專利名稱：將金屬絲自動供給到坩堝的蒸發器設備的制作方法
技術領域：
本發明涉及一種將金屬絲自動供給到坩堝的蒸發器設備，該蒸發器設 備具有承載板。
背景技術：
現代平板圖像顯示屏包括用于再現圖像或者字符的液晶元件或者等離 子體元件。近年來，也生產包括作為彩色像素的有機發光二極管(OLED)的平板圖像顯示屏。在生產OLED平板顯示屏中，首先將ITO (銦錫氧化物)層涂到玻璃 板上，該ITO層可透光，還可導電。隨后，OLED材料氣相沉積在該層 上，接著金屬能夠氣相沉積在OLED材料層上作為下一個層。為了產生蒸氣，提供了將材料加熱蒸發的蒸發器。通常，用于蒸發金屬的加熱器安裝在蒸發器管子周圍(DE 38175132C2， DE 10128091C1)。加熱器位于蒸發器管子外部的情況下的 缺點是它們具有較大的熱損失。在用金屬對OLED進行涂覆時，必須產生 超過120(TC的溫度以蒸發金屬，這樣的加熱器由于其熱輻射對OLED產生 不利影響。盡管還公知一種蒸發器設備，在該蒸發器的內壁上包括以石墨層為形 式的電阻加熱器(USA 5157240)，但是待蒸發的材料不能夠連續地供給 到在蒸發設備所利用的坩堝中。還公知一種蒸發器，待蒸發的材料能夠自動供給到蒸發器，并且呈金 屬絲形式(US 3467058， GB1203069)。在這些蒸發器的情況下，待涂覆 的材料必須平行于待蒸發的材料的表面設置。還公知一種將金屬絲供給到坩堝的蒸發器設備(DD 76820A)。然 而，該設備自身不包括金屬絲供給殼體。此外，驅動裝置沒有設置在承載 板上。還公知一種具有金屬絲供給機構的蒸發器設備，其中，金屬絲引入到坩堝(FR 1369 360A)。然而，該設備不包括可拆卸地用法蘭連接到承載 板的一側上的金屬絲供給殼體。最后，還公知一種自動供給金屬絲并且具有坩堝的蒸發器設備(US 5321792A)。此處沒有提供用于供給金屬絲的單獨用凸緣連接的殼體 (即，金屬絲供給殼體)。發明內容本發明旨在解決提供一種優選地用于金屬的緊湊蒸發器的問題，該蒸 發器連續地供給材料，以對垂直引導的襯底進行涂覆。本發明通過下述方案實現， 一種蒸發器設備，其將金屬絲自動供給到 坩堝，并且具有承載板，其特征在于a)金屬絲供給殼體，其可拆卸地 用凸緣連接到所述承載板的一側，b)線性蒸發器，其設置在所述坩堝 上，所述線性蒸發器可拆卸地用凸緣連接到所述承載板的另一側上。本發明涉及一種將金屬絲自動供給到坩堝的蒸發器設備。該蒸發器設 備的所有部件僅僅安裝在一個承載板上，使得例如可以在潔凈室中進行快 速安裝或者拆卸，而不產生微粒。此外，加熱線圈由保護管包圍，使得該 加熱線圈不接觸待蒸發的材料。本發明獲得的優點尤其包括加熱元件的表面不接觸潛在侵蝕性金屬蒸 氣。整個蒸發器單元能夠設置在凸緣上，并且易于安裝在涂覆單元上或者 從涂覆單元拆卸。由于蒸發器單元被熱封裝，所以可以在一定程度上將熱 輻射到周圍。
本發明示例性示例在附圖中示出，并且將在下面更詳細地進行描述。 在附圖中，描述了圖l是線性蒸發器的立體視圖；圖2是圖l的蒸發器的側視圖，其中側面的一部分被打開了；禾口
圖3是圖1中的蒸發器的分解圖。
具體實施方式
圖1示出了具有金屬絲供給殼體2的蒸發器1。蒸發器1和金屬絲供 給殼體2經由承載板3彼此連接。蒸發器1包括熔融室4，分配器殼體5 位于熔融室4上，并且用于冷卻目的。分配器殼體5的后側彎曲成U形， 并且其前開口示出分配器管子6，該分配器管子6包括線性分配器槽7。 盒子8設置在金屬絲供給殼體2的頂側，盒子8包括快速斷開耦合件9、 lO和插頭ll、 12。同樣，具有快速斷開耦合件14、 15的盒子13位于金屬 絲供給殼體2的底部上。另一個盒子16設置在蒸發器1上，電氣部件和電 子部件位于該盒子16中。參考標號17表示凸緣，該凸緣與金屬絲供給殼 體2相連，并且用于連接到圖l中未示出的裝置。圖2示出了具有金屬絲供給殼體2的蒸發器1的一個側面的平面視圖 A (與圖1比較)。通過金屬絲供給殼體2的打開的開口可以明顯看到金 屬絲纏繞其上的供應輥20。該金屬絲21從供應輥20經由金屬絲導向件 22到達金屬絲供給模組24，該金屬絲供給模組24包括另一個金屬絲導向 件23，從這里進入到熔融室4。結果，熔融室4的真空沒有受到損害。用 于金屬絲21運動的驅動裝置沒有進一步示出。圖3再次示出了蒸發器1的分解視圖，其中，可以看見蒸發器1的各 個結構元件。金屬絲供給殼體2的側壁30略微移動到一側，使得可以再 看見供應輥20，金屬絲21沒有纏繞在供應輥20上。可以看見，金屬絲 21從金屬絲供給殼體2經由金屬絲供給模組24引導、并且通過管子31進 入到蒸發器l。從被冷卻的分配器5分解出用于絕熱的支撐管35、具有 蒸氣引導板33、 34的蒸發器管子6、用于保護管52的支撐和保持環37、 用于螺旋加熱元件的承載件38和螺旋加熱元件39本身。參考標號40表示電絕緣和被冷卻的坩堝。金屬絲供給殼體2上的凸起41、 41用作緊固件和用于供應電力。 用于加熱蒸發器管子6的兩個電線50、 51引入到支撐管35中，并且連接到螺旋加熱元件39。
在圖2中，圖2示出了在組裝狀態下具有金屬絲供給殼體2的蒸發器 1，由圖2明顯可見，金屬絲21連續供給到蒸發器1，且真空沒有受到損 害。參考標號25和26表示用于供給通過冷卻裝置的夾緊環，而結構部件 27包括導電桿。圖1的整個設備僅僅安裝在一個承載板上，這允許快速地引導進入潔 凈室或者從潔凈室移出，且沒有干擾的微粒產生。通過將蒸發器1和金屬 絲供給殼體2獨立地安裝在承載板3上，獨立于這些部件而對將來的襯底 尺寸進行縮放也是可行的。如圖3所示，由承載件38支撐的可電加熱的螺旋加熱元件39位于蒸 發器管子中。在組裝狀態下，螺旋加熱元件39包圍承載件38。承載件38和螺旋加 熱元件39置于用于螺旋加熱元件39的保護管52中，隨后保護管52由用 于保護管52的支撐和保持環37包圍。所有這些結構部件引入到蒸發器管 子6，蒸發器管子6包括具有蒸氣引導板33、 34的開口7。包括其容納物 的蒸發器管子6隨后置于用于絕熱的支撐管35，隨后支撐管35由冷卻殼 體5包圍。參考標號29由用于電動機驅動金屬絲供給的端子陣列。在組裝狀態下，被絕緣和冷卻的坩堝40直接位于供應電力的緊固件 41、 42上，隨后柑堝40位于由冷卻裝置5包圍的蒸發器管子6下。在此 位置中，由蒸發材料組成的金屬絲21還能夠直接從供應輥20供應到蒸發 器坩堝40。金屬絲供給模組24和供應輥20位于真空密封的殼體中，該真 空密封殼體使用真空技術與蒸發器管子6和處理室連接。用于螺旋加熱元件39的保護管52用于防止該加熱元件39通過侵蝕材 料(例如，蒸發鋁)而變脆。將設備1、 2的各個部件的結構設置和設計成它們可以彼此獨立地互 換，且不需要拆卸其它部件。因而，例如，被冷卻裝置包圍的蒸發器坩堝 40可以這樣布置在熔融室4中，使得其能夠易于更換。
權利要求
1.一種蒸發器設備，其將金屬絲(21)自動供給到坩堝(40)，并且具有承載板(3)，其特征在于包括a)金屬絲供給殼體(2)，其可拆卸地用凸緣連接到所述承載板(3)的一側，b)線性蒸發器(1)，其設置在所述坩堝(40)上方，所述線性蒸發器(1)可拆卸地用凸緣連接到所述承載板(3)的另一側。
2. 根據權利要求1所述的蒸發器設備，其特征在于所述金屬絲供給 殼體(2)包括用于金屬絲(21)的纏繞輥(20)。
3. 根據權利要求1所述的蒸發器設備，其特征在于孔設置在所述承 載板(3)中，金屬絲(21)經由所述孔引導到所述坩堝(40)。
4. 根據權利要求1所述的蒸發器設備，其特征在于所述線性蒸發器 (1)包括支撐管(35)，具有螺旋加熱元件(39)的分配器管子(6)設置在所述支撐管(35)中。
5. 根據權利要求4所述的蒸發器設備，其特征在于所述螺旋加熱元 件(39)環繞承載件(38)。
6. 根據權利要求4或者5所述的蒸發器設備，其特征在于所述螺旋 加熱元件(39)和所述承載件(38)設置在保護管(52)中。
7. 根據權利要求6所述的蒸發器設備，其特征在于所述保護管 (52)的至少一端設置有支撐環(37)。
全文摘要
本發明涉及一種將金屬絲自動供給到坩堝的蒸發器設備。該蒸發器設備的所有部件僅僅安裝在一個承載板上，使得例如可以在潔凈室中快速地進行安裝或者拆卸，而不產生微粒。此外，螺旋加熱元件由保護管包圍，使得該螺旋加熱元件不接觸待蒸發的材料。
文檔編號C23C14/14GK101126150SQ20071013577
公開日2008年2月20日 申請日期2007年8月16日 優先權日2006年8月16日
發明者烏爾里克·英格勒特, 吉多·哈滕多夫, 邁克爾·斯沙斐爾 申請人:應用材料合資有限公司