專利名稱：：燒結磁鐵及使用其的旋轉機的制作方法
技術領域：
：本發明涉及一種減低重稀土類元素的使用量且具有高能積或高耐熱性的磁鐵、其制造方法以及使用其的旋轉機。
背景技術：
：在專利文獻1中公開了過去的含有氟化合物或氧氟化合物的稀土類燒結磁鐵。在過去的技術中，處理中使用的氟化合物是粉末狀或粉末與溶媒的混合物，難以沿著磁鐵粉表面有效地形成含氟的相。另外，在所述過去的手法中，在處理中使用的氟化合物在磁粉表面點接觸，由于像本手法這樣，含氟的相不會容易地與磁粉接觸，所以過去的手法需要更多的處理原料和在高溫下的熱處理。另一方面，在專利文獻2中公開了與NdFeB粉混合稀土類氟化合物的微粉末(120pm)的內容，但沒有在磁鐵的晶內以板狀散在地成長的例子。另外，在非專利文獻3中公開了在微小燒結磁鐵表面涂布有DyF3或TbF3的微粉(15pm)而成的磁鐵。但不是氟化合物的溶液處理，且有Dy或F被燒結磁鐵吸收從而形成NdOF或Nd氧化物的記載，而沒有氧氟化合物中的碳或重稀土類、輕稀土類的濃度梯度等的與各向異性方向的關系的相關記載。專利文獻l:日本特開2003—282312號公報專利文獻2:美國專利US2005/0081959A1非專利文獻1:IEEETRANSACTIONSONMAGNETICS,VOL.41No.10(2005)3844頁3846頁
發明內容過去的發明為了在NdFeB磁粉中層狀形成含氟的相，而以氟化合物5等粉碎粉為原料，沒有關于低粘度透明溶液的狀態的記載。因此，在擴散所必需的熱處理溫度高且在低于燒結磁鐵的溫度下磁特性發生劣化的磁粉中，難以實現磁特性提高或稀土類元素的低濃度化。因此，在過去的手法中，熱處理溫度高，擴散所必需的氟化合物的使用量多，難以適用于超過10mm的厚度的磁鐵。在本發明中，將溶膠狀態的該稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物分散于以醇為主要成分的溶媒而成的溶液用作處理液，采用在磁場中取向后的預成形體的磁粉與磁粉的間隙浸滲氟化合物溶液的工序，與使用粉碎氟化合物粉的情況相比，能夠在燒結磁鐵內部形成氟化合物、減低氟化合物的使用量、提高涂布的均勻性等可以作為優點舉出，提供可以在低溫度下擴散氟或稀土類元素的燒結磁鐵及使用其的旋轉機。本發明的特征在于，使用如下所述的燒結磁鐵，即在以鐵為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，在最表面以層狀形成有含碳的氧氟化合物或氟化合物，所述氟化合物層或氧氟化合物層具有碳的濃度梯度，所述氧氟化合物層分別含有至少一種輕稀土類元素及至少一種重稀土類元素，而且所述重稀土類元素的濃度比所述輕稀土類元素低。本發明可以提供一種可以在低溫度下擴散氟或稀土類元素的燒結磁鐵及使用其的旋轉機。圖1是燒結磁鐵截面的濃度分布的一例。圖2是燒結磁鐵截面的濃度分布的一例。圖3是燒結磁鐵截面的濃度分布的一例。圖4是燒結磁鐵截面的濃度分布的一例。圖5是燒結磁鐵截面的濃度分布的一例。圖6是燒結磁鐵截面的濃度分布的一例圖7是磁鐵發動機(motor)截面的一例。圖8是磁鐵發動機截面的一例。圖9是磁鐵發動機截面的一例。圖IO是轉子的磁鐵配置的一例。圖11是轉子的磁鐵配置的一例。圖12是轉子的磁鐵配置的一例。圖13是轉子的磁鐵配置的一例。具體實施例方式如上所述，本發明的特征在于，使用如下所述的燒結磁鐵，即在以鐵為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，在最表面以層狀形成有含碳的氧氟化合物或氟化合物，氟化合物層或氧氟化合物層具有碳的濃度梯度，氧氟化合物層含有輕稀土類元素及重稀土類元素各自的至少1種，而且重稀土類元素的濃度比輕稀土類元素低。另外，其特征還在于，在最表面的氧氟化合物或氟化合物的晶界附近形成有氧化物，其特征還在于，使用由氟化合物、所述氧氟化合物或所述含碳的氧氟化合物浸滲具有光透過性的溶液而形成的稀土類磁鐵。另外，本發明的特征還在于，使用如下所述的燒結磁鐵，g卩在以鐵及稀土類元素為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，氧氟化合物層或氟化合物層含有碳，在氧氟化合物層或氟化合物層的存在于最表面的氧氟化合物或氟化合物的平均晶體粒徑大于內部的所述氧氟化合物的平均晶體粒徑。進而，其特征還在于，氧氟化合物層或氟化合物層的平均體積在各向異性平行方向與垂直方向上不同。另外，其特征還在于，在燒結磁鐵的各向異性平行方向與垂直方向上，氟化合物層或氧氟化合物層的濃度、膜厚或連續性存在差異。另外，其特征還在于，燒結磁鐵的最表面被氟濃度高于氧濃度的氧氟化合物或氟化合物覆蓋，燒結磁鐵的主相與氧氟化合物的界面具有平均在10nm以上且10|im以下的凹凸。進而，本發明的旋轉機的特征在于，具有具有定子鐵心和定子繞組的定子及隔著與所述定子之間的空隙自由旋轉地配置的轉子，轉子具備多個槽(slot)和在槽內埋設的至少一個永久磁鐵，永久磁鐵構成勵磁極，作為永久磁鐵優選使用如下所述的燒結磁鐵，S卩在以鐵為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，在最表面以層狀形成有含碳的氧氟化合物或氟化合物，氟化合物層或氧氟化合物層具有碳的濃度梯度，氧氟化合物層分別含有至少一種輕稀土類元素及至少一種重稀土類元素，而且重稀土類元素的濃度比所述輕稀土類元素低。以下對本發明的實施例進行說明。在本發明的實施例中，使用不含有粉碎粉而具有光透過性的氟化合物系溶液。將這樣的溶液浸滲于存在間隙的低密度成形體中，使其燒結。在制作以Nd2Fe14B為主相的燒結磁鐵的情況下，在調整磁粉的粒度分布之后，在磁場中進行預成形。該預成形體中在磁粉與磁粉之間存在間隙，所以可以通過在間隙中浸滲氟化合物系溶液而將氟化合物溶液涂布至預成形體的中心部。此時，氟化合物溶液優選為透明性高、具有光透過性或者低粘度的溶液，通過使用這樣的溶液，可以在磁粉的微小間隙中浸滲氟化合物溶液。浸滲可以通過使預成形體的一部分與氟化合物溶液接觸來實施，沿著預成形體與氟化合物溶液接觸的面涂布氟化合物溶液，如果在涂布的面存在lnmlmm的間隙，則沿著該間隙的磁粉面浸滲氟化合物溶液。浸滲方向為預成形體具有連續間隙的方向，依賴于預成形條件或磁粉的形狀。由于在用于浸滲的氟化合物溶液接觸面與非接觸面的附近，涂布量不同，所以構成燒結后的氟化合物的元素的一部分可見濃度分布差。另外，所述溶液接觸面與垂直方向的面，也平均地可見氟化合物的濃度分布差。因而，在預成形時使其發生磁場取向的情況下，在預成形體的各向異性平行的面與垂直的面上，在從某面浸滲的情況下，在與浸滲溶液接觸的接觸面和與該接觸面并行的非接觸面及垂直面中，氟化合物的濃度或膜厚、連續性等產生差異。這是因為，浸滲是從與所述浸滲溶液接觸的接觸面沿著壁面或連續間隙面進行的，所以與連續間隙的分布也有關系，因此用于各向異性化的預成形體只要存在連續間隙的分布，則燒結后的氟化合物的濃度、結構、連續性、晶界相的厚度均可見各向異性。氟化合物溶液是由含有堿金屬元素、堿土類元素或稀土類元素中的1種以上的氟化合物或者部分含氧的氟氧化合物(以下稱為氫氟酸化合物)組成的溶液，浸滲處理可以在室溫下進行。利用200。C40(TC的熱處理除去該被浸滲的溶液的溶媒，利用50(TC80(TC的熱處理在氟化合物與磁粉間或晶界中擴散氧、稀土類元素及氟化合物構成要素。磁粉中含有105000ppm氧，作為其他雜質元素，包括H、C、P、Si、Al等輕元素或過渡金屬元素等。磁粉中含有的氧不僅作為稀土類氧化物或Si、Al等的輕元素的氧化物存在，而且還在母相中或晶界中作為含有偏離化學計量組成的組成的氧的相存在。含有這樣的氧的相減少磁粉的磁化，還對磁化曲線的形狀有影響。即，隨著殘留磁通密度的值的低下、各向異性磁場的減少、去磁曲線的矩形性(角型性)的低下、頑磁力的減少、不可逆去磁系數的增加、熱去磁的增加、充磁特性的變動、耐腐蝕性劣化、機械特性低下等，磁鐵的可靠性低下。由于氧對這么多的特性有影響，所以考慮到進行使其不在磁粉中殘留的工序。使其浸滲從而在磁粉表面成長的稀土類氟化合物含有部分溶媒，在40(TC以下的熱處理中使REF3成長(RE為稀土類元素)，在真空度為1X10—3torr以下、400800'C下加熱保持。保持時間為30分鐘。在該熱處理下，磁粉的鐵原子或稀土類元素、氧在氟化合物中擴散，變成在REF3、REF2或RE(OF)中或它們的晶界附近可見。通過使用所述處理液，可以在20080(TC的較低溫度下，使氟化合物在磁性體內部擴散，通過浸滲，可以得到如下所述的優點。1)可以減低處理所必需的氟化合物量。2)可以適用于10mm以上的厚度的燒結磁鐵。3)可以使氟化合物的擴散溫度低溫化。4)不需要燒結后的擴散熱處理。由于這些特征，在厚板磁鐵中，殘留磁通密度的增加、頑磁力的增加、去磁曲線的矩形性的提高、熱去磁特性的提高、充磁性的提高、各向異性的提高、耐腐蝕性的提高、低損耗化、機械強度的提高等效果變得顯著。在磁粉為NdFeB系的情況下，在20(TC以上的加熱溫度下，Nd、Fe、B或添加元素、雜質元素向氟化合物內擴散。在所述溫度下，氟化合物層內的氟濃度根據場所不同而不同，REF2、REF3(RE為稀土類元素)或它們的氧氟化合物以層狀或板狀不連續地形成，以層狀在浸滲的方向形成連續的氟化合物，在與浸9滲方向垂直的方向，氟化合物的量平均地變少或變薄。擴散的驅動力為溫度、應力(變形)、濃度差、缺陷等，可以利用電子顯微鏡等確認擴散的結果，而通過浸滲不使用氟化合物粉碎粉的溶液進而使用，可以在室溫下已經在預成形體的中央形成氟化合物，可以在低溫度下使其擴散，所以可以減少氟化合物的使用量，在成為高溫時磁特性劣化的NdFeB磁鐵粉的情況中尤其有效。NdFeB系磁粉包括在主相中含有與Nd2Fe14B的結晶結構同等的相的磁粉，也可以在所述主相中含有A1、Co、Cu、Ti等過渡金屬。另外，B的一部分也可以為C。另外，主相以外也可以含有Fe3B或Nd2Fe23B3等化合物或氧化物。氟化合物層在800°C以下的溫度下示出高于NdFeB系磁粉的電阻，所以可以通過形成氟化合物層，來增加NdFeB燒結磁鐵的電阻，結果，可以減低損耗。在氟化合物層中，除了氟化合物以外，只要是對磁特性的影響小的在室溫附近不顯示鐵磁性的元素即可，可以作為雜質含有。為了成為高電阻，也可以在氟化合物中混合氮化合物或碳化物等的微粒。這樣的氟化合物經歷浸滲工序作成的燒結磁鐵中的氟化合物的濃度分布或連續性變成各向異性，可以減低重稀土類元素的使用量，所以可以制造能積高的燒結磁鐵，可以適用于高轉矩(torque)旋轉機。<實施例1>作為NdFeB系粉末，作成將Nd2FewB結構作為主相的磁粉，在這些磁粉的表面形成氟化合物。在磁粉表面形成DyF3的情況下，作為原料，用H20溶解Dy(CH3COO)3，添加HF。通過添加HF，形成明膠狀的DyF3XH20或DyF3X(CH3COO)(X為正數)。對其進行離心分離，除去溶媒，成為具有光透過性的溶液。將磁粉插入到模具中，在10kOe的磁場中，以lt/ci^的負荷，作成預成形體。在預成形體中存在連續的間隙。只將該預成形體的底面含浸于所述具有光透過性的溶液。底面為與磁場方向平行的面。溶液從底面及側面向預成形體的磁粉間隙浸入，在磁粉表面涂布具有光透過性的溶液。接著，使所述具有光透過性的溶液的溶媒蒸發，通過加熱，蒸發水合水，在約110(TC下燒結。燒結時，構成氟化合物的Dy、C、F沿著磁粉的表面或晶界擴散，發生與構成磁粉的Nd或Fe交換的相互擴散。尤其在晶界附近，進行Dy與Nd交換的擴散，沿著晶界形成Dy偏析而成的結構。在晶界三晶粒交點形成氧氟化合物或氟化合物，己判明由DyF3、DyF2、DyOF等構成。這樣的燒結磁鐵與不使用氟化合物的情況相比，頑磁力增加40%，隨著頑磁力的增加，殘留磁通密度的減少數為2%，Hk的增加數為10X。己浸滲該氟化合物的燒結磁鐵為高能積，所以可以適用于混合動力(hybrid)汽車旋轉機。燒結磁鐵的充磁所必需的磁場在母相為NdFeB系的情況下，為20kOe，將燒結磁鐵配置于轉子的外周側，轉子在磁性體或非磁性體旋轉軸(shaft)的外周由電磁鋼板或不定形環(amorphousring)構成，按照燒結磁鐵的磁極位置，從變換器(inverter)經由電抗線圈(reactor)向電樞繞線供給電流，由此進行旋轉驅動。適用所述燒結磁鐵的旋轉機包括驅動空調壓縮機等葉輪的旋轉機，包括旋轉數為10000rpm以上的高速機。<實施例2>作為NdFeB系粉末，作成將Nd2Fe14B結構作為主相并具有約1%的硼化物或稀土類富相(希土類i;、7于相)的平均粒徑為5|am的磁粉，在這些磁粉的表面形成氟化合物。在磁粉表面形成DyF3的情況下，作為原料，用H20溶解Dy(CH3COO)3，添加HF。通過添加HF，形成明膠狀的DyF3XH20或DyF3X(CH3COO)(X為正數)。對其進行離心分離，除去溶媒，成為具有光透過性的溶液。將磁粉插入到模具中，在10kOe的磁場中，以lt/ci^的負荷，作成預成形體。預成形體的密度約為80%，從預成形體的底面到上面存在連續的間隙。只將該預成形體的底面含浸于所述具有光透過性的溶液。底面為與磁場方向平行的面。溶液從底面及側面開始向預成形體的磁粉間隙浸入，通過抽空，在磁粉間隙的磁粉表面浸滲具有光透過性的溶液。接著，沿著連續間隙，使已浸滲的所述具有光透過性的溶液的溶媒蒸發，通過加熱，蒸發水合水，在真空熱處理爐中，在約110(TC的溫度下保持3小時，進行燒結。燒結時，構成氟化合物的Dy、C、F沿著磁粉的表面或晶界擴散，發生與構成磁粉的Nd或Fe與Dy、C、F交換的相互擴散。尤其在晶界附近，進行Dy與Nd交換的擴散，沿著晶界附近形成Dy偏析而成的結構。在晶界三晶粒交點形成氧氟化合物或氟化合物的粒子，已判明由DyF3、DyF2、DyOF、NdF2、NdF3等構成。這樣的燒結磁鐵與不使用氟化合物的情況相比，頑磁力增加40%，隨著ii頑磁力的增加，殘留磁通密度的減少數為2%，Hk的增加數為10%。己浸滲該氟化合物的燒結磁鐵為高能積，所以可以適用于混合動力(hybrid)汽車旋轉機。<實施例3>DyF系處理液在水中溶解醋酸Dy之后，緩慢地添加已稀釋的氫氟酸。對在凝膠狀沉淀的氟化合物中混合有氧氟化合物或氧氟碳化物而成的溶液，使用超聲波攪拌器進行攪拌，進行離心分離之后，添加甲醇，攪拌凝膠狀的甲醇溶液之后，除去陰離子，進行透明化。除去陰離子，直至處理液在可見光下的透過率成為5%以上。在預成形體中浸滲該溶液。預成形體是在10kOe的磁場中向Nd2Fe14B磁粉加5t/cm2的負荷制作而成的厚度為20mm的預成形體，密度為平均80%。為了不使預成形體這樣成為密度100%，而在預成形體中連續地存在間隙。在該間隙中浸滲約0.1wt%所述溶液。將與預成形體的磁場施加方向垂直的面為底面，使其與溶液接觸，溶液浸入到磁粉間隙。此時，通過抽空，溶液沿著間隙浸滲到與底面相反的面，從而涂布溶液。在20(TC下，真空熱處理該浸滲預成形體，使涂布液的溶媒蒸發。將浸滲后的預成形體放入真空熱處理爐中，真空加熱至燒結溫度IOOO'C，使其燒結，得到密度為99%的各向異性燒結磁鐵。與沒有進行浸滲處理的燒結磁鐵相比，具有的特征為，已進行DyF系處理液的浸滲處理的燒結磁鐵在磁鐵中央和晶界附近均偏析Dy，在晶界處F或Nd及氧較多，從而晶界附近的Dy增大頑磁力，在2(TC下示出頑磁力為25kOe且殘留磁通密度為1.5T的特性。Dy或F的濃度成為浸滲的路徑，已被涂布的部分高，所以可見濃度差，在浸于浸滲溶液中的面和與其相對面的方向上，形成連續的氟化物，與此相對，在其垂直方向上，還可見不連續的部分，所以在與浸滲溶液的面的相對的面上，平均地為高濃度，在垂直方向上，濃度平均較低。可以利用SEM—EDX或TEM—EDX或EELS、EPMA將其識別。除了這樣的特性的提高以外，還可以利用DyF系溶液的浸滲處理和燒結，得到磁特性的矩形性的提高、成形后的電阻的增加、頑磁力的溫度相關性的減低、殘留磁通密度的溫度相關性的減低、耐腐蝕性的提高、機械強度的增加、熱傳導性的提高、磁鐵的粘接性的提高的任意一種效果。氟化合物除了DyF系的DyF3以外，還可以在浸滲工序中適用在LiF、MgF2、CaF2、ScF3、VF2、VF3、CrF2、CrF3、MnF2、MnF3、FeF2、FeF3、CoF2、CoF3、NiF2、ZnF2、A1F3、GaF3、SrF2、YF3、ZrF3、NbF5、AgF、InF3、SnF2、SnF4、BaF2、LaF2、LaF3、CeF2、CeF3、PrF2、PrF3、NdF2、SmF2、SmF3、EuF2、EuF3、GdF3、TbF3、TbF4、DyF2、NdF3、HoF2、HoF3、ErF2、ErF3、TmF2、TmF3、YbF3、YbF2、LuF2、LuF3、PbF2、BiF3或在這些氟化合物中含有氧或碳或過渡金屬元素而成的化合物，可以利用使用具有可見光線的透過性的溶液或CH基與氟的一部分結合而成的溶液的浸滲處理形成，在晶界或晶內可見板狀的氟化合物或氧氟化合物。<實施例4>DyF系處理液在水中溶解醋酸Dy之后，緩慢地添加已稀釋的氫氟酸。對在凝膠狀沉淀的氟化合物中混合有氧氟化合物或氧氟碳化物而成的溶液，使用超聲波攪拌器進行攪拌，進行離心分離之后，添加甲醇，攪拌凝膠狀的甲醇溶液之后，除去陰離子，進行透明化。除去陰離子，直至處理液在可見光下的透過率成為10%以上。在預成形體中浸滲該溶液。預成形體是在10kOe的磁場中向縱橫尺寸比平均為2的NcbFe,4B磁粉加5t/cm2的負荷制作而成的厚度為20mm的預成形體，密度為平均70%。為了不使預成形體這樣成為密度100%，而在預成形體中存在連續的間隙。在該間隙中浸滲所述溶液。將與預成形體的磁場施加方向垂直的面為底面，使其與溶液接觸，溶液浸入到磁粉間隙。此時，通過抽真空，溶液沿著間隙浸滲到與底面相反的面，從而涂布溶液。在200'C下，真空熱處理該浸滲預成形體，使涂布液的溶媒蒸發。將浸滲后的預成形體放入真空熱處理爐中，真空加熱至燒結溫度IOOO'C，使其燒結，得到密度為99%的各向異性燒結磁鐵。含有Dy及F的相的連續性在各向異性方向上較高。這是因為，由于磁場取向，浸滲液容易沿著磁粉發生取向的方向浸入，還因為，為了使預成形體的磁場施加方向與浸滲方向大致一致，而溶液向與取向方向垂直的面浸入。Dy或F的平均濃度也是與磁場施加方向平行的方向高于垂直的方向。另外，與沒有進行浸滲處理的燒結磁鐵相比，具有的特征為，已進行DyF系處理液的浸滲處理的燒結磁鐵在晶界周圍500nm以內偏析Dy，在晶界處F或Nd及氧較多，從而晶界附近的Dy增大頑磁力，在2(TC下示出頑磁力為30kOe且殘留磁通密度為1.5T的特性。除了這樣的特性的提高以外，還可以利用DyF系溶液的浸滲處理和燒結，得到磁特性的矩形性的提高、成形后的電阻的增加、頑磁力的溫度相關性的減低、殘留磁通密度的溫度相關性的減低、耐腐蝕性的提高、機械強度的增加、熱傳導性的提高、磁鐵的粘接性的提高的任意一種效果。氟化合物除了DyF系的DyF3以夕卜，還可以在浸滲工序中適用在LiF、MgF2、CaF2、ScF3、VF2、VF3、CrF2、CrF3、MnF2、MnF3、FeF2、FeF3、CoF2、CoF3、NiF2、ZnF2、A1F3、GaF3、SrF2、YF3、ZrF3、NbF5、AgF、InF3、SnF2、SnF4、BaF2、LaF2、LaF3、CeF2、CeF3、PrF2、PrF3、NdF2、SmF2、SmF3、EuF2、EuF3、GdF3、TbF3、TbF4、DyF2、NdF3、HoF2、HoF3、ErF2、ErF3、TmF2、TmF3、YbF3、YbF2、LuF2、LuF3、PbF2、BiF3或在這些氟化合物中含有氧或碳或過渡金屬元素而成的化合物，可以利用使用具有可見光線的透過性的溶液或CH基與氟的一部分結合而成的溶液的浸滲處理形成，在晶界或晶內可見板狀的氟化合物或氧氟化合物。<實施例5><table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>如下所述地制作稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物涂敷膜的形成處理液。(1)在為水的溶解度高的鹽例如Dy的情況下，在100mL水中導入4g醋酸Dy，使用振動器或超聲波攪拌器，使其完全地溶解。(2)緩慢地加入生成DyFx(X=l3)的化學反應的當量份的稀釋成10%的氫氟酸。(3)對生成凝膠狀沉淀的DyFx(X=l3)的溶液，使用超聲波攪拌器攪拌l小時以上。(4)在以40006000r.p.m的旋轉數離心分離之后，去除上清液，加入大致同量的甲醇。(5)攪拌含有凝膠狀的DyF簇(cluster)的甲醇溶液，使其完全地成為懸浮液，然后使用超聲波攪拌器攪拌l小時以上。(6)反復進行310次(4)和(5)的操作，直至檢測不出醋酸離子或硝酸離子等陰離子。(7)在為DyF系的情況下，成為大致透明的凝膠狀的DyFx。作為處理液，使用DyFx成為lg/5mL的甲醇溶液。(8)在所述溶液中添加表1的除了碳以外的有機金屬化合物。其他使用的稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物涂敷膜的形成處理液也可以利用與所述大致同樣的工序形成，向如表l所示的Dy、Nd、La、Mg氟系處理液中添加各種元素，所有的溶液的衍射圖案均不與REnFm(RE為稀土類或堿土類元素，n、m為正數)所示的氟化合物或氧氟化合物或者添加元素的化合物一致。只要表1的添加元素的含量的范圍，則不會很大改變溶液的結構。溶液或使溶液干燥而成的膜的衍射圖案由包括半寬值為1度以上的衍射峰的多個峰構成。其顯示添加元素和氟間或金屬元素間的鍵距與REnFm不同，結晶結構也與REnFm不同。由于半寬值為1度以上，所以所述鍵距不像通常的金屬結晶那樣為一定值而具有某種分布。出現這樣的分布是因為在所述金屬元素或氟元素的原子的周圍配置其他原子，該原子主要為氫、碳、氧，通過施加加熱等外部能量，這些氫、碳、氧等原子容易移動，結構改變，流動性也變化。溶膠狀或凝膠狀的X射線衍射圖案由半寬值大于1度的峰構成，但由于熱處理而可見結構變化，變成可見所述REnFm或REn(F，O)m的衍射圖案的一部分。認為表1所示的添加元素也不在溶液中具有長周期結構。該REnFm的衍射峰的半寬值比所述溶膠或凝膠的衍射峰窄。為了提高溶液的流動性從而使涂布膜厚均勻，在所述溶液的衍射圖案中可見至少一個具有1度以上的半寬值的峰是很重要的。可以包括這樣的具有l度以上的半寬值的峰和REnFm的衍射圖案或氧氟化合物的峰。在溶液的衍射圖案主要觀測到只有REnFm或氧氟化合物的衍射圖案或1度以下的衍射圖案的情況下，由于在溶液中混合不是溶膠或凝膠的固相，所以流動性差，難以均勻地涂布。(1)在DyF系涂敷膜形成處理中浸漬在密度為80%的磁場中壓縮成形Nd2Fe14B磁粉而成的成形體(10X10X10mm3)，在25torr的減壓下，除去溶媒的甲醇。(2)反復進行15次(1)操作，在從40(TC110(TC的范圍內，熱處理0.55小時。(3)向利用(2)形成有表面涂敷膜的各向異性磁鐵的各向異性方向上施加30kOe以上的脈沖(pulse)磁場。對于該充磁成形體，利用直流M—Hloop測定器，使充磁方向與磁場施加方向一致地在磁極間夾持成形體，通過向磁極間施加磁場來測定去磁曲線。向充磁成形體施加磁場的磁極的極片(polepiece)使用FeCo合金，使用同一形狀的純Ni樣品及純Fe樣品校正磁化的值。結果，形成有稀土類氟化物涂敷膜的NdFeB燒結體的模塊(block)的頑磁力增加，與無添加的情況相比，Dy氟化物或Dy氟氧化物發生偏析的燒結磁鐵分別增加30%及20。%頑磁力。為了進一步增加這樣利用無添加溶液的涂布熱處理增加的頑磁力，而使用有機金屬化合物在各氟化物溶液中添加如表1所示的添加元素。如果將無添加溶液時的頑磁力作為基準，則可以判明，利用表1所示的溶液中添加元素進一步增加燒結磁鐵的頑磁力，這些添加元素有助于頑磁力的增大。將頑磁力增加率的結果示于表l。在溶液中添加的元素的附近由于溶媒除去而可見短范圍結構，通過進一步進行熱處理而與溶液構成元素一起沿著成形體的磁粉表面擴散。這些添加元素示出在晶界附近與溶液構成元素的一部分一起發生偏析的趨勢。因而，表1所示的添加元素伴隨氟、氧及碳的至少一種元素在燒結磁鐵晶界擴散，停留在晶界附近。在燒結磁鐵模塊中從晶粒的外周側向內部可見氟及表1所示的元素的至少一種元素的濃度梯度。在燒結磁鐵模塊最表面形成含有表1的元素的氧氟化物或含有表1的元素及碳的氧氟化物、或者至少含有1種表1的元素的至少一種元素和燒結磁鐵的構成成分的氧氟化物。這樣的最表面層除了保證耐腐蝕性以外，還是為了提高燒結磁鐵的磁特性所必需的層，電阻也比燒結磁鐵的主相高。表l的添加元素的溶液中含量與溶液的具有光透過性的范圍大致一致，即使進一步增加濃度也可以制作溶液，還可以增加頑磁力，即使在漿(slurry)狀的至少含有1種以上稀土類元素的氟化物、氧化物或氧氟化物的任意一種中添加表1所示的元素的情況下，也可以確認能夠得到比無添加的情況高的頑磁力等磁特性提高。在使添加元素濃度成為表1的100倍以上的情況下，構成溶液的氟化物的結構變化，添加元素在溶液中的分布變得不均勻，可見妨礙其他元素的擴散的趨勢。表1所示的添加元素的作用為以下任意一種。1)在晶界附近偏析從而降低界面能。2)提高晶界的晶格相容性。3)減低晶界的缺陷。4)助長稀土類元素等的晶界擴散。5)提高晶界附近的磁各向異性能量。6)平滑化與氟化物或氧氟化物的界面。結果，利用使用表1的添加元素的溶液的浸滲涂布、擴散熱處理，可見頑磁力的增加、去磁曲線的矩形性提高、殘留磁通密度增加、能積增加、居里溫度上升、充磁磁場減低、頑磁力或殘留磁通密度的溫度相關性減低、耐腐蝕性提高、比電阻增加、熱去磁率減低的任意一種效果。另外，表1所示的添加元素的濃度分布示出從晶粒外周向內部濃度平均地減少的趨勢，在晶界部示出成為高濃度的趨勢。晶界的寬度具有在晶界三晶粒交點附近與離開晶界三晶粒交點的場所不同的趨勢，具有晶界三晶粒交點附近的寬度較寬的趨勢。表1所示的添加元素容易在晶界相或晶界的端部、從晶界向晶內、晶內的外周(晶界側)的任意一處發生偏析。可以確認所述磁鐵的磁特性提高的溶液中添加物為從表1的Mg、Al、Si、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Sr、Zr、Nb、Mo、Pd、Ag、In、Sn、Hf、Ta、W、Ir、Pt、Au、Pb、Bi或包括全部過渡金屬元素的原子編號1886中選擇的元素，其中的至少一種元素與氟在燒結磁鐵的晶粒中可見濃度梯度。這些添加元素由于在使用溶液浸滲處理后使其加熱擴散，所以與預先在燒結磁鐵中添加的元素的組成分布不同，在氟發生偏析的晶界附近變成高濃度，在氟的偏析少的晶界附近(距離晶界中心平均1000nm以內的距離)，可見預先添加的元素的偏析。添加元素濃度在溶液中為低濃度的情況下，可以確認成為晶界三晶粒交點的濃度梯度或濃度差。這樣，向溶液中加入添加元素，在通過對磁鐵模塊進行浸滲涂布后熱處理來提高燒結磁鐵的特性時，燒結磁鐵的特征如下所述。1)從燒結磁鐵晶粒的最表面向內部可見包括表1的元素或過渡金屬元素的原子編號1886的元素的濃度梯度或平均濃度差。2)包括表1的元素或過渡金屬元素的原子編號1886的元素在晶界附近的偏析伴隨氟可見的部分較多。3)在晶界相，氟濃度高，在晶界相的外側，氟濃度低，在可見氟濃度差的附近可見作為構成浸滲溶液的元素的表1的元素或原子編號1886的元素的偏析。4)構成含有表1的添加元素或原子編號1886的元素的溶液的元素中的至少一種從晶粒的表面向內部具有濃度梯度，在從溶液成長的磁鐵與含氟膜的界面附近或從磁鐵觀察的界面的外側，氟濃度最大，界面附近的氟化物含有氧或碳，有助于高耐腐蝕性、高電阻、或高磁特性的任意一種。在該含氟膜中可以檢測出表1所示的添加元素或原子編號1886的元素的至少1種或2種以上，在磁鐵內部的氟的浸滲路附近含有較多所述添加元素，可見頑磁力的增加、去磁曲線的矩形性提高、殘留磁通密度增加、能積增加、居里溫度上升、充磁磁場減低、頑磁力或殘留磁通密度的溫度相關性減低、耐腐蝕性提高、比電阻增加、熱去磁率減低、磁比熱的增加的任意一種效果。所述添加元素的濃度差可以通過利用透射電子顯微鏡的EDX(能量彌散X射線)曲線圖(profile)、或EPMA分析、ICP分析等對燒結模塊的晶粒進行分析來確認。可以利用透射電子顯微鏡的EDX或EELS分析在溶液中添加的原子編號1886的元素在氟原子的附近(從氟原子的偏析位置偏析2000nm以內，優選1000nm以內)發生了偏析。利用這樣的組成分析，在以200Pa對真空浸滲有DyF溶液的預成形體進行燒結的情況下，形成在浸滲方向上連續的氟化合物的層，該連續的氟化合物層在晶界三晶粒交點含有粒狀的氧氟化合物。利用這樣的真空浸滲處理形成的氟化合物層或氧氟化合物層成為在浸滲方向上從燒結磁鐵的側面向相反側的側面連續的層。因而，具有在與浸滲方向垂直的方向上，氟化合物的體積少的趨勢。另外，在連續的氟化合物層或氧氟化合物層中，Nd比Dy多，可以檢測出F、C、O，Dy從晶界向晶內部擴散。與浸滲方向垂直的方向相比，連續的氟化合物層或氧氟化合物層在與浸滲方向平行的方向上更多。<實施例6〉稀土類永久磁鐵是可以通過使G成分(G為從過渡金屬元素及稀土類元素分別選擇1種以上的元素、或從過渡金屬元素及堿土類金屬元素分別選擇l種以上的元素)及氟原子在R—Fe—B系(R為稀土類元素)燒結磁鐵從表面擴散而得到并且具有由下式(1)或(2)RaGbTcAdFeOfMg(1)(R'G)a+bTcAdFeOfMg(1)(其中，R為從稀土類元素中選擇的l種或2種以上，M為在涂布含有氟的溶液之前在燒結磁鐵內存在的除了稀土類元素以外的從2族到16族中除了C和B以外的元素，G為從過渡金屬元素及稀土類元素中分別選擇1種以上的元素或者從過渡金屬元素及堿土類金屬元素中分別選擇1種以上的元素，而R與G也可以含有同一元素，在R與G不含有同一元素的情況下，由式(1)表示，在R與G含有同一元素的情況下，由式(2)表示。T為從Fe及Co中選擇的l種或2種，A為從B(硼)及C(碳)中選擇的1種或2種以上，a—g為合金的原子X，a、b在為式(1)的情況下，10^a當15、0.005〇b〇2，在為式(2)的情況下，10.005當a+bS17，3當d笙15，0.01^e當4，0.04笙f芻4，O.OlSg當ll，其余為c。)所示的組成的燒結磁鐵，該稀土類永久磁鐵的特征是作為其構成元素的F及過渡金屬元素的至少1種的含有濃度從磁鐵中心向磁鐵表面平均地變高地分布，而且在包圍該燒結磁鐵中的由(R、G)2TwA正方晶構成的主相晶粒的周圍的結晶晶界部中，結晶晶界中含有的G/(R+G)的濃度平均地高于主相晶粒中G/(R+G)濃度，而且在從磁鐵表面至少深10pm的區域，在結晶晶界部存在R及G的氧氟化物、氟化物或碳氧氟化物，磁鐵表層附近的頑磁力高于內部，該稀土類永久磁鐵的另一特征之一在于，從燒結磁鐵的表面向中心可見過渡金屬元素的濃度梯度，可以利用以下的手法的例子制造。如下所述地制作添加有作為過渡金屬元素的表1的元素M而成的(Dyo,9M(u)Fx(X=l3)稀土類氟化物涂敷膜的形成處理液。(1)使用在水中的溶解度高的鹽，例如Dy的情況下，在100mL水中導入4g醋酸Dy或硝酸Dy，使用振動器或超聲波攪拌器，使其完全地溶解。(2)緩慢地加入生成DyFx(X=l3)的化學反應的當量份的稀釋成10%的氫氟酸。(3)對生成凝膠狀沉淀的DyFx(X=l3)的溶液，使用超聲波攪拌器攪拌1小時以上。(4)在以40006000r.p.m的旋轉數離心分離之后，去除上清液，加入大致同量的甲醇。(5)攪拌含有凝膠狀的DyF簇(cluster)的甲醇溶液，使其完全地成為懸浮液，然后使用超聲波攪拌器攪拌l小時以上。(6)反復進行310次(4)和(5)的操作，直至檢測不出醋酸離子或硝酸離子等陰離子。(7)在為DyF系的情況下，成為大致透明的凝膠狀的DyFx。作為處理液，使用DyFx+成為lg/5mL的甲醇溶液。(8)在所述溶液中添加表1的除了碳以外的有機金屬化合物。其他使用的稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物涂敷膜的形成處理液也可以利用與所述大致同樣的工序形成，向如表l所示的Dy、Nd、La、Mg氟系處理液中添加各種元素，所有的溶液的衍射圖案均不與REnFm(RE為稀土類或堿土類元素，n、m為正數)或REnFmOpCr(RE為稀土類或堿土類元素，O為氧，C為碳，F為氟，n、m、p、r為正數)所示的氟化合物或氧氟化合物或者添加元素的化合物一致。只要在表1的添加元素的含量的范圍內，就不會較大地改變溶液的結構。溶液或使溶液干燥而成的膜的衍射圖案由包括半寬值為1度以上的多個峰構成。其顯示添加元素和氟間或金屬元素間的鍵距與REnFm不同，結晶結構也與REnFm不同。由于半寬值為l度以上，所以所述鍵距不像通常的金屬結晶那樣為一定值而具有某種分布。出現這樣的分布是因為在所述金屬元素或氟元素的原子的周圍與所述化合物不同地配置其他原子，該原子主要為氫、碳、氧，通過施加加熱等外部能量，這些氫、碳、氧等原子容易移動，結構改變，流動性也變化。溶膠狀或凝膠狀的X射線衍射圖案由半寬值大于1度的峰構成，但由于熱處理而可見結構變化，變成可見所述REnFm或REn(F，O)m的衍射圖案的一部分。認為表1所示的添加元素也不在溶液中具有長周期結構。該REnFm的衍射圖案的半寬值比所述溶膠或凝膠的衍射圖案窄。為了提高溶液的流動性從而使涂布膜厚均勻，在所述溶液的衍射圖案中可見至少一個具有1度以上的半寬值的峰是很重要的。可以包括這樣的具有1度以上的半寬值的峰和REnFm的衍射圖案或氧氟化合物的峰。在溶液的衍射圖案主要觀測到只有REnFm或氧氟化合物的衍射圖案或1度以下的衍射圖案的情況下，由于在溶液中混合不是溶膠或凝膠的固相，所以流動性差，但可見頑磁力的增加。利用以下的工序在預成形體上涂布氟化合物溶液。(1)在室溫下壓縮成形NdFeB的磁場中成形體(10X10X10mm3)，在DyF系涂敷膜形成處理中浸漬，在25torr的減壓下，除去該模塊的溶媒甲醇。(2)反復進行15次(1)操作，在從400。C1100。C的溫度范圍內，熱處理0.55小時。(3)向利用(2)形成有表面涂敷膜的各向異性磁鐵的各向異性方向上施加30kOe以上的脈沖(pulse)磁場。利用直流M—Hloop測定器，使充磁方向與磁場施加方向一致地在磁極間夾持該充磁成形體，通過向磁極間施加磁場來測定去磁曲線。向充磁成形體施加磁場的磁極的極片(polepiece)使用FeCo合金，使用同一形狀的純Ni樣品及純Fe樣品校正磁化的值。結果，形成有稀土類氟化物涂敷膜的NdFeB燒結體的模塊的頑磁力增加，與無添加的情況的燒結磁鐵相比，通過使用過渡金屬元素的添加處理液而進一步增加頑磁力。進一步增加這樣利用無添加溶液的涂布熱處理增加的頑磁力表明這些添加元素有助于頑磁力的增大。在溶液中添加的元素的附近由于溶媒除去而可見短范圍結構，通過進一步進行熱處理而與溶液構成元素一起沿著燒結磁鐵的晶界擴散。這些添加元素示出在晶界附近與溶液構成元素的一部分一起發生偏析的趨勢。顯示出高頑磁力的燒結磁鐵的組成具有如下趨勢，即在與磁鐵的外周部的浸滲溶液接觸的面，構成氟化物溶液的元素的濃度高，與所述面的相反側或垂直的面，成為低濃度。這是因為，在磁場中成形體的一面接觸浸滲溶液，利用一次浸滲處理，從成形體的外側，浸滲涂布干燥含有添加元素的氟化物溶液，含有添加元素且具有短范圍結構的氟化物或氧氟化物成長，與此同時沿著晶界附近進行擴散。浸滲溶液沿著磁粉表面的連續的間隙涂布，形成連續的氟化合物的層。這樣的連續的氟化合物的層在浸滲方向變成連續，在與浸滲方向垂直的方向不一定連續。另外，在燒結磁鐵模塊中從外周側向內部可見氟及表1所示的添加元素的至少一種元素的濃度梯度。表1的添加元素的溶液中含量與溶液的具有光透過性的范圍大致一致，即使進一步增加濃度也可以制作溶液。即使在漿(slurry)狀的至少含有1種以上稀土類元素的氟化物、氧化物或氧氟化物的任意一種中添加原子編號為1886的元素的情況下，也可以確認能夠得到比無添加的情況高的頑磁力等磁特性提高。在使添加元素的作用為以下任意一種。1)在晶界附近偏析從而降低界面能。2)提高晶界的晶格相容性。3)減低晶界的缺陷。4)助長稀土類元素等的晶界擴散。5)提高晶界附近的磁各向異性能量。6)平滑化與氟化物、氧氟化物或碳氧氟化物的界面。7)提高稀土類元素的各向異性。8)從母相除去氧。9)提高母相的居里溫度。結果，可見頑磁力的增加、去磁曲線的矩形性提高、殘留磁通密度增加、能積增加、居里溫度上升、充磁磁場減低、頑磁力或殘留磁通密度的溫度相關性減低、耐腐蝕性提高、比電阻增加、熱去磁率減低的任意一種效果。另外，包括表l所示的添加元素的過渡金屬元素的濃度分布示出從燒結磁鐵外周向內部濃度平均地減少的趨勢，在晶界部示出成為高濃度的趨勢。晶界的寬度具有在晶界三晶粒交點附近與離開晶界三晶粒交點的場所不同的趨勢，具有晶界三晶粒交點附近的寬度較寬，成為高濃度的趨勢。過渡金屬添加元素容易在晶界相或晶界的端部、從晶界向晶內、晶內的外周(晶界側)的任意一處發生偏析。這些添加元素由于在使用溶液處理后使其加熱擴散，所以與預先在燒結磁鐵中添加的元素的組成分布不同，在氟或稀土類元素發生偏析的晶界附近變成高濃度，在氟的偏析少的晶界附近可見預先添加的元素的偏析，從磁鐵模塊最表面到內部呈現平均的濃度梯度，在浸于浸滲溶液中的面濃度最高，在相反面濃度梯度比所述面小。添加元素濃度在溶液中為低濃度的情況下，可以確認成為濃度梯度或濃度差。這樣，向溶液中加入添加元素，在通過對磁鐵模塊進行涂布后熱處理來提高燒結磁鐵的特性時，燒結磁鐵的特征如下所述。1)從最表面向內部可見過渡金屬元素的濃度梯度或平均濃度差，浸于浸滲溶液的面與相反面存在濃度梯度的差。2)過渡金屬元素在晶界附近的偏析伴隨氟可見，從燒結磁鐵的端部到端部連續地形成氟化物，該層狀氟化合物的平均量在浸滲方向和其垂直方向存在差異。3)在晶界相，氟濃度高，在晶界相的外側，氟濃度低，在可見氟濃度差的附近可見作為過渡金屬元素的偏析，而且從磁鐵模塊表面到內部可見平均的濃度梯度或濃度差。4)含有過渡金屬元素、氟及碳的氟化物層或氧氟化物層在燒結磁鐵的最表面成長。<實施例7>稀土類永久磁鐵是通過使G成分(G為從過渡金屬元素及稀土類元素分別選擇1種以上的元素、或從過渡金屬元素及堿土類金屬元素分別選擇l種以上的元素)及氟原子在R—Fe—B系(R為稀土類元素)燒結磁鐵從表面擴散而得到并且具有由下式(1)或(2)RaGbTcAdFeOfMg(1)(R'G)a+bTcAdFeOfMg(1)(其中，R為從稀土類元素中選擇的l種或2種以上，M為在涂布含有氟的溶液之前在燒結磁鐵內存在的除了稀土類元素以外的從2族到16族的除了C和B以外的元素，G為從過渡金屬元素及稀土類元素中分別選擇1種以上的元素或者從過渡金屬元素及堿土類金屬元素中分別選擇1種以上的元素，而R與G也可以含有同一元素，在R與G不含有同一元素的情況下，由式(1)表示，在R與G含有同一元素的情況下，由式(2)表示。T為從Fe及Co中選擇的l種或2種，A為從B(硼)及C(碳)中選擇的1種或2種以上，a—g為合金的原子X，a、b在為式(1)的情況下，10〇a〇15、0.005^b笙2，在為式(2)的情況下，10.005^a+b^17，3Sd笙15，0.01當eS10，0.04當f芻4，O.OlSgill，其余為c。)所示的組成的燒結磁鐵，該稀土類永久磁鐵的特征是作為其構成元素的F及準金屬元素或過渡金屬元素的至少1種的含有濃度從磁鐵中心向磁鐵表面平均地變高地分布，而且在包圍該燒結磁鐵中的由(R、G)2TwA正方晶構成的主相晶粒的周圍的結晶晶界部或燒結磁鐵最表面中，結晶晶界中含有的G/(R+G)的濃度平均地高于主相晶粒中G/(R+G)濃度，而且在從磁鐵表面至少深lpm的區域，在結晶晶界部存在R及G的氧氟化物、氟化物或碳氧氟化物，磁鐵表層附近的頑磁力高于內部，該稀土類永久磁鐵的另一特征之一在于，從燒結磁鐵的表面向中心可見過渡金屬元素的濃度梯度，可以利用以下的手法的例子制造。如下所述地制作添加有過渡金屬元素而成的稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物涂敷膜的形成處理液。(1)使用在水中的溶解度高的鹽例如Dy的情況下，在100mL水中導入4g醋酸Dy或硝酸Dy，使用振動器或超聲波攪拌器，使其完全地溶解。(2)緩慢地加入生成DyFx(X=l3)的化學反應的當量份的稀釋成10%的氫氟酸。(3)對生成凝膠狀沉淀的DyFx(X=l3)的溶液，使用超聲波攪拌器攪拌1小時以上。(4)在以40006000r.p.m的旋轉數離心分離之后，去除上清液，加入大致同量的甲醇。(5)攪拌含有凝膠狀的DyF系或DyFC系、DyFO系簇的甲醇溶液，使其完全地成為懸浮液，然后使用超聲波攪拌器攪拌1小時以上。(6)反復進行310次(4)和(5)的操作，直至檢測不出醋酸離子或硝酸離子等陰離子。(7)在為DyF系的情況下，成為大致透明的凝膠狀的含有C或0的DyFx。作為處理液，使用DyFx+成為lg/5mL的甲醇溶液。(8)在所述溶液中添加表1的除了碳以外的有機金屬化合物。其他使用的稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物涂敷膜的形成處理液也可以利用與所述大致同樣的工序形成，向包括Dy、Nd、La、Mg等稀土類元素或堿土類元素的氟系處理液中添加各種元素，所有的溶液的衍射圖案均不與REnFm(RE為稀土類球堿土類元素，n、m為正數)或REnFmOpCr(RE為稀土類或堿土類元素，O為氧，C為碳，F為氟，n、m、p、r為正數)所示的氟化合物或氧氟化合物或者添加元素的化合物一致。觀測到這些溶液或使溶液干燥而成的膜的衍射圖案為以由包括半寬值為1度以上的多個峰為主峰的X射線衍射圖案。其顯示添加元素和氟間或金屬元素間的鍵距與REnFm不同，結晶結構也與REnFm不同。由于半寬值為1度以上，所以所述鍵距不像通常的金屬結晶那樣為一定值而具有某種分布。出現這樣的分布是因為在所述金屬元素或氟元素的原子的周圍與所述化合物不同地配置其他原子，該原子主要為氫、碳、氧，通過施加加熱等外部能量，這些氫、碳、氧等原子容易移動，結構改變，流動性也變化。溶膠狀或凝膠狀的X射線衍射圖案由含有半寬值大于1度的峰的衍射圖案構成，但由于熱處理而可見結構變化，變成可見所述REnFm、REn(F，C，O)m(F，C，O的比為任意)或REn(F，O)m(F，O的比為任意)的衍射圖案的一部分。它們的衍射峰的半寬值比所述溶膠或凝膠的衍射峰窄。為了提高溶液的流動性從而使涂布膜厚均勻，在所述溶液的衍射圖案中可見至少一個具有1度以上的半寬值的峰是很重要的。(1)在DyF系涂敷膜形成處理中浸漬在室溫下磁場中成形NdFeB粉而成的成形體(10X10X10mm3)，在25torr的減壓下，除去該成形體的溶媒甲醇。(2)反復進行15次(1)操作，在從400。C1100'C的溫度范圍內，熱處理0.55小時。(3)向利用(2)形成有表面涂敷膜的燒結磁鐵或NdFeB系磁粉的各向異性方向上施加30kOe以上的脈沖(pulse)磁場。利用直流M—Hloop測定器，使充磁方向與磁場施加方向一致地在磁極間夾持該充磁樣品，通過向磁極間施加磁場來測定去磁曲線。向充磁樣品施加磁場的磁極的極片(polepiece)使用FeCo合金，使用同一形狀的純Ni樣品及純Fe樣品校正磁化的值。結果，形成有稀土類氟化物涂敷膜的NdFeB燒結體的模塊的頑磁力增加，與無添加的情況的燒結磁鐵相比，通過使用過渡金屬元素的添加處理液而進一步增加頑磁力或去磁曲線的矩形性。進一步增加這樣利用無添加溶液的涂布熱處理增加的頑磁力或矩形性表明這些添加元素有助于頑磁力的增大。在溶液中添加的原子位置的附近由于溶媒除去而可見短范圍結構，通過進一步進行熱處理而與溶液構成元素一起沿著燒結磁鐵的晶界擴散。這些添加元素示出在晶界附近與溶液構成元素的一部分一起發生偏析的趨勢。顯示出高頑磁力的燒結磁鐵的組成具有如下趨勢，即在最表面生成(Nd，Dy)(0，F)，該化合物的晶體粒徑大于磁鐵內部的氧氟化合物的粒徑(0.010.5|im)，為0.55pm的直徑。另外，還存在浸于浸滲溶液的面的氧氟化合物的粒徑大，相反面的粒徑小的趨勢。在所述最表面的(Nd，Dy)(O，F)存在碳的濃度梯度，具有C在從(Nd，Dy)(O，F)的燒結磁鐵觀察的外側較多的趨勢，在最表面，(Nd，Dy)(O，F，C)之類的含有碳的氧氟化合物部分地成長。另外，最表面的(Nd，Dy)(O，F)中的Nd濃度高于Dy濃度，推測Dy在燒結磁鐵的內部擴散且與作為燒結磁鐵的構成元素的Nd相互擴散，結果發生Nd與Dy的交換。所述最表面的(Nd，Dy)(0，F)中的氧量與磁粉的氧濃度相關，存在磁粉氧濃度越變低等則越變小的趨勢，局部地成為(Nd，Dy)Fx(X=l3)。這樣的氧氟化合物或氟化合物的粒徑大于磁鐵內部的氧氟化合物或氟化合物的粒徑，Nd的濃度高于Dy的濃度，F濃度平均地高于Nd，Nd濃度高于磁鐵內部的濃度。這是因為，在燒結磁鐵模塊的外側浸滲涂布干燥含有添加元素的氟化物溶液，含有添加元素且具有短范圍結構的氟化物或氧氟化物成長，與此同時沿著晶界附近進行擴散。即，在燒結磁鐵模塊中，從成為浸滲面的外周側向內部，可見氟及表1所示的過渡金屬元素或準金屬元素的添加元素的至少一種元素的濃度梯度或濃度差，磁鐵內部的(Nd，Dy)(O，F)層的連續性在與浸滲方向平行的方向和垂直方向上不同，在與浸滲方向平行的方向上連續性高，在與浸滲方向垂直的方向上沒有連續性的部分較多。浸滲方向為各向異性的方向的情況下，示出(Nd，Dy)(0，F)層在與充磁方向平行的方向上的連續性高，氟化合物的體積也變多，(Nd，Dy)(O，F)層的膜厚在與浸滲方向平行的方向(平均lOnm)上比垂直方向(平均7nm)厚的趨勢。<實施例8>如下所述地制作稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物涂敷膜的形成處理液。(1)使用在水中的溶解度高的鹽例如Nd的情況下，在100mL水中導入4g醋酸Nd或硝酸Nd，使用振動器或超聲波攪拌器，使其完全地溶解。(2)緩慢地加入生成NdFxCY(X、Y為正數)的化學反應的當量份的稀釋成10%的氫氟酸。(3)對生成凝膠狀沉淀的NdFxCY(X、Y為正數)的溶液，使用超聲波攪拌器攪拌l小時以上。(4)在以40006000r.p.m的旋轉數離心分離之后，去除上清液，加入大致同量的甲醇。(5)攪拌含有凝膠狀的NdFC系簇的甲醇溶液，使其完全地成為懸浮液，然后使用超聲波攪拌器攪拌l小時以上。(6)反復進行310次(4)和(5)的操作，直至檢測不出醋酸離子或硝酸離子等陰離子。(7)在為NdFC系的情況下，成為大致透明的凝膠狀的NdFxCY(X、Y為正數)。作為處理液，使用NdFxCY(X、Y為正數)成為lg/5mL的甲醇溶液。(8)在所述溶液中添加表1的除了碳以外的有機金屬化合物。其他使用的以稀土類氟化物或堿土類金屬氟化物為主要成分的涂敷膜的形成處理液也可以利用與所述大致同樣的工序形成，向如表1所示的Dy、Nd、La、Mg氟系處理液、堿土類元素或2族的元素中添加各種元素，所有的溶液的衍射圖案均不與REnFmCp(RE為稀土類或堿土類元素，n、m、p為正數)所示的氟化合物或氧氟化合物或者添加元素的化合物一致。只要在表l的添加元素的含量的范圍內，就不會較大地改變溶液的結構。溶液或使溶液干燥而成的膜的衍射圖案由半寬值為1度以上的多個峰構成。其顯示添加元素和氟間或金屬元素間的鍵距與REnFmCp不同，結晶結構也與REnFmCp不同。由于半寬值為1度以上，所以所述鍵距不像通常的金屬結晶那樣為一定值而具有某種分布。出現這樣的分布是因為在所述金屬元素或氟元素的原子的周圍配置其他原子，該原子主要為氫、碳、氧，通過施加加熱等外部能量，這些氫、碳、氧等原子容易移動，結構改變，流動性也變化。溶膠狀或凝膠狀的X射線衍射圖案由半寬值大于1度的峰構成，但由于熱處理而可見結構變化，變成可見所述REnFmCp或REn(F，O，C)m(在此，F、、C的比率為任意)的衍射圖案的一部分。認為表1所示的添加元素的大部分也不在溶液中具有長周期結構。該REnFmCp的衍射峰的半寬值比所述溶膠或凝膠的衍射峰窄。為了提高溶液的流動性從而使涂布膜厚均勻，在所述溶液的衍射圖案中可見至少一個具有1度以上的半寬值的峰是很重要的。可以包括這樣的1度以上的半寬值的峰和REnFmCp的衍射圖案或氧氟化合物的峰。在溶液的衍射圖案主要觀測到只有REnFmCp或氧氟化合物的衍射圖案或1度以下的衍射圖案的情況下，由于在溶液中混合不是溶膠或凝膠的固相，所以流動性差，難以均勻地涂布。(1)在NdF系涂敷膜形成處理中浸漬NdFeB燒結體的模塊(10X10X10mm3)，在25torr的減壓下，除去該模塊的溶媒甲醇。(2)反復進行15次(1)操作，在從400。C1100。C的溫度范圍內，熱處理0.55小時。(3)向利用(2)形成有表面涂敷膜的各向異性磁鐵的各向異性方向上施加30kOe以上的脈沖(pulse)磁場。利用直流M—Hloop測定器，使充磁方向與磁場施加方向一致地在磁極間夾持該充磁成形體，通過向磁極間施加磁場來測定去磁曲線。向充磁成形體施加磁場的磁極的極片(polepiece)使用FeCo合金，使用同一形狀的純Ni樣品及純Fe樣品校正磁化的值。結果，形成有稀土類氟化物涂敷膜的已熱處理的NdFeB燒結體的模塊的頑磁力增加，無添加的情況下，Dy、Nd、La及Mg碳氟化物或碳氟酸化物偏析而成的燒結磁鐵分別增加40%、30%、25。％及20%頑磁力。為了進一步增加這樣利用無添加溶液的涂布熱處理增加的頑磁力，使用有機金屬化合物，向各氟化物溶液中添加如表1的添加元素。如果將無添加溶液時的頑磁力作為基準，則可以判明，進一步增加燒結磁鐵的頑磁力，這些添加元素有助于頑磁力的增大。在溶液中添加的元素的附近由于溶媒除去而可見短范圍結構，通過進一步進行熱處理而與溶液構成元素一起沿著燒結磁鐵的晶界或各種缺陷擴散。這些添加元素示出在晶界附近與溶液構成元素的一部分一起發生偏析的趨勢。表1所示的添加元素伴隨氟、氧及碳的至少一種元素在燒結磁鐵中擴散，其一部分停留在晶界附近。示出高頑磁力的燒結磁鐵的組成示出如下趨勢，即在磁鐵外周部，觀察碳氟化物溶液的元素的濃度高，在磁鐵中心部，成為低濃度。這是因為，在燒結磁鐵模塊的外側涂布干燥含有添加元素的碳氟化物溶液，含有添加元素且具有短范圍結構的氟化物、碳氧氟化物、碳氟化物或氧氟化物成長，與此同時沿著晶界、裂縫(cmck)部或缺陷附近進行擴散。將燒結磁鐵的表面到內部的濃度分布示于圖1圖6。圖1是不在氟化物溶液中混合過渡金屬元素的情況，表面的氟比Dy多，在燒結磁鐵內部，變成氟含量比Dy少。這是因為，含有Nd或Dy的氟化物或氧氟化物在最表面附近成長。還可見碳的濃度梯度，碳氟化物或碳氧氟化物在燒結磁鐵表面附近部分成長。另外，圖2表示Nd的濃度分布，可知最表面的Nd濃度比Dy少，但如果超過10pm，則變成Nd的濃度高于Dy。如果C和F低于1原子。％，則Nd濃度高于Dy。將過渡金屬元素作為M測定濃度分布的結果示于圖3圖6。示出除了過渡金屬元素或稀土類元素以外的從2族到16族的除了C和B以外的元素M從燒結磁鐵表面向內部減少的趨勢，示出與碳或氟相同的趨勢。示出重稀土類元素的Dy與氟的比率在內部和表面不同，氟在表面較多的趨勢。圖3是表面的氟與Dy的濃度大致相等、氟在內部比Dy的濃度梯度大的燒結磁鐵。含有碳或表1的元素的過渡金屬元素的濃度分布可見濃度從外周向內部減少。圖4的濃度分布是可見Dy濃度梯度極小，在氟化物與母相之間形成反應層的情況。Dy濃度的極小部較多地檢測出Nd，由于發生Nd與Dy的交換反應，所以成為如圖4的濃度分布。可見氟、碳、過渡金屬元素的濃度從外周向內部減少，但由于反應層的影響而有時也成為變成極小或極大的濃度分布。在圖5或圖6中，F濃度在深度方向可見凹凸的分布，認為F的濃度較高的層局部地成長。在圖6中，存在F濃度變成極小的場所，還存在成為C的極大的場所，所以示出氟化合物和含有碳的氟化合物偏在。如圖3圖6的濃度分布的趨勢不僅在燒結磁鐵中可見，在NdFeB系磁粉或含有稀土類元素的粉中也可見，可以確認磁特性提高。在燒結磁鐵模塊中從外周側向內部可見包括氟及表1所示的添加元素的從3族到11族的金屬元素或2族、12族到16族的元素的至少一種元素的濃度梯度或濃度差。這些元素的溶液中含量與溶液的具有光透過性的范圍大致一致，即使進一步增加濃度也可以制作溶液，還可以增加頑磁力，即使在漿(slurry)狀的至少含有1種以上稀土類元素的氟化物、氧化物、碳氟化物、碳氧氟化物或氧氟化物的任意一種中添加3族到11族的金屬元素或2族、12族到16族的除了B以外的元素的情況下，也可以確認能夠得到比無添加的情況高的頑磁力等磁特性提高。在使添加元素濃度成為表1的1000倍以上的情況下，構成溶液的氟化物的結構變化，添加元素在溶液中的分布變得不均勻，可見妨礙其他元素的擴散的趨勢，變得難以使添加元素沿著晶界偏析至磁鐵模塊內部，但可見局部頑磁力的增加。3族到11族的金屬元素或2族、12族到16族的除了B以外的添加元素的作用為以下任意一種。1)在晶界附近偏析從而降低界面能。2)提高晶界的晶格相容性。3)減低晶界的缺陷。4)助長稀土類元素等的晶界擴散。5)提高晶界附近的磁各向異性能量。6)平滑化與氟化物或氧氟化物的界面。7)耐腐蝕性出色的所述含有添加元素的具有氟濃度梯度的相在最表面成長，通過含有鐵和氧，提高作為保護膜的穩定性(附著力)。在該最表面層的一部分可見雙晶。結果，利用使用添加元素的溶液的涂布、擴散熱處理，可見頑磁力的增加、去磁曲線的矩形性提高、殘留磁通密度增加、能積增加、居里溫度上升、充磁磁場減低、頑磁力或殘留磁通密度的溫度相關性減低、耐腐蝕性提高、比電阻增加、熱去磁率減低的任意一種效果。另外，3族到11族的金屬元素或2族、12族到16族的除了B以外的添加元素的濃度分布示出從燒結磁鐵外周向內部濃度平均地減少的趨勢，在晶界部或最表面示出成為高濃度的趨勢。晶界的寬度具有在晶界三晶粒交點附近與離開晶界三晶粒交點的場所不同的趨勢，晶界三晶粒交點附近的寬度較寬，平均的晶界寬度為0.120nm，添加元素的一部分在晶界寬度的1倍1000倍的距離內發生偏析，示出該已偏析的添加元素的濃度從磁鐵表面到內部平均地減少的趨勢，在晶界相的一部分存在氟。另外，添加元素容易在晶界相或晶界的端部、從晶界向晶內、晶內的外周(晶界側)的任意一處發生偏析。可以確認所述磁鐵的磁特性提高的溶液中添加物為從表1的Mg、Al、Si、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Sr、Zr、Nb、Mo、Pd、Ag、In、Sn、Hf、Ta、W、Ir、Pt、Au、Pb、Bi或包括全部過渡金屬元素的原子編號1886中選擇的元素，其中的至少一種元素與氟在燒結磁鐵中從磁鐵的外周到內部及從晶界到晶內平均地可見濃度梯度。晶界附近與晶內的3族到11族的金屬元素或2族、12族到16族的除了B以外的添加元素的濃度梯度或濃度差從磁鐵外周到中央部平均地變化，示出越接近磁鐵中心則越變小的趨勢，但只要充分地擴散，則可見在含有氟的晶界附近伴隨添加元素的偏析的添加元素的濃度差。這些添加元素由于在使用溶液處理后使其加熱擴散，所以與預先在燒結磁鐵中添加的元素的組成分布不同，在氟發生偏析的晶界附近變成高濃度，在氟的偏析少的晶界附近，可見預先添加的元素的偏析，呈現從磁鐵模塊最表面到內部成為平均的濃度梯度。添加元素濃度在溶液中為低濃度的情況下，磁鐵最表面與磁鐵中心部可見濃度差，可以確認成為濃度梯度或晶界與晶內的濃度差。這樣，向溶液中加入添加元素，在通過對磁鐵模塊進行涂布后熱處理來提高燒結磁鐵的特性時，燒結磁鐵的特征如下所述。1)從燒結磁鐵的含有與含有氟的層的反應層的最表面向內部可見包括表1的元素或過渡金屬元素的原子編號1886的元素的濃度梯度或平均濃度差。2)包括表1的元素或過渡金屬元素的原子編號1886的元素在晶界附近的偏析伴隨氟或碳、氧可見的部分較多。3)在晶界相，氟濃度高，在晶界相的外側(晶粒外周部)，氟濃度低，在可見氟濃度差的晶界寬度的1000倍以內可見表1的元素或原子編號1886的元素的偏析，而且從磁鐵模塊表面到內部可見平均的濃度梯度或濃度差。4)在已涂布溶液的燒結磁鐵模塊或磁鐵粉末或者鐵磁性粉的最外周，氟及添加元素的濃度最高，從磁性體部中的外側相內部可見添加元素的濃度梯度或濃度差。5)在最表面以覆蓋率10%以上、優選50%以上形成含有氟、碳、氧、鐵、及表1的元素或原子編號1886的元素的厚110000nm的層，有助于耐腐蝕性提高和加工變質層的磁特性恢復等。6)構成含有表1的添加元素或原子編號1886的元素的溶液的元素中的至少一種從表面到內部具有濃度梯度，氟濃度在從溶液成長的磁鐵與含氟膜的界面附近或從磁鐵觀察的界面的外側最大，界面附近的氟化物含有氧或碳或原子編號1886的元素，有助于高耐腐蝕性、高電阻、或高磁特性的任意一種。在該含氟膜中可以檢測出表1所示的添加元素或原子編號1886的元素的至少1種或2種以上，在磁鐵內部的氟的擴散路附近含有較多所述添加元素，可見頑磁力的增加、去磁曲線的矩形性提高、殘留磁通密度增加、能積增加、居里溫度上升、充磁磁場減低、頑磁力或殘留磁通密度的溫度相關性減低、耐腐蝕性提高、比電阻增加、熱去磁率減低、擴散溫度減低、晶界寬度的成長抑制、晶界部的非磁性層的成長抑制的任意一種效果。所述添加元素的濃度差可以通過利用透射電子顯微鏡的EDX(能量彌散X射線)曲線圖(profile)、或EPMA分析、俄歇(Auger)分析等對從表面側向內部切斷燒結模塊而成的樣品進行分析來確認。可以利用透射電子顯微鏡的EDX或EELS分析在溶液中添加的原子編號1886的元素在氟原子的附近(從氟原子的偏析位置偏析5000nm以內，優選1000nm以內)發生了偏析。在氟原子的附近發生了偏析的添加元素與在距離氟原子的偏析位置2000nm以上的位置存在的添加元素的比率在從磁鐵表面到100pm以上內部的位置，為1.011000，優選為2以上。在磁鐵表面，所述比率為2以上。所述添加元素存在沿著晶界連續地發生偏析的部分和不連續地發生偏析的部分的任意狀態，不一定在晶界整體發生偏析，但在磁鐵的中心側容易變成不連續。另外，添加元素的一部分不發生偏析而平均地混入母相。原子編號1886的添加元素從燒結磁鐵的表面到內部向母相內擴散的比例或在氟偏析位置附近發生偏析的濃度存在減少的趨勢，由于該濃度分布而示出靠近表面的頑磁力比磁鐵內部高的趨勢。所述磁特性改善效果不僅在燒結磁鐵模塊，而且在NdFeB系磁性粉或SmCo系磁粉或者Fe系磁粉表面，也可以使用表1所示的溶液，形成含有氟及添加元素的膜，利用擴散熱處理得到硬磁特性的改善或磁粉電阻的增加等效果。另外，也可以將NdFeB粉在磁場中預成形，然后將該成形體浸滲于含有3族11族的金屬元素或2族、12族16族的除了C和B以外的元素的溶液，在磁粉表面的一部分形成燒結添加物及含氟的膜，或者使用含有3族11族的金屬元素或2族、12族16族的除了C和B以外的元素的溶液，將己表面處理的NdFeB系粉和未處理NdFeB系粉混合，然后進行磁場中預成形，之后使其燒結，由此制作燒結磁鐵。在這樣的燒結磁鐵中，氟或溶液中添加元素等溶液構成成分的濃度分布平均地均勻，而在氟原子的擴散路徑附近，通過使3族11族的金屬元素或2族、12族16族的除了C和B以外的元素的濃度平均地高，磁特性提高。由這樣的含有3族11族的金屬元素或2族、12族16族的除了C和B以外的元素的溶液形成的含有氟的晶界相平均以0.160原子％、優選以120原子Q/^在偏析部含有氟，可以利用添加元素的濃度使其非磁性、鐵磁性或反鐵磁性地舉動，可以通過加強或減弱鐵磁性粒與粒的磁結合來控制磁特性。可以使用添加有有機金屬化合物的氟化物溶液從溶液作成硬質磁性材料，可以得到由120原子％的稀土類元素、5095原子X的Fe、Co、Ni、Mn、Cr的至少一種元素、0.515原子％的氟作為組成構成的2(TC的頑磁力為0.5MA/m的磁性材料。即使在所述組成的磁性材料中部分地含有碳及氧及3族11族的金屬元素或2族、12族16族的除了C和B的元素，也可以滿足0.5MA/m，可以適用于各種磁電路，由于使用溶液而不必需加工工序。<實施例9>在以Nd2Fe14B為主相的NdFeB壓縮成形體的表面，真空浸滲涂布可在IO(TC以上的溫度下成長成稀土類氟化合物的氟化合物DyF3簇溶液。涂布后的稀土類氟化合物簇的平均膜厚為110nm。這樣的簇不具有塊狀(bulk)氟化合物的結晶結構，具有氟和稀土類元素Dy具有的周期結構進行結合。NdFeB壓縮成形體的晶體粒徑平均為l20|am，由以Nd2Fe^B為主相的磁粉構成，利用所述浸滲涂布后90(TC的熱處理燒結而成的Nd2FewB磁鐵可以確認Dy在結晶晶界附近發生偏析，頑磁力增加、去磁曲線的矩形性提高、磁鐵表面或晶界附近的高電阻化、利用氟化合物的高居里點化、高強度化、高耐腐蝕性化、稀土類使用量減低、充磁磁場減低等。DyF3稀土類氟化合物簇在浸滲涂布干燥過程中，成長成10nm以下、lnm以上的粒子狀，通過進一步加熱，前體或部分氟化合物簇發生與燒結磁鐵的晶界或表面的反應或擴散。涂布干燥加熱后的氟化合物粒子如果在粒狀之間不發生合體的溫度范圍內，由于不經歷粉碎過程，所以不成為具有突起或銳角的表面，利用透射電子顯微鏡觀察粒子時，接近帶圓的卵形或圓形，在粒狀內或粒子表面未見簇或外形上不連續的凹凸。利用加熱，這些粒子在燒結磁鐵表面發生合體成長，同時發生沿著燒結磁鐵的晶界擴散或與燒結磁鐵的構成元素相互擴散。另外，由于沿著磁粉的間隙在表面涂布這些簇狀的稀土類氟化合物，所以在預成形體內部的間隙的大致全面覆蓋DyF3，涂布干燥后，在燒結磁鐵表面的一部分的晶粒表面，稀土類元素濃度高的部分的一部分發生氟化。該氟化相或含有氧的氟化相部分地與母相具有整合性并同時成長，在從這樣的氟化相或酸氟化相的母相觀察的外側，氟化合物相或氧氟化合物相相容地成長，在該氟化相、氟化合物相或氧氟化合物相中由于Dy發生偏析而頑磁力增加。Dy沿著晶界被濃縮的帶狀的部分優選寬度為0.1100nm的范圍，如果為該范圍，則能夠滿足高殘留磁通密度和高頑磁力。在使用DyF^3的前體，利用所述手法使Dy沿著晶界濃縮的情況下，得到的燒結磁鐵的磁特性的殘留磁通密度為1.01.6T、頑磁力為2050kOe，在具有同等的磁特性的稀土類燒結磁鐵中含有的Dy濃度可以低于過去的使用Dy添加NdFeB系磁粉的情況。在對進行磁場中壓縮成形而成的Nd2Fe14B粉預成形體中真空浸滲燒結這樣的DyFx(X=23)溶液的情況下，可見以下的組織特征。1)在各向異性方向和與其垂直的方向上，氧氟Dy化合物的平均膜厚可見差異，在浸滲方向與各向異性的方向平行的情況下，在與各向異性方向平行的方向上，氧氟Dy化合物的平均膜厚約厚為10nm，與此相對，在垂直方向上為27nm。這種情況下，在與各向異性平行的方向上，氧氟化合物的Nd或氧濃度高，層狀氧氟Dy化合物的連續性高。另外，在燒結磁鐵的最表面具有大于內部的氧氟化合物(Nd，Dy)(O，F)的平均晶體粒徑，被氟濃度高于氧的氧氟化合物(Nd，Dy)(0，F)或氟化合物(Nd，Dy)Fx(X=l3)覆蓋，燒結磁鐵的Nd2Fe14B與所述氧氟化合物(Nd，Dy)(0，F)的界面具有平均lOnm以上、10pm以下的凹凸。<實施例10>在圖7中，磁鐵發動機的定子2的結構如下由齒(于^一7)4和芯體(coreback)5構成的定子鐵心6;在齒(亍一一7)4間的槽(slot)7內包圍齒(亍Y—7)4地巻裝而成的集中巻的電樞繞組8(由三相繞組的U相繞組8a、V相繞組8b、W相繞組8c構成)。在此，磁鐵發動機為4極6槽，所以槽間距的電角為120度。轉子插入旋轉軸孔9或轉子插入孔10，在轉子旋轉軸100的內周側配置氟的濃度梯度示于圖1圖6的任意一個的燒結磁鐵200。燒結磁鐵具有弧(arc)形狀，Dy等重稀土類元素在晶界的一部分發生偏析，由此保持耐熱性，可以制造在100°C250"C下使用的發動機。將在轉子內形成不是弧狀磁鐵的多種形狀的磁鐵插入部進而配置燒結磁鐵201時的轉子截面圖示于圖8。在圖8中，磁鐵發動機的定子2的結構如下由齒(于Y—7)4和芯體5構成的定子鐵心6;在齒4間的槽(slot)7內包圍齒4地巻裝而成的集中巻的電樞繞組8(由三相繞組的U相繞組8a、V相繞組8b、W相繞組8c構成)，磁鐵發動機為4極6槽，所以槽間距的電角為120度。轉子插入旋轉軸孔9或轉子插入孔10，在轉子旋轉軸100的內周側配置氟的濃度梯度示于圖1圖6的任意一個的多種形狀的燒結磁鐵201，該燒結磁鐵具有實施了成角加工的立方體形狀，Dy等重稀土類元素在晶界的一部分發生偏析，由此保持頑磁力及耐熱性、耐腐蝕性。從磁鐵配置可以顯現磁阻轉矩(reluctancetorque),在燒結磁鐵201的晶界連續形成氟的偏析，由此可以實現頑磁力的增加及比電阻的增加，所以可以減低發動機損耗。與不發生偏析的情況相比，可以利用Dy的偏析削減Dy使用量，由于磁鐵的殘留磁通密度增加而轉矩提高。<實施例11>在圖9中，定子使用硅鋼板(或電磁鋼板)，將沖孔硅鋼板而成的層疊體用于定子鐵心6。在轉子上配置外周側燒結磁鐵202及內周側燒結磁鐵203。燒結磁鐵202、203為在磁場中附加了各向異性的各向異性磁鐵，外周側燒結磁鐵202的磁鐵整體的氟含量更高。通過使氟含量變高，晶界部的氟濃度高，還進行稀土類元素向晶界附近的偏析。可以利用偏析同時實現高頑磁力和高殘留磁通密度，即使在高溫側也可以保持發動機的溫度圖形。燒結磁鐵201、203均可以使用氟化物溶液處理工序制作，3維形狀也是可能的。以原子比率計算，晶界中的氟濃度高于稀土類元素濃度的情況下，由于燒結磁鐵的渦流損耗被減低，所以可以有助于發動機損耗的減低。與磁鐵的充磁方向相反的方向的磁場的大小在轉子的外周側變大，所以在外周側配置較多含有氟的燒結磁鐵是有效的。<實施例12>將轉子的每1個局部的截面結構示于圖10圖13。這些圖是利用磁阻轉矩及磁鐵轉矩的轉子101，為了磁阻轉矩而設置不配置磁鐵的空間104。插入磁鐵的位置預先利用沖孔等方法在重疊鋼板中設置孔，其成為磁鐵插入孔102。可以通過在該磁鐵插入孔102中插入燒結磁鐵103，制作磁鐵轉子。燒結磁鐵103是在燒結磁鐵的晶界的一部分發生偏析的磁鐵，示出頑磁力為10kOe以上，殘留磁通密度為0.61.5T的特性。在圖11中，是在磁鐵插入孔102中在與轉子的軸方向垂直的方向上氟濃度不同的燒結磁鐵，由高氟濃度的燒結磁鐵106和低氟濃度的燒結磁鐵105構成。這樣的燒結磁鐵可以通過在磁鐵的一面涂布含有氟的溶液之后使其擴散來制作。氟濃度的比(最大/最小濃度比)平均為210000，通過使金屬元素與氟一起發生偏析，高氟濃度的燒結磁鐵106的頑磁力增加。所述燒結磁鐵由氟濃度高的高頑磁力材料和氟濃度低的高殘留磁通密度材料構成，結果，轉子可以實現相對動作時的反磁場的去磁耐力高而且高轉矩特性，適于HEV發動機等。圖12是在磁鐵插入孔102中利用氟系浸滲材料對在與轉子的軸方向垂直的方向上成形的預成形體進行浸滲后燒結而成的磁鐵，該燒結磁鐵在轉子的外周側配置浸滲燒結磁鐵106，在內周側配置未浸滲燒結磁鐵105，使用同一模具制作，在所得的預成形體上，從一部分表面浸滲含有氟的溶液，然后干燥、燒結而成。該轉子可以實現相對動作時的反磁場去磁耐力高而且高轉矩特性，適于HEV發動機等。圖13是在磁鐵插入孔102中利用氟系浸滲材料對在與轉子的軸方向垂直的方向上被各向異性化的成形體的外周側角部進行浸滲后燒結而成的磁鐵，該燒結磁鐵在轉子的外周側角部配置浸滲燒結磁鐵106，在其以外配置未浸滲燒結磁鐵105，使用同一模具制作，在所得的預成形體上，從一部分表面浸滲含有氟的溶液，然后干燥、燒結而成。該轉子可以實現相對動作時的反磁場去磁耐力高、氟系浸滲液的使用量少、低成本，適于HEV發動機等。此外，在從磁鐵的角浸滲含有氟的溶液時，可以使用含有Dy的溶液，使氟及Dy在燒結磁鐵的晶界附近偏析，從而增加頑磁力，但可以通過在磁鐵表面的一部分(全表面積的50%0.1%)浸漬或涂布溶液，來使任意部分(圓形、圓弧形、矩形等)高頑磁力化，可以高頑磁力化如圖13的磁鐵的角的一部分，從而提高去磁耐力是可能的。權利要求1.一種旋轉機，其特征在于，使用如下所述的燒結磁鐵，即在以鐵為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，在最表面以層狀形成有含碳的氧氟化合物或氟化合物，所述氟化合物層或氧氟化合物層具有碳的濃度梯度，所述氧氟化合物層分別含有至少一種輕稀土類元素及至少一種重稀土類元素，而且所述重稀土類元素的濃度比所述輕稀土類元素低。2.—種旋轉機，其特征在于，使用如下所述的燒結磁鐵，艮P:在以鐵及稀土類元素為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，所述氧氟化合物層或氟化合物層含有碳，在所述氧氟化合物層或氟化合物層的最表面存在的所述氧氟化合物或氟化合物的平均晶體粒徑大于內部的所述氧氟化合物的平均晶體粒徑。3.根據權利要求2所述的旋轉機，其特征在于，所述氧氟化合物層或氟化合物層的平均體積在各向異性平行方向與垂直方向上不同。4.根據權利要求2所述的旋轉機，其特征在于，在所述燒結磁鐵的各向異性平行方向與垂直方向上，氟化合物層或氧氟化合物層的濃度、膜厚或連續性存在差異。5.根據權利要求2所述的旋轉機，其特征在于，所述燒結磁鐵的最表面被氟濃度高于氧濃度的氧氟化合物或氟化合物覆蓋，所述燒結磁鐵的主相與所述氧氟化合物的界面具有平均在10nm以上且lO(im以下的凹凸。6.根據權利要求1所述的旋轉機，其特征在于，在最表面的所述氧氟化合物或氟化合物的晶界附近形成有氧化物。7.根據權利要求1所述的旋轉機，其特征在于，使用由所述氟化合物、所述氧氟化合物或所述含碳的氧氟化合物浸滲具有光透過性的溶液而形成的稀土類磁鐵。8.—種旋轉機，其特征在于，具有具有定子鐵心和定子繞組的定子和隔著與所述定子之間的空隙自由旋轉地配置的轉子，所述轉子具備多個槽和在所述槽內埋設的至少一個永久磁鐵，所述永久磁鐵構成勵磁極，作為所述永久磁鐵使用如下所述的燒結磁鐵，艮口在以鐵為主要成分的鐵磁性材料的晶粒內部或晶界部的一部分，形成有含有堿金屬元素、堿土類金屬元素或稀土類元素中的至少一種的氟化合物層或氧氟化合物層，在最表面以層狀形成有含碳的氧氟化合物或氟化合物，所述氟化合物層或氧氟化合物層具有碳的濃度梯度，所述氧氟化合物層分別含有至少一種輕稀土類元素及至少一種重稀土類元素，而且所述重稀土類元素的濃度比所述輕稀土類元素低。9.根據權利要求8所述的旋轉機，其特征在于，所述氧氟化合物層或氟化合物層的平均體積在各向異性的平行方向與垂直方向上不同。10.根據權利要求8所述的旋轉機，其特征在于，在所述燒結磁鐵的各向異性平行方向與垂直方向上氟化合物層或氧氟化合物層的濃度、膜厚或連續性存在差異。11.根據權利要求8所述的旋轉機，其特征在于，所述燒結磁鐵的最表面被氟濃度高于氧濃度的氧氟化合物或氟化合物覆蓋，所述燒結磁鐵的主相與所述氧氟化合物的界面具有平均在10nm以上且10pm以下的凹凸。12.根據權利要求8所述的旋轉機，其特征在于，在最表面的所述氧氟化合物或氟化合物的晶界附近形成有氧化物。13.根據權利要求8所述的旋轉機，其特征在于，使用由所述氟化合物、所述氧氟化合物或所述含碳的氧氟化合物浸滲具有光透過性的溶液而形成的稀土類磁鐵。全文摘要本發明的課題在于提供一種具有在NdFeB磁鐵的中心部層狀偏析而成的重稀土類偏析層的燒結磁鐵，從而減低重稀土類元素的使用量。通過真空浸注在磁粉的磁場中壓縮成形體中含有重稀土類元素的氟化合物溶液，然后干燥燒結，而無論磁鐵厚度如何，均可以在磁鐵內部制作重稀土類偏析層。結果，可以削減重稀土類使用量，可以滿足高頑磁力、高磁通密度、高比電阻等，可以用于高耐熱、低損耗(高效率)的磁路。文檔編號B22F3/10GK101552066SQ20091000973公開日2009年10月7日申請日期2009年1月23日優先權日2008年1月31日發明者佐通祐一,安原隆,小室又洋,松延豐申請人:株式會社日立制作所