專利名稱：一種真空離子鍍膜機的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空離子鍍膜機。
背景技術：
目前用于工件表面鍍膜的真空離子鍍膜機，其鍍膜機主體的機頂 為整體蓋形式，濺射耙作為離子發射源，直接通裝在鍍膜機主體的機
頂上；對于不同的鍍膜工藝要求，需要增加、減少或更換不同型號的 濺射靶，由于結構限制，傳統方法是直接更換整個機頂，而機頂整體 較重，拆裝不易，更換時會帶來很多不便，并且，整體結構不能調整 濺射靶在機頂的位置以適應工藝的變化。 發明內容
為解決上述問題，本實用新型的目的在于提供一種容易更換、調 整濺射靶的真空離子鍍膜機。
本實用新型解決其問題所采用的技術方案是
一種真空離子鍍膜機，包括鍍膜機主體和連接在鍍膜機主體內的 濺射靶，其特征在于所述鍍膜機主體的機頂連接有法蘭，濺射靶通 過法蘭連接在鍍膜機內部。
進一步，所述法蘭上分布有若千個小型法蘭，所述小型法蘭連接 若干濺射靶。
本實用新型的有益效果是濺射靶通過可更換的法蘭連接在鍍膜 機主體的機頂，不同的法蘭可通裝不同數目、型號的濺射靶，并且能調整濺射靶在機頂上的位置，以滿足不同的工藝要求，本實用新型結 構簡單，極大的方便了真空離子鍍膜機的濺射靶的更換。以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。
圖1是本實用新型真空離子鍍膜機的俯視圖2是本實用新型真空離子鍍膜機的平面剖視圖。
具體實施方式
參照
圖1~圖2， 一種真空離子鍍膜機，包括鍍膜機主體1和連 接在鍍膜機主體l內的濺射靶2，鍍膜機主體l機頂上設有開口，開 口連接有法蘭3，濺射靶2通過法蘭3連接在鍍膜機1內部。
法蘭連接方式比較自由，作為優選方式，可在法蘭3上連接小型 法蘭4，再用小型法蘭4分別連接濺射靶2， 一臺真空離子鍍膜機可 配置多個小型法蘭4來連接型號、數目不同的濺射靶2，在使用時根 據鍍膜工藝要求自由更換。
當需要更換不同型號濺射靶2，或調整濺射靶2的數量、距離時， 只需要更換合適的小型法蘭4便可，而不需要更換鍍膜機1的整個機 頂，極大方便了鍍膜機的使用，提高了鍍膜效率。
權利要求1、一種真空離子鍍膜機，包括鍍膜機主體(1)和連接在鍍膜機主體(1)內的濺射靶(2)，其特征在于所述鍍膜機主體(1)機頂設有開口，開口連接法蘭(3)，濺射靶(2)通過法蘭(3)連接在鍍膜機(1)內部。
2、 根據權利要求1所述的一種真空離子鍍膜機，其特征在于所述法蘭(3)上分布有若干個小型法蘭(4)，所述小型法蘭(4)分別連 接若干濺射耙(2)。
專利摘要本實用新型公開了一種真空離子鍍膜機，包括鍍膜機主體和連接在鍍膜機主體內的濺射靶，鍍膜機主體機頂設有開口，開口連接法蘭，濺射靶通過法蘭連接在鍍膜機內部，不同的法蘭可通裝不同數目、型號的濺射靶，而且能調整濺射靶在機頂上的位置，以滿足不同的工藝要求，本實用新型結構簡單，極大的方便了真空離子鍍膜機的濺射靶的更換。
文檔編號C23C14/34GK201265041SQ200820200618
公開日2009年7月1日 申請日期2008年9月13日 優先權日2008年9月13日
發明者蘇東藝 申請人:蘇東藝