流體流速穩定裝置及研磨液供給裝置的制作方法

專利名稱：流體流速穩定裝置及研磨液供給裝置的制作方法
技術領域：
本發明涉及半導體制造技術領域，特別涉及一種流體流速穩定裝置 及研磨液供給裝置。
背景技術：
隨著超大規模集成電路ULSI(Ultra Large Scale Integration)的飛速發 展，集成電路制造工藝的復雜性及精細性日益提高，對晶片表面的平整 度要求也越來越嚴格，常需要在生產過程中對襯底表面進行平坦化處理。 目前，最普遍的平坦化方法為化學機械研磨法(CMP, Chemical Mechanical Polishing),尤其在半導體制作工藝進入亞微米(sub-micron)領域后，其 已成為一項不可或缺的半導體制作工藝技術。
圖l為說明化學機械研磨工作原理的示意圖，如圖1所示，化學機械 研磨時，通過轉動的研磨頭101將襯底102以一定的壓力壓置于旋轉的轉 盤上104的研磨墊103上，混有極小磨粒的研磨液105通過研磨液輸送管 106滴落于研磨墊103上，并在研磨墊103的傳輸和旋轉離心力的作用下， 均勻分布于其上，在村底102和研磨墊103之間形成一層流體薄膜，流體 中的化學成分與晶片產生化學反應，將不溶物質轉化為易溶物質，然后 通過磨粒的微機械摩擦將這些化學反應物從晶片表面去除，溶入流動的 流體中帶走，從而獲得光滑無損傷的平坦化表面。在這一研磨過程中， 如果研磨液的供給不穩定，將無法實現好的研磨效果。因此，具有穩定 的研磨液供給裝置是實現好的研磨質量的一個重要前提。
圖2為現有的化學機械研磨法系統的示意圖，如圖2所示，該系統由 研磨液供給裝置200、研磨裝置220與其之間的第一傳輸管路210組成，其 中研磨液供給裝置200又包括了研磨液容器201、供給泵203及其之間的第 二傳輸管路202等部分。工作時，將研磨液放置于研磨液容器201中，利
用供給泵203通過第二傳輸管路202將其抽出，并利用第一傳輸管路210將 其傳送至研磨裝置220內。
為達到較好的研磨效果，得到平坦化程度較高的表面，要求研磨液 供給裝置210提供給研磨裝置220的研磨液量要均勻一致。然而，由于用 于抽取研磨液的供給泵203本身的工作特點，難以真正實現研磨液量供給 的一致性其工作過程中，在一壓、 一抽的轉變之間，必然會產生一定 的壓力變化，這將使得傳送至研磨裝置230的研磨液量隨之發生波動。希 望能有一種流體流速穩定裝置可以消除這一研磨液量的波動(或者說脈 動)。
2006年6月21日公開的公開號為CN1790210A的中國專利申請公開了 一種流速控制裝置，其同時利用閥塞和多個流體通道內壁上的凸起消減 流體壓力的脈動，該流速控制裝置的實現需要同時對傳輸管路進行較大 的改動，實現起來較為復雜。

發明內容
本發明提供一種流體流速穩定裝置，可以改善現有的流體傳輸中出 現的流速不穩的現象。相應地，本發明還提供一種研磨液供給裝置，其 可以提高現有的研磨液供給穩定性，消除供給的研磨液量的波動。本發 明中的流體流速穩定裝置既可以應用于半導體制造領域，也可以應用于 一般的電子、機械等領域。
本發明提供的一種流體流速穩定裝置，包括緩沖體和殼體，所述緩 沖體頂部具有流體入口，所述殼體底部具有流體出口，所述殼體內具有
調整體，所述調整體包括上端固定的彈性連接部件，以及與彈性連接部 件的下端相連的閥塞，且所述彈性部件以及閥塞與所述殼體之間均具有 間隙，所述流體通過流體入口流入所述緩沖體內，再流入調整體及殼體 內，并從所述殼體底部的流體出口流出。
其中，所述彈性連接部件由至少兩根彈簧組成，所述彈簧固定于所
述緩沖體的底部。且所述彈簧可以為不銹鋼材料。
其中，所述彈性連接部件由彈性纖維材料制成。
其中，所述彈性連接部件可以固定于所述緩沖體的頂部或所述殼體 的側壁上。
其中，所述緩沖體的截面積大于所述殼體，且所述緩沖體和所述殼 體均為圓柱體形狀。
其中，所述殼體底部為弧狀。
其中，所述調整體的閥塞底部的形狀與所述殼體底部的形狀相匹配。
其中，所述閥塞由陶瓷、塑料或樹脂中的任一種制成；所述殼體由 陶瓷、塑料或樹脂中的任一種制成。
其中，所述緩沖體的流體入口處還具有第一接口，所述殼體的流體 出口處還具有第二接口。
本發明還提供了具有相同或相應技術特征的 一種研磨液供給裝置， 其與研磨裝置相連，包括研磨液容器和供給泵，以及分別與供給泵和所 述研磨裝置相連的流體流速穩定裝置；且所述流體流速穩定裝置包括緩 沖體和殼體，所述緩沖體頂部具有流體入口，所述殼體底部具有流體出 口 ，所述殼體內具有調整體，所述調整體包括上端固定的彈性連接部件， 以及與彈性連接部件的下端相連的閥塞，且所述彈性部件以及閥塞與所 述殼體之間均具有間隙，所述流體通過流體入口流入所述緩沖體內，再 流入調整體及殼體內，并從所述殼體底部的流體出口流出。
其中，所述彈性連接部件可以由至少兩^f艮彈簧組成，所述彈簧固定 于所述緩沖體的底部，所述彈簧可以為不銹鋼材料。
其中，所述彈性連接部件可以由彈性纖維材料制成。
其中，所述彈性連接部件固定于所述緩沖體的頂部或所述殼體的側
壁上。
其中，所述緩沖體的截面積大于所述殼體。
其中，所述緩沖體和所述殼體均為圓柱體，且所述殼體的底部可以 為弧狀。
優選地，所述調整體的閥塞底部的形狀與所述殼體底部的形狀相匹配。
其中，所述閥塞由陶資、塑料或樹脂中的任一種制成；所述殼體由 陶瓷、塑料或樹脂中的任一種制成。
其中，所述緩沖體的流體入口處還具有第一接口，所述殼體的流體 出口處還具有第二接口。
與現有技術相比，本發明具有以下優點
本發明的流體流速穩定裝置，安裝于傳輸流體的管路上，流體通過 緩沖體進入調整體(或殼體)內，經過殼體底部流出。由于在殼體內安 裝的調整體由彈性連接部件及閥塞組成，隨著流體流速的變化，調整體 受到的沖擊力發生改變，其底部的閥塞與殼體底部間的位置關系(或者 說殼體底部流體流經的通路大小)也隨之發生變化，該變化對流體流速 的影響趨勢與流體原本的流速的變化趨勢正好相反，起到了穩定流體流 速的作用。本發明的流體流速穩定裝置，利用調整體感應傳輸流體的流 速，自動調整流體流經的通路大小，有效消除了流體流動過程中的波動， 改善了流體流速不穩定的現象。
本發明的研磨液供給裝置，通過在供給泵與研磨裝置之間安裝流體 流速穩定裝置，克服了因供給泵的壓力變化導致的研磨液供給發生波動 的問題，提高了研磨質量。


圖1為說明化學機械研磨工作原理的示意圖2為現有的化學機械研磨法系統的示意圖； 圖3為本發明第一實施例中的流體流速穩定裝置示意圖； 圖4為本發明第二實施例中的流體流速穩定裝置示意圖； 圖5為本發明第三實施例中的流體流速穩定裝置示意圖； 圖6為本發明第四實施例中的研磨系統示意圖。
具體實施例方式
為使本發明的上述目的、特征和優點能夠更加明顯易懂，下面結合 附圖對本發明的具體實施方式
做詳細的說明。
本發明的流體流速穩定裝置可以被廣泛地應用于各個領域中，并且 可利用許多適當的材料制作，下面是通過具體的實施例來加以說明，當 然本發明并不局限于該具體實施例，本領域內的普通技術人員所熟知的 一般的替換無疑地涵蓋在本發明的保護范圍內。
其次，本發明利用示意圖進行了詳細描述，在詳述本發明實施例時， 為了便于說明，表示裝置結構的剖面圖會不依一般比例作局部放大，不 應以此作為對本發明的限定，此外，在實際的制作中，應包含長度、寬 度及深度的三維空間尺寸。
為提高對流體流速的控制度，本發明提出了一種新的流體流速穩定 裝置，其連接于傳輸管路內，包括緩沖體，殼體，所述殼體內還具有可 穩定流速(流量)的調整體；該調整體由彈性連接部件連接閥塞組成， 且所述調整體的彈性連接部件及閥塞與殼體之間均留有間隙。該閥塞底 部的形狀與所述殼體的底部可以相匹配，以更好地對流體的流速進行調 控。
工作時，傳輸管路內的流體先通過緩沖體的流體入口到達緩沖體 中，再進入調整體(或殼體)，經過殼體底部的流體出口流出。其中， 流體受到殼體內調整體的閥塞的阻擋，會對調整體的彈性連接部件產生
一定的沖擊力，且該沖擊力會隨著流體流速的變化而變化，使得調整體 的彈性連接部件隨著該沖擊力的變化發生相應的形變，其所連接的閥塞 的位置也就發生了相應的移動，進而改變了殼體底部流體流經的通路的 大小。該通路大小的變化對流速的影響趨勢與流體流速的變化趨勢正好 相反，起到了穩定流體流速的作用。
圖3為本發明第一實施例中的流體流速穩定裝置示意圖，如圖3所
示，該流體流速穩定裝置主要由緩沖體301、殼體302組成，且所述殼 體內還具有調整體(包括由彈簧303組成的彈性連接部件及由閥塞304 形成的調整體的底部)。緩沖體301的頂部和殼體302的底部分別具有 流體入口和流體出口，其對應安裝了用于與外管路相連的第一接口 305 和第二接口 306。圖3中單箭頭311表示了流體在流體流速穩定裝置內 的流向，雙箭頭312表示了調整體的閥塞304的運動方向。
如圖3中的311箭頭所示，流體在流經本實施例中的流體流速穩定 裝置時，先經由第一接口 305到達緩沖體301，在此進行一定的緩沖， 再由緩沖體301底部的開口到達調整體內。本實施例中，調整體的彈性 連接部件303位于緩沖體301底部的開口之外，，因此由緩沖體301流 出的流體會直接進入調整體內，但由于本實施例中調整體的彈性連接部 件由彈簧303組成，并未形成封閉的空間，流體在進入調整體后，受到 其底部閥塞的阻擋，會直接由周邊經由殼體302的底部向殼體302底部 的第二接口 306流去。
同時，彈簧303受到了流經的流體的沖擊，其底部的閥塞304也向 殼體302底部靠近，當流體的流速一定時，彈簧303所受到的沖擊力不 變，閥塞304的位置也不變，殼體302底部的流體通路大小也就不變。 但當流體的流速發生變化時，由于彈簧303所受的沖擊力隨之改變，閥 塞304的位置也會沿圖3中雙箭頭312所示的軌跡發生相應的變化，流 體流經殼體302底部時的通路的大小也就相應地改變了 。
以在流速為100L/min的傳輸管路上應用的本發明的流體流速穩定 裝置為例，說明本實施例中的流體流速穩定裝置的具體設計思路根據 彈簧303的彈性系數等性能參數，確定彈簧303的長度、閥塞304及殼 體302底部的形狀，令流速為100L/min時的流體流過時，彈簧303發 生的相應變形，使流體通過殼體302底部向第二接口 306流動時的流速 不受限制(與在進入緩沖體301前的流速一致)。這樣，當實際流體的 流速小于100L/min時，彈簧303發生的形變相對較小，殼體底部的通 路就相應變大，加快流體向殼體底部的流動，在一定程度上提高了流體 的流速(注意到其中緩沖體起到的作用)；當實際流體的流速大于 100L/min時，彈簧303發生的形變相對較大，殼體302底部的通路相應 變小，減緩了流體向殼體底部的流動，在一定程度上降低了流體的流速。
本實施例中，組成彈性部件的彈簧數量可以不限，為了達到一定的 穩定性，通常可將其設定為至少兩根，如2根、3根、4根等。該彈簧 303可以由多種材料制成，如鋁、鐵等，對于所傳輸的流體為腐蝕性材 料的，還可以采用不銹鋼材料等。另外，該彈簧303可以直接釆用焊接、 鉚接等方式固定于緩沖體的底部，為了達到更為穩定的效果，可以令該 多個彈簧沿緩沖體底部開口的圓周邊緣均勻分布。
本實施例中，緩沖體301、殼體302為圓柱體形狀，只是截面積不 同。如圖3中所示，緩沖體301的截面積較大，至少大于第一接口 305 (或本圖中未示出的第一管路)、第二接口 306(或本圖中未示出的第二 管路)和殼體302的截面積。截面積較大的緩沖體可以對所傳輸的流體 起一定的緩沖作用，提高流速的穩定效果。另外，在本發明的其它實施 例中，還可以將緩沖體、殼體設計為方形、橢球形、圓臺形、倒圓臺形 等其它形狀。
本實施例中，將殼體302與第二接口 306之間設計為弧狀的圓滑連 接，以便于流體流過。將調整體底部的閥塞304的形狀設計得與該弧狀
的殼體底部相匹配，以確保其能夠更好地隨著由彈簧303的拉伸程度調
整殼體底部流體流過的通3各的大小。
本實施例中，該閥塞304和殼體302均可由多種材料制成，如陶瓷、 塑料或樹脂等。
可以看到，采用本發明的流體流速穩定裝置后，在一定程度上緩解 了流體流速不穩定的現象，消除了流體流動過程中出現的流速的波動， 對于因供給泵固有的壓力變化引起的流速不穩定現象，有著明顯的改善 作用。
本實施例中，緩沖體301底部的開口直徑不大于調整體的直徑，在 本發明的其它實施例中，還可以令緩沖體底部的開口直徑大于調整體的 直徑，令流經本發明的流體流速穩定裝置的流體同時注入調整體、以及 調整體與殼體間的間隙內。
圖4為本發明第二實施例中的流體流速穩定裝置示意圖，如圖4所 示，該流體流速穩定裝置主要由緩沖體401、殼體402組成，殼體402 內還具有調整體(包括彈性連接部件403和閥塞404),緩沖體401的頂 部和殼體402的底部分別具有流體入口和流體出口 ，其對應安裝了用于 與外管路相連的第一接口 405和第二接口 406。圖4中單箭頭411表示 了流體在流體流速穩定裝置內的流向，雙箭頭412表示了調整體的閥塞 304的運動方向。
本實施例中，該調整體的彈性連接部件403的所用的彈性材料既可 以是密封性較好的材料，也可以是帶有一定孔隙或縫隙的材料，如可以 是由彈性纖維形成的薄膜材料等。此時，本實施例中的調整體彈性連接 部件的密封性要高于第 一實施例中所用的由彈簧組成的調整體彈性連 接部件，不適于采用第一實施例中的令流體全部直接流至調整體內，再 流向調整體外的方法。為此，本實施例中將殼體402與調整體彈性連接 部件403之間的間隙設計為直接與緩沖體401相通。
如圖4中的411箭頭所示，流體在流經本實施例中的流體流速穩定
裝置時，先經由第一接口 405到達緩沖體401,在此進行一定的緩沖， 再由緩沖體401底部的開口分兩路分別到達調整體及殼體402內。本實 施例中，緩沖體401底部的開口直徑要大于調整體的直徑(本實施例中 指由彈性材料403形成的筒狀彈性連接部件的直徑)。其中一部分流體 流至調整體內，用于才艮據流速調整閥塞404的位置；另一部分則直4妻由 殼體402與調整體間的間隙流向第二接口 406。
另外，對于調整體的彈性連接部件403，其受到流體的沖擊后，向 殼體底部(或者說第二接口 406處)拉伸，這樣，其底部的閥塞404也 就相應地向第二接口 406靠近。當流體的流速一定時，彈性連接部件403 所受到的沖擊力大d、一定，閥塞404的位置也固定不變，殼體402底部 的流體通路大小也就不變。但當流體的流速發生變化時，由于彈性連接 部件403所受的沖擊力隨之改變，閥塞404的位置也會沿圖4中雙箭頭 412所示的軌跡發生相應的變化，改變了流體流經殼體402底部時的通 路的大小，上述通路大小的變化對流速產生的影響趨勢與流體流速本身 的變化趨勢正好相反，起到了穩定流體流速的作用。
本實施例中，調整體的彈性連接部件位于緩沖體的開口內，不能和 第一實施例中的調整體一樣直接固定于緩沖體的底部，可以采用焊接或 鉚接等方式將其固定于緩沖體的頂部或殼體的側壁上。如圖4中420所 示，本實施例中，利用若干個細絲采用焊接的方式將調整體的彈性連接 部件固定于了緩沖體401的頂部，該細絲可以由多種材料組成，只要不 會被流經的流體所腐蝕即可。注意到，該調整體彈性連接部件的安裝位 置并不一定要與緩沖體的底部開口齊平，既可以略高，也可以略低于該 開口。
本實施例中，緩沖體401、殼體402和調整體均為圓柱體形狀，只 是截面積不同。如圖4中所示，緩沖體401的截面積較大，至少大于第
一接口 405 (或本圖中未示出的第一管路)、第二接口 406 (或本圖中未 示出的第二管路)和殼體402。截面積較大的緩沖體401可以對所傳輸 的流體起一定的緩沖作用，更好地實現對流速的穩定。
本實施例中，將殼體402與第二接口 406之間設計為弧狀的圓滑連 接，以便于流體流過。將調整體底部的閥塞404的形狀設計得與該弧狀 的殼體底部相匹配，以確保其能夠更好地隨著由彈性連接部件403的拉 伸程度調整殼體底部流體流過的通路的大小。
本實施例中，該閥塞404和殼體402均可由多種材料制成，如陶瓷、 塑料或樹脂等。
在設計本實施例中的流體流速穩定裝置時，同樣可以根據彈性材料 403的彈性系數等性能參數判定流速變化量與彈性連接部件拉伸量(閥 塞404的位置)的關系，進而決定殼體底部與閥塞的形狀，以及靜止時 閥塞與殼體底部間的位置關系(彈性材料的長度)等。
圖5為本發明第三實施例中的流體流速穩定裝置示意圖，如圖5所 示，其同樣由緩沖體501和殼體502組成，且殼體502內還具有調整體。 緩沖體501的頂部和殼體502的底部分別具有流體入口和流體出口 ，其 對應安裝了用于與外管路相連的第一接口 505和第二接口 506。
但該第三實施例中的流體流速穩定裝置的調整體在采用了與第二 實施例相似的較為封閉的筒狀的彈性連接部件503的設計方法后，如圖 5中520所示，仍將調整體的彈性連接部件安裝于了緩沖體501的底部 (在本發明的其實施例中，也可以利用細絲將該彈性連接部件連接于殼 體的側壁上)，同時，為了使流體能流至殼體502底部，采用了將調整 體的筒狀彈性連接部件設計得較低的方式，令流經的流體可以通過殼體 502與調整體頂部間的間隙流出。
如圖中511單箭頭所示，本實施例中，流體由第一接口 505流至緩 沖體501內，其中一部分用于對調整體產生沖擊，調整其底部閥塞504
的位置(按圖5中雙箭頭512的軌跡運動)，另一部分則通過殼體502 與調整體頂部間的間隙流至殼體底部，同樣可以實現自動穩定流體流速 的目的。
在本發明上述實施例的啟示下，本領域的普通技術人員還可以得到 更多的具有相同設計思路的流體流速穩定裝置，如，還可以在殼體底部 的液體出口處，沿其圓周利用至少兩根剛性材料制成支架，再利用該支 架上端固定調整體的彈性連接部件等，這一應用的延伸對于本領域普通 技術人員而言是易于理解和實現的，其均應屬于本發明的保護范圍之 內，在此不再贅述。
此外，還可以將本發明的流體流速穩定裝置設置于研磨系統中，形 成新的研磨液供給裝置，用于提高研磨液供給的穩定性，這對研磨質量 而言非常重要。
圖6為本發明第四實施例中的研磨系統示意圖，如圖6所示，該研 磨液供給裝置600用于給研磨裝置提供流量(流速)穩定的研磨液。其 包括研磨液容器601和供給泵603,以及分別與供給泵603和研磨裝置 610相連通的流體流速穩定裝置604。
其中，流體流速穩定裝置604可以包括與所述供給泵603相連的緩 沖體，與所述緩沖體、所述研磨裝置610相連的殼體，以及位于所述殼 體內的調整體；所述調整體由彈性連接部件連接一個閥塞組成，且所述 彈性連接部件及所述閥塞與殼體之間均留有間隙。該流體流速穩定裝置 604的具體結構可以為前面三個實施例中的任一種，也可以是具有相同 設計思路的其它結構。
本發明的上述研磨液供給裝置，通過在供給泵與研磨裝置之間安裝 流體流速穩定裝置，克服了因供給泵固有的壓力變化導致的研磨液供給 不穩定的問題，消除了研磨液供給過程中出現的研磨液流量(或者說流 速)的波動，提高了研磨質量。
本發明雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發明， 任何本領域技術人員在不脫離本發明的精神和范圍內，都可以做出可能 的變動和修改，因此本發明的保護范圍應當以本發明權利要求所界定的 范圍為準。
權利要求
1、一種流體流速穩定裝置，其特征在于包括緩沖體和殼體，所述緩沖體頂部具有流體入口，所述殼體底部具有流體出口，所述殼體內具有調整體，所述調整體包括上端固定的彈性連接部件，以及與彈性連接部件的下端相連的閥塞，且所述彈性部件以及閥塞與所述殼體之間均具有間隙，所述流體通過流體入口流入所述緩沖體內，再流入調整體及殼體內，并從所述殼體底部的流體出口流出。
2、 如權利要求1所述的控制裝置，其特征在于所述彈性連接部 件由至少兩根彈簧組成。
3、 如權利要求2所述的控制裝置，其特征在于所述彈簧固定于 所述緩沖體的底部。
4、 如權利要求2所述的控制裝置，其特征在于所述彈簧為不銹 鋼材料。
5、 如權利要求1所述的控制裝置，其特征在于所述彈性連接部 件由彈性纖維材料制成。
6、 如權利要求1或5所述的控制裝置，其特征在于所述彈性連 接部件固定于所述緩沖體的頂部或所述殼體的側壁上。
7、 如權利要求l、 2或5所述的控制裝置，其特征在于所述緩沖 體的截面積大于所述殼體。
8、 如權利要求7所述的控制裝置，其特征在于所述緩沖體和所 述殼體均為圓柱體形狀。
9、 如權利要求8所述的控制裝置，其特征在于所述殼體底部為 弧狀。
10、 如權利要求1所述的控制裝置，其特征在于所述調整體的閥 塞底部的形狀與所述殼體底部的形狀相匹配。
11、 如權利要求1所述的控制裝置，其特征在于所述岡塞由陶瓷、塑料或樹脂中的任一種制成；所述殼體由陶瓷、塑料或樹脂中的任一種 制成。
12、 如權利要求1所述的控制裝置，其特征在于所述緩沖體的 流體入口處還具有第一接口 ，所述殼體的流體出口處還具有第二接口 。
13、 一種研磨液供給裝置，與研磨裝置相連，包括研磨液容器和供 給泵，以及分別與供給泵和所述研磨裝置相連的流體流速穩定裝置，其 特征在于所述流體流速穩定裝置包括緩沖體和殼體，所述緩沖體頂部 具有流體入口，所述殼體底部具有流體出口，所述殼體內具有調整體， 所述調整體包括上端固定的彈性連接部件，以及與彈性連接部件的下端 相連的閥塞，且所述彈性部件以及閥塞與所述殼體之間均具有間隙，所 述流體通過流體入口流入所述緩沖體內，再流入調整體及殼體內，并從 所述殼體底部的流體出口流出。
14、 如權利要求13所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述彈 性連接部件由至少兩根彈簧組成。
15、 如權利要求14所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述彈 簧固定于所述緩沖體的底部。
16、 如權利要求14所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述彈 簧為不銹鋼材料。
17、 如權利要求13所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述彈 性連接部件由彈性纖維材料制成。
18、 如權利要求13或17所述的研磨液供給裝置，其特征在于所 述彈性連接部件固定于所述緩沖體的頂部或所述殼體的側壁上。
19、 如權利要求13、 14或17所述的研磨液供給裝置，其特征在于 所述緩沖體的截面積大于所述殼體。
20、 如權利要求19所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述緩 沖體和所述殼體均為圓柱體。
21、 如權利要求20所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述殼 體的底部為弧狀。
22、 如權利要求1所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述調整 體的閥塞底部的形狀與所述殼體底部的形狀相匹配。
23、 如權利要求13所述的研磨液供給裝置，其特征在于所述閥 塞由陶資、塑料或樹脂中的任一種制成；所述殼體由陶瓷、塑料或樹脂 中的任一種制成。
24、 如權利要求13所述的控制裝置，其特征在于所述緩沖體的 流體入口處還具有第一接口 ，所述殼體的流體出口處還具有第二接口 。
全文摘要
本發明公開了一種流體流速穩定裝置，該裝置包括緩沖體和殼體，所述緩沖體頂部具有流體入口，所述殼體底部具有流體出口，所述殼體內具有調整體，所述調整體包括上端固定的彈性連接部件，以及與彈性連接部件的下端相連的閥塞，且所述彈性部件以及閥塞與所述殼體之間均具有間隙，所述流體通過流體入口流入所述緩沖體內，再流入調整體及殼體內，并從所述殼體底部的流體出口流出。采用本發明的流體流速穩定裝置，可以改善流體流速的穩定性。本發明還公開了一種相應的研磨液供給裝置，其在供給泵及研磨裝置中安裝了流體流速穩定裝置，改善了因供給泵的壓力變化導致的供給的研磨液量發生波動的問題，提高了研磨的質量。
文檔編號B24B29/00GK101352830SQ20071004434
公開日2009年1月28日 申請日期2007年7月27日 優先權日2007年7月27日
發明者健 李 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司