專利名稱：真空濺鍍設備的傳動裝置的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種真空濺鍍設備的傳動裝置，特別是關于一種 用于真空濺鍍制程中且可耐受濺鍍設備的腔體內高溫并可傳送工件 載盤的傳動裝置。
背景技術：
真空濺鍍技術是真空薄膜制程中應用層面相當廣泛的一項重要 技術，近年來已經逐漸取代了噴導電漆或電解電鍍等方式，且大量地 應用在光電、通信、半導體等產業，成為相當重要的表面處理技術。
一般使用連續式傳輸的真空濺鍍裝置，其是將工件整齊固定排放 在標準化的承載盤上，通過傳動元件的帶動，將承載盤平順地輸送于 各個腔室之間進行濺鍍。目前在真空濺鍍裝置中的己知傳動元件是使
用皮帶，然而，在真空濺鍍裝置腔體的高溫環境中，溫度高達攝氏2 0 0度至4 0 0度，熱應力的作用容易造成皮帶的耗損，使得皮帶的 使用壽命縮短從而導致傳動失效。
此外，皮帶的長度有規格的限制，而相關機構的位置必須依照皮 帶的長度規格進行設計，因此在設計上就受限于皮帶長度規格，造成 機構設計上的不便。另外，傳動力量業會因為皮帶過長而造成力量的 遞減，導致傳輸過程的不順利，皮帶使用久了更會產生松脫的缺點，然而這些因素都將影響濺鍍質量。
實用新型內容
鑒于上述真空濺鍍設備以皮帶作為傳動組件而具有不耐高溫的 缺失，本實用新型主要目的在于提供一種用于真空濺鍍制程中且可耐 受濺鍍設備之腔體內高溫并且傳送工件載盤的傳動裝置。 為達到上述目的，本實用新型為采取以下之技術手段 本實用新型所述傳動裝置為設置于一真空濺鍍設備之腔體中，且 包括二固定座、多個傳動齒輪、至少二導輪以及至少二導輪齒輪，其 中，所述二固定座為相對設置于所述腔體的內壁，且各固定座具有至 少一貫穿于該固定座的軸孔以及至少一穿設于該所述軸孔的連接軸；
所述多個傳動齒輪為樞設于所述固定座且面對所述腔體之內壁的一
側；所述至少二導輪各套為設置于所述連接軸異于腔體內壁的一端；
所述至少二導輪齒輪各套為設置于所述連接軸且異于所述導輪的一
端并嚙合于該所述傳動齒輪。
當一濺鍍工件的載盤于腔體內被傳送時，是以一外部動力源提供 動力驅使所述導輪齒輪旋轉，且與該導輪齒輪嚙合的傳動齒輪亦隨之 旋轉，進而帶動各相互嚙合的傳動齒輪及導輪齒輪旋轉，同時，各導 輪即轉動以達到傳送工件載盤的功能。
此外，所述傳動齒輪、導輪及導輪齒輪為具有耐高溫及高強度特 性的合金齒輪，因此，本實用新型以該所述傳動齒輪、導輪及導輪齒 輪取代皮帶并改善以皮帶作為傳動機構所衍生出不耐高溫、傳動容易失效等缺點，將可使得真空濺鍍制程中傳動裝置的使用壽命延長，而 降低設備更換、修繕的成本耗費。
圖1為本實用新型所述真空濺鍍設備的傳動裝置的俯視圖； 圖2為本實用新型所述真空濺鍍設備的傳動裝置的側視圖； 圖3為本實用新型所述真空濺鍍設備的傳動裝置于腔體外部設有
動力源的側視透視圖4為本實用新型所述真空濺鍍設備的傳動裝置于腔體外部未設
有動力源的側視透視圖5為本實用新型所述真空濺鍍設備的傳動裝置的前視圖。
具體實施方式
以下結合附圖以及具體實施例來對本實用新型所述真空濺鍍設 備的傳動裝置作進一步的詳細說明。
請參考圖1和圖2中所示，本實用新型所述真空濺鍍設備的傳 動裝置1為設置于一真空濺鍍設備之腔體2中，且包括有
二固定座l 1，其為相對設置于所述腔體2的內壁，且各固定 座11上具有至少一貫穿于該固定座11的軸孔(圖中未示)以及至 少一穿設于該軸孔的連接軸111;
多個傳動齒輪1 2 ，為樞設于所述固定座1 1且面對所述腔體 2之內壁的一側；至少二導輪1 3 ，各套為設置于所述連接軸1 1 1且異于所述
腔體2內壁的一端；
至少二導輪齒輪1 4 ,各套為設置于所述連接軸1 1 1且異于 所述導輪1 3的一端并嚙合于所述傳動齒輪1 2 。
參考圖3、圖4和圖5中所示，該所述真空濺鍍設備的傳動裝置 1還包括至少二相對設置于所述連接軸111且設有導輪齒輪14 之一端的聯軸器1 5以及至少二設置于該所述聯軸器1 5且異于該 連接軸1 1 1之一端的旋轉軸體1 6 。
所述旋轉軸體1 6為貫穿于該腔體2的側壁，其位于該所述腔 體2外部的一端亦連接一真空軸封1 7 ，且該真空軸封1 7為將所述 腔體2外的大氣側與該腔體2內的真空側予以隔離并以確保該所述 腔體2內的真空環境。
此外，所述真空濺鍍設備的傳動裝置1還包括一設置于所述腔 體2外部下方的傳動心軸1 8 ，且在該傳動心軸1 8的二端上各固設 有相互鄰接的第一時規輪1 8 1以及第二時規輪18 2，在本實施例 中，該所述第二時規輪l 8 2是位于所述第一時規輪1 8 l的內側， 并且該所述第一時規輪l 8 l是以一時規皮帶l 8 3連接于所述真 空軸封1 7 。
另外，在該所述腔體2外部下方設置有一外部動力源(圖中未 示)以及一連接于該外部動力源的第三時規輪1 9，且該第三時規輪 1 9是以另一時規皮帶1 9 l連接于所述第二時規輪l 8 2。
如圖l、圖2、圖3、圖4和圖5中所示，本實施例是以三組傳動裝置1串聯設置于一真空濺鍍設備的腔體2中以作為本實用新型 的較佳實施例，各組傳動裝置1是以其傳動齒輪1 2相互嚙合而連 接，且在該實施例中是以一伺服馬達(圖中未示)作為外部動力源， 當該外部動力源啟動時，連接于該外部動力源的第三時規輪1 9即轉 動并透過所述時規皮帶l 9 l帶動第二時規輪l 8 2與傳動心軸1 8旋轉，同時，固設于所述傳動心軸l 8的第一時規輪1 8 l亦隨之 旋轉，并且透過連接該所述第一時規輪1 8 1與所述真空軸封1 7的 時規皮帶l 8 3帶動該所述真空軸封1 7轉動。
接著，該所述真空軸封1 7即驅使所述轉動軸體1 6 、所述聯 軸器1 5以及所述連接軸1 1 1旋轉，使得設置于該連接軸1 1 1 二 端的導輪1 3及導輪齒輪1 4隨之旋轉，進而帶動與所述導輪齒輪1 4嚙合的傳動齒輪1 2旋轉，之后，通過該所述傳動齒輪l 2相互嚙 合而連接的另外二組傳動裝置1即開始作動從而使得各導輪1 3可 轉動以傳送承載待濺鍍工件的載盤。
與現有技術相比，本實用新型所述的一種真空濺鍍設備的傳動裝 置改善了已知傳動裝置以皮帶作為傳動組件所衍生的缺失，使得真空 濺鍍制程中傳動裝置的使用壽命得以延長，并且大大降低了設備的更 換率以及設備修繕帶來的成本耗費。
惟以上所述者，僅為本實用新型的較佳實施例，當不能以此限 定本實用新型實施的范圍；故，凡依本實用新型申請專利范圍及說明 書內容所作之簡單的等效變化與修飾，皆應仍屬本實用新型專利涵蓋 的范圍內。
權利要求1、一種真空濺鍍設備的傳動裝置，為設置于真空濺鍍設備的腔體中，其特征在于，該裝置包括有二固定座，其相對設置于所述腔體的內壁，各固定座具有至少一貫穿于該固定座之軸孔以及至少一穿設于該軸孔的連接軸；多個傳動齒輪，其為樞設于所述固定座面對所述腔體之內壁的一側；至少二導輪，且各套為設于所述連接軸異于腔體內壁的一端；至少二導輪齒輪，且各套為設于所述連接軸異于所述導輪的一端并嚙合于該傳動齒輪。
2 、根據權利要求1所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于， 還包括至少二相對設置于所述連接軸設有導輪齒輪之一端的聯軸器 以及至少二設置于所述聯軸器異于該連接軸之一端的旋轉軸體。
3 、根據權利要求2所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于， 所述旋轉軸體為貫穿于所述腔體的側壁，且該旋轉軸體位于該腔體外 部一端亦連接一真空軸封。
4 、根據權利要求3所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于， 還包括一設置于該腔體外部下方的傳動心軸。
5 、根據權利要求4所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于，所述傳動心軸的二端各固設有相互鄰接的第一時規輪以及第二時規 輪。
6 、根據權利要求5所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于，所述第一時規輪是以一時規皮帶連接于所述真空軸封。
7 、根據權利要求6所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于， 還包括一設置于所述腔體外部下方的外部動力源以及一連接于該外 部動力源的第三時規輪。
8 、根據權利要求7所述真空濺鍍設備的傳動裝置，其特征在于，所述第三時規輪是以一時規皮帶連接于第二時規輪。
專利摘要本實用新型公開一種真空濺鍍設備的傳動裝置，其為設置于一真空濺鍍設備的腔體中，且該裝置包括二固定座、多個傳動齒輪、至少二導輪以及至少二導輪齒輪；其中，所述二固定座為相對設置于腔體的內壁，且各固定座具有至少一貫穿于該固定座的軸孔及至少一穿設于該軸孔的連接軸；所述多個傳動齒輪為樞設于固定座面對腔體之內壁的一側；所述至少二導輪為各套設于連接軸且異于腔體內壁的一端；所述至少二導輪齒輪為各套設于連接軸且異于導輪的一端并嚙合于所述傳動齒輪。本實用新型的優點在于，可耐受濺鍍設備的腔體內高溫，并傳動效果好，使用壽命長，大大降低了設備更換、修繕的成本耗費。
文檔編號C23C14/56GK201280592SQ20082013501
公開日2009年7月29日 申請日期2008年8月26日 優先權日2008年8月26日
發明者洪婉玲, 郭勛聰 申請人:鈺衡科技股份有限公司