接收器，所述光傳感器及光傳感器接收器分別對稱且成對的安裝于所述光電感應式腔體觀察窗上。通過由光傳感器及光傳感器接收器組成的傳感器裝置，使得傳感器裝置能精準地監控用于鍍膜用的腔體內器件鍍膜的工作狀況；通過對稱且成對安裝于腔體上的光電感應式腔體觀察窗，便于多方位的觀測與監控。具體地，對稱且成對的所述光電感應式腔體觀察窗的收容腔與光傳感器及光傳感器接收器位于同一直線上，使得光傳感器及光傳感器接收器精確地監控用于鍍膜用的腔體內器件鍍膜情況，使得器件鍍膜層更均勻，更致密，器件質量更高。具體地，所述光電感應式腔體觀察窗還包括固定塊，所述固定塊的一端與所述法蘭座連接，另一端延伸至所述收容腔正上方，延伸至所述收容腔正上方的固定塊的一端開設有收容槽，所述光傳感器接收器安裝于所述收容槽內，使得光傳感器接收器的安裝方便、固定可靠且調試極易；同時，由于光傳感器接收器位于收容腔正上方，使得光傳感器接收器能精準地接收信號，為光電感應式腔體觀察窗的實時監控提供良好條件。 較佳地，所述壓環的截面呈彎折狀并形成彎折部，所述彎折部卡合于所述腔體的觀察通道的開口處，使得壓環與腔體的固定可靠、方便。 較佳地，所述壓環槽呈弧形，與所述壓環槽相匹配的密封圈的截面呈圓弧形，使得壓環槽與密封圈的配合緊密，且具有優異的密封性能，從而使得光電感應式腔體觀察窗能適應于對真空度要求極高的用鍍膜用的腔體上。 較佳地，所述光電感應式腔體觀察窗還包括橡膠墊片，所述橡膠墊片抵觸于所述玻璃板與所述法蘭座之間，能更好地防止玻璃板在安裝過程中被壓壞，且使玻璃板與法蘭座之間具有優異的密封性能。 較佳地，所述腔體開設有供所述法蘭座固定的固定臺階面，使得法蘭座在腔體內
裝拆方便、固定可靠，從而使本發明光電感應式腔體觀察窗極易清洗及維護。 與現有技術相比，由于本發明具有密封部件，且該密封部件包括具有壓環槽的壓
環及與壓環槽相匹配的密封圈，一方面使得本發明光電感應式腔體觀察窗與腔體之間形成
優異的真空環境以滿足器件的真空鍍膜要求，保證器件鍍膜層的均勻性及致密封性以提高
器件的品質；另一方面使得本發明光電感應式腔體觀察窗裝拆方便、清洗極易。同時，由于傳感器裝置安裝于所述法蘭座上且延伸至所述收容腔正上方，一方面能更有效地阻止腔體內鍍膜的涂料粘附于傳感器裝置上而影響到傳感器裝置的精準度及傳感器裝置的正常壽命，因而使得本發明能精準地監控用鍍膜用的腔體內的器件的鍍膜情況，保證器件鍍膜層的均勻性及致密性；另一方面使得傳感器裝置的安裝調試極易，減少維護時間以降低成本。
圖1是本發明光電感應式腔體觀察窗對稱且成對地安裝于腔體上的結構示意圖。 圖2是圖1中A部分的放大圖。 圖3是本發明光電感應式腔體觀察窗的立體圖。 圖4是本發明光電感應式腔體觀察窗的結構示意圖。
具體實施例方式
為了詳細說明本發明光電感應式腔體觀察窗的技術內容、構造特征，以下結合實施方式并配合附圖作進一步說明。 如圖1和圖3所示，本發明光電感應式腔體觀察窗100安裝在對真空度要求極度的用于鍍膜用的腔體l內。該光電感應式腔體觀察窗100包括法蘭座2、傳感器裝置及玻璃板3。上述法蘭座2通過安裝孔25及螺釘(圖中未示)固定在上述腔體1上，上述法蘭座2呈中空結構，該中空結構形成收容腔20。上述腔體1開設有與上述收容腔20相對應的觀察通道10。上述玻璃板3收容于上述收容腔20內且密封上述觀察通道10。其中，上述光電感應式腔體觀察窗100還包括密封部件5，該密封部件5包括壓環51及密封圈52。上述壓環51抵觸于上述玻璃板3與上述腔體1之間且收容于上述收容腔20內，上述壓環51開設有與上述觀察通道10相對應的觀察口 510，上述壓環51的外側具有與上述密封圈52相匹配的壓環槽511。上述密封圈52的一端與上述壓環槽511抵觸，上述密封圈52的另一端與上述收容腔20的內壁抵觸。上述傳感器裝置安裝于上述法蘭座2上且延伸至上述收容腔20正上方。具體地，上述壓環51的截面呈彎折狀并形成彎折部512，上述彎折部512卡合于上述腔體1的觀察通道10的開口處，使得壓環51與腔體1的固定可靠、方便。上述壓環槽511呈弧形，與上述壓環槽511相匹配的密封圈52的截面呈圓弧形，使得壓環槽511與密封圈52的配合緊密，且具有優異的密封性能，從而使得光電感應式腔體觀察窗100能安裝在對真空度要求極高的用鍍膜用的腔體1上。結合圖2和圖4，更具體地，如下
較佳者，上述光電感應式腔體觀察窗100通過安裝孔25及螺釘(圖中未示)對稱且成對的安裝于上述腔體1的左側和右側上。上述傳感器裝置包括光傳感器43及光傳感器接收器41 。其中，光傳感器43為光電傳感器或光纖傳感器，提高光傳感器43監控精度，然其種類不限制于此。上述光傳感器43安裝于右側的光電感應式腔體觀察窗100上。上述光傳感器接收器41安裝在左側的光電感應式腔體觀察窗100上。上述光傳感器43與光傳感器接收器41組成一對且分別對稱地設置的，使得傳感器裝置能精準地監控用于鍍膜用的腔體1內器件鍍膜的工作狀況，以及能多方位的觀測與監控用于真空鍍膜用的腔體1內的鍍膜狀況。具體地，對稱且成對的上述光電感應式腔體觀察窗100的收容腔20與光傳感器43及光傳感器接收器41位于同一直線上，使得光傳感器43及光傳感器接收器41精確地監控用于鍍膜用的腔體1內的器件鍍膜情況，使得器件鍍膜更均勻，更致密，器件質量更高。上述光電感應式腔體觀察窗100還包括固定塊7，上述固定塊7的一端通過螺釘71安 裝在上述法蘭座2上，其另一端延伸至上述收容腔20正上方，延伸至上述收容腔20正上方 的固定塊7的一端開設有收容槽70。上述光傳感器接收器41安裝于上述收容槽70內，使 得光傳感器接收器41的安裝方便、固定可靠且調試極易；且由于光傳感器接收器41位于收 容腔20的正上方，使得光傳感器接收器41能精準地接收信號，為光電感應式腔體觀察100 的實時控制提供良好條件。 較佳者，上述光電感應式腔體觀察窗100還包括橡膠墊片6，該橡膠墊片6抵觸于 上述玻璃板3與上述法蘭座2之間，更好地防止玻璃板3在安裝過程中被壓壞，及使玻璃板 3與法蘭座2之間具有優異的密封性能。 較佳者，上述腔體1開設有供上述法蘭座2固定的固定臺階面11，使得法蘭座2在 腔體1內裝拆方便、固定可靠，從而使本發明光電感應式腔體觀察窗100極易清洗及維護。
本發明的密封部件5由壓環51及密封圈52組成，且壓環51開設有與密封圈52 相匹配的壓環槽511，一方面使得本發明光電感應式腔體觀察窗100與腔體1之間形成優異 的真空環境以滿足器件真空鍍膜的要求，保證器件鍍膜層的均勻性及致密封性以提高器件 的品質；另一方面使得本發明光電感應式腔體觀察窗100裝拆方便、清洗極易。同時，由于 傳感器裝置安裝于法蘭座2上且延伸至收容腔20正上方， 一方面能更有效地阻止腔體1內 鍍膜的涂料粘附于傳感器裝置上而影響到傳感器裝置的精準度及傳感器裝置的正常壽命， 因而使得本發明能精準地監控用鍍膜用的腔體1內的器件的鍍膜情況，保證器件鍍膜層的 均勻性及致密性；另一方面使得傳感器裝置的安裝調試極易，減少維護時間以降低成本。
本發明光電感應式腔體觀察窗IOO所涉及的用于鍍膜用的腔體1的具體形狀及傳 感器裝置的工作原理均為本領域普通技術人員根據實際需要所熟知的，在此不再做詳細的 說明。 以上所揭露的僅為本發明的較佳實例而已，當然不能以此來限定本發明之權利范 圍，因此依本發明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬于本發明所涵蓋的范圍。
權利要求
一種光電感應式腔體觀察窗，適應于安裝在對真空度要求極高的用于鍍膜用的腔體上，所述光電感應式腔體觀察窗包括法蘭座、傳感器裝置及玻璃板，所述法蘭座安裝于所述腔體上，所述法蘭座呈中空結構，所述中空結構形成收容腔，所述腔體開設有與所述收容腔相對應的觀察通道，所述玻璃板收容于所述收容腔內且密封所述觀察通道，其特征在于還包括密封部件，所述密封部件包括壓環及密封圈，所述壓環抵觸于所述玻璃板與所述腔體之間且收容于所述收容腔內，所述壓環開設有與所述觀察通道相對應的觀察口，所述壓環的外側具有與所述密封圈相匹配的壓環槽，所述密封圈的一端與所述壓環槽抵觸，所述密封圈的另一端與所述收容腔的內壁抵觸，所述傳感器裝置安裝于所述法蘭座上且延伸至所述收容腔正上方。
2. 如權利要求1所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述光電感應式腔體觀 察窗對稱且成對的安裝于所述腔體上，所述傳感器裝置包括光傳感器及光傳感器接收器， 所述光傳感器及光傳感器接收器分別對稱且成對的安裝于所述光電感應式腔體觀察窗上。
3. 如權利要求2所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于對稱且成對的所述光電 感應式腔體觀察窗的收容腔與光傳感器及光傳感器接收器位于同一直線上。
4. 如權利要求2所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于還包括固定塊，所述固定 塊的一端與所述法蘭座連接，另一端延伸至所述收容腔正上方，延伸至所述收容腔正上方 的固定塊的一端開設有收容槽，所述光傳感器接收器安裝于所述收容槽內。
5. 如權利要求1所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述壓環的截面呈彎折 狀并形成彎折部，所述彎折部卡合于所述腔體的觀察通道的開口處。
6. 如權利要求l所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述壓環槽呈弧形，與所 述壓環槽相匹配的密封圈的截面呈圓弧形。
7. 如權利要求l所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于還包括橡膠墊片，所述橡 膠墊片抵觸于所述玻璃板與所述法蘭座之間。
8. 如權利要求1所述的光電感應式腔體觀察窗，其特征在于所述腔體開設有供所述 法蘭座固定的固定臺階面。
全文摘要
本發明提供了一種光電感應式腔體觀察窗，安裝在對真空度要求極高的用于鍍膜用的腔體上，其包括法蘭座、傳感器裝置及玻璃板，法蘭座安裝于腔體上，法蘭座呈中空結構，中空結構形成收容腔，腔體開設有與收容腔相對應的觀察通道，玻璃板收容于收容腔內且密封觀察通道，其中，還包括密封部件，密封部件包括壓環及密封圈，壓環抵觸于玻璃板與腔體之間且收容于收容腔內，壓環開設有與觀察通道相對應的觀察口，壓環的外側具有與密封圈相匹配的壓環槽，密封圈的一端與壓環槽抵觸，另一端與收容腔的內壁抵觸，傳感器裝置安裝于法蘭座上且延伸至收容腔正上方，使本發明光電感應式腔體觀察窗具有優異密封性能，維護極易并能精準地監控腔體內器件鍍膜狀況。
文檔編號C23C14/52GK101693989SQ20091004215
公開日2010年4月14日 申請日期2009年8月25日 優先權日2009年8月25日
發明者劉惠森, 楊明生, 王勇, 王曼媛, 范繼良, 郭遠倫 申請人:東莞宏威數碼機械有限公司;